一种基于In2O3-碳点复合物的NO2传感器及其制备方法与流程

文档序号:17580439发布日期:2019-05-03 20:53阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种基于In2O3‑碳点复合物的室温NO2传感器及其制备方法,属于半导体金属氧化物气体传感器技术领域。由外表面带有2个彼此分立且环形金电极的Al2O3陶瓷管、均匀地涂覆在环形金电极和Al2O3陶瓷管外表面的In2O3‑碳点复合物敏感材料薄膜组成。本发明利用碳点的气体吸附能力和屏蔽效应及其与In2O3之间的协同作用,从而增加了被检测气体的表面化学反应以及形成了In2O3和碳点之间的电荷转移,进而有效地提高了传感器对于NO2的敏感特性,且将传感器的响应提高了5倍;同时具有器件工艺简单、体积小、适于大批量生产的优良效果。

技术研发人员:高原;程明;卢革宇
受保护的技术使用者:吉林大学
技术研发日:2019.01.24
技术公布日:2019.05.03
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