技术特征：
技术总结
本发明提供一种肋状纹的厚度检查装置以及方法。本发明涉及的肋状纹的厚度检查方法包括：第一阶段，通过摄像机获取对形成在脆性基板的刻划面的肋状纹的影像；第二阶段，在获取的对所述肋状纹的影像中，设定包括所述脆性基板的上表面或者下表面的边界线的第一关心区域；第三阶段，在选定的第一关心区域中，将线搜索方向向所述脆性基板的外部方向推进并检测第一线；第四阶段，以检测到的所述第一线的垂直轴为基准，朝向所述脆性基板的内表面设定第二关心区域；第五阶段，以设定的所述第二关心区域为基准，将线搜索方向向所述脆性基板的内部方向推进并检测第二线；以及第六阶段，测定所述第一线与所述第二线之间的宽度来测定所述肋状纹的厚度。
技术研发人员：许原康;崔宰赫
受保护的技术使用者：三星钻石工业股份有限公司
技术研发日：2019.02.11
技术公布日：2019.08.23