位置测量装置的制作方法

文档序号:18224472发布日期:2019-07-19 23:17阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种位置测量装置,用于绝对位置确定,该位置测量装置由标尺以及相对于标尺沿着至少一个测量方向可移动地布置的扫描单元构成。标尺为了产生可扫描的信号图案具有测量刻度,其沿着测量方向包括以标尺纵向周期布置的条形元件的光栅。条形元件为了沿着垂直于测量方向定向的横向的绝对位置编码具有带有标尺横向周期的周期性结构。扫描单元为了扫描信号图案包括具有多个检测器元件的二维检测器装置,其由多个分别具有多个检测器元件的检测器列构成。检测器列沿着测量方向并且检测器元件沿着横向周期性地布置,使得从信号图案的扫描中能产生关于沿着测量方向的相对运动的至少三个周期性的部分增量信号以及每个检测器列至少一个绝对位置信号。

技术研发人员:S.魏斯;D.弗雷泽;W.霍尔扎普费尔
受保护的技术使用者:约翰内斯·海德汉博士有限公司
技术研发日:2019.01.11
技术公布日:2019.07.19
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