用于质谱分析的设备以及用于分析半导体晶圆的方法与流程

技术特征：

技术总结
提供了一种用于质谱分析的设备以及分析半导体晶圆的方法。所述用于质谱分析的设备包括其上设置有包括有机物的半导体晶圆的板。混合进料器将ZnO‑石墨烯杂化物提供到半导体晶圆上的预定区域。质量分析器利用激光解吸/电离质谱(LDI‑MS)检测预定区域中的有机物。

技术研发人员：金国柱;严基柱;尹喆祥;李康宅
受保护的技术使用者：三星电子株式会社;延世大学校产学协力团
技术研发日：2019.01.31
技术公布日：2019.09.13