热式流量传感器装置以及流量校正方法与流程

本发明涉及一种基于从对计测流体的温度进行测定的温度传感器得到的传感器输出信号来计算计测流体的流量的热式流量传感器装置。

背景技术：

实际使用一种用于对流体的流量进行计测的热式流量传感器(例如参照专利文献1)。在热式流量传感器中，对于所设想的计测流体(例如水)，预先掌握流量-输出信号特性，从而能够测定(推测)计测流体的流量。因此，在将能够预先掌握特性的计测流体以外的流体设为计测对象的情况下，用校正系数校正根据流量-输出信号特性得到的流量值而进行应对。

在当前的热式流量传感器的使用方法中，确认流体的热物理性质、过去流过同种流体时的灵敏度，通过推测而设定校正系数。该设定作业即使在使工序在一定程度上标准化的情形下，实质上也是操作者的手工作业。因此，耗费功夫，同时容易产生取决于操作者的能力、主观的偏差，所以要求改善。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2017-009348号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够降低校正系数的设定的功夫以及校正系数的偏差的热式流量传感器装置以及流量校正方法。

解决技术问题的技术手段

本发明的热式流量传感器装置的特征在于，具备：热式流量传感器，其被配设于计测流体流通的流路，构成为输出从对所述计测流体的温度进行测定的温度传感器得到的传感器输出信号；阀开度-流量特性信息存储部，其构成为预先存储与阀的开度和所述计测流体的流量之间的关系有关的信息，所述阀配设于相比所述热式流量传感器靠上游侧或者靠下游侧的所述流路的部位；流量-输出信号基准特性信息存储部，其构成为预先存储与作为基准的计测流体中的流量和所述传感器输出信号之间的关系有关的信息；流量导出部，其构成为基于该流量-输出信号基准特性信息存储部中存储的信息，将所述传感器输出信号转换成流量的值；流量校正部，其构成为在该流量导出部的流量输出值上乘以校正系数而校正流量；阀开度指示部，其构成为在对所述校正系数进行计算、设定时，将指定预先规定的至少2点的阀开度的开度指示信号发送到控制所述阀的控制装置；输出信号取得部，其构成为取得成为与所述开度指示信号相应的阀开度时的所述流量导出部的流量输出值；以及校正系数计算部，其构成为算出由该输出信号取得部取得的2点的流量输出值的倍率，取得从所述阀开度-流量特性信息存储部的信息得到的、与所述2点的阀开度对应的2点的流量的倍率，将所述2点的流量的倍率与所述2点的流量输出值的倍率之比作为所述校正系数而算出，并设定于所述流量校正部。

另外，在本发明的热式流量传感器装置的一个结构例中，其特征在于，所述阀开度-流量特性信息存储部存储所述2点的流量的倍率，所述2点的流量的倍率根据对所述阀的开度与流量的关系进行近似的理论曲线而获得。

另外，在本发明的热式流量传感器装置的一个结构例中，其特征在于，还具备：执行管理部，其构成为以在预先规定的时刻下执行所述校正系数的计算、设定处理的方式进行控制管理；历史信息提示部，其构成为对由所述校正系数计算部计算出的从过去至当前的校正系数的历史信息进行提示；以及警报输出部，其构成为在由所述校正系数计算部计算出的校正系数的相对于正常值的背离程度为规定量以上时输出警报。

另外，本发明的流量校正方法的特征在于，包括：第1步骤，参照流量-输出信号基准特性信息存储部，将配设于计测流体流通的流路的热式流量传感器的传感器输出信号转换成流量输出值，所述流量-输出信号基准特性信息存储部预先存储与作为基准的计测流体中的流量和传感器输出信号之间的关系有关的信息；第2步骤，在所述流量输出值上乘以校正系数乘而校正流量；第3步骤，在对所述校正系数进行计算、设定时，将指定预先规定的至少2点的阀开度的开度指示信号发送到控制阀的控制装置，所述阀配设于相比所述热式流量传感器靠上游侧或者靠下游侧的所述流路的部位；第4步骤，取得成为与所述开度指示信号相应的阀开度时的所述流量输出值；以及第5步骤，算出在所述第4步骤中取得的2点的流量输出值的倍率，并且参照预先存储与所述阀的开度和所述计测流体的流量之间的关系有关的信息的阀开度-流量特性信息存储部，取得与所述2点的阀开度对应的2点的流量的倍率，将所述2点的流量的倍率与所述2点的流量输出值的倍率之比作为所述校正系数而算出。

另外，在本发明的流量校正方法的一个结构例中，其特征在于，预先存储于所述阀开度-流量特性信息存储部的信息是根据对所述阀的开度与流量的关系进行近似的理论曲线而得到的所述2点的流量的倍率。

另外，在本发明的流量校正方法的一个结构例中，其特征在于，还包括：第6步骤，以在预先规定的时刻下执行所述校正系数的计算、设定处理的方式进行指示；第7步骤，对通过所述第5步骤计算出的从过去至当前的校正系数的历史信息进行提示；以及第8步骤，在通过所述第5步骤计算出的校正系数的相对于正常值的背离程度为规定量以上时输出警报。

发明效果

根据本发明，通过设置阀开度-流量特性信息存储部、阀开度指示部、输出信号取得部以及校正系数计算部，能够降低校正系数的设定的功夫以及校正系数的偏差。因此，即使是没有流量计测的专门知识的操作者，也能够设定与计测流体相应的适当的校正系数。

另外，在本发明中，通过设置执行管理部、历史信息提示部和警报输出部，能够监控由校正系数计算部计算、设定的校正系数，能够期待检测出计测流体的状态变化(发生异常等)。

附图说明

图1是示出在将计测流体设为水的设定后使各种流体流通过热式流量传感器的情况下的真实流量与热式流量传感器的流量输出的关系的图。

图2是示出本发明的第1实施例的热式流量传感器装置的结构的框图。

图3是质量流量控制器的截面图。

图4是示出热式流量传感器的流量传感器芯片的构造的俯视图以及截面图。

图5是示出热式流量传感器的电路的构成的框图。

图6是示出阀的开度与流体的流量的关系的一例的图。

图7是示出使各种流体流通过流路的情况下的真实流量与传感器输出信号的关系的图。

图8是示出以图7的水的特性为基准的情况下的各种流体的真实流量与传感器输出信号的关系的图。

图9是说明本发明的第1实施例的热式流量传感器装置的阀开度指示部、输出信号取得部、校正系数计算部以及校正系数设定部的动作的流程图。

图10是说明本发明的第1实施例的热式流量传感器装置的流量导出部和流量校正部的动作的流程图。

图11是示出本发明的第2实施例的热式流量传感器装置的构成的框图。

图12是说明本发明的第2实施例的热式流量传感器装置的阀开度指示部、输出信号取得部、校正系数计算部、执行管理部、历史信息提示部以及警报输出部的动作的流程图。

图13是示出本发明的第2实施例中的校正系数的历史信息的提示例的图。

图14是示出实现本发明的第1、第2实施例的热式流量传感器装置的计算机的构成例的框图。

具体实施方式

[发明原理1]

发明者查明：若将在例如将水(h2o)设为基准的计测流体的情况下(即，将水作为计测流体来进行校正的情况下)的真实流量-热式流量传感器的流量输出特性与在使水以外的流体流通过该流量传感器的情况下的真实流量-流量输出特性进行对比，则如图1所示，在任一方的流体的情况下，热式流量传感器的流量输出与真实流量都大概处于比例的关系。

在图1的例子中，将流体的种类设为水、中浓度异丙醇、高浓度异丙醇、fluorinert(注册商标，全氟液)、低浓度过氧化氢、中浓度过氧化氢、高浓度过氧化氢、低浓度硫酸、中低浓度硫酸、中高浓度硫酸、高浓度硫酸，将各流体的温度设为25℃。

另外，发明者着眼于在基于由热式流量传感器计测的流量值来控制流体的流量的阀被配设于热式流量传感器的上游或者下游时，如果流体的供给压力是恒定(变动小)的状态，则视为预先能够大概掌握阀的开度与流量的关系(恒定倍率)。

然后，想到能够基于与至少2种阀开度对应的理论流量的倍率和与此对应地检测的热式流量传感器的流量输出值的倍率之比来计算与计测流体相应的热式流量传感器的校正系数。由此，在本发明中，能够降低校正系数的设定的功夫，并降低偏差。

[发明原理2]

通过定期地执行计算校正系数的工序，例如发送到上级侧设备并对此进行监控，从而能够期待检测出计测流体的状态变化(发生异常等)。

[第1实施例]

下面，参照附图，说明本发明的实施例。图2是示出本发明的第1实施例的热式流量传感器装置的构成的框图。本实施例是与上述发明原理1对应的例子。此外，在图2的例子中，对包含热式流量传感器装置的质量流量控制器的例子进行了记载，但本发明还能够应用于质量流量控制器以外的装置。在质量流量控制器的情况下，阀被配设于热式流量传感器的下游，但阀也可以被配设于热式流量传感器的上游。

热式流量传感器装置1具备：热式流量传感器2；阀开度-流量特性信息存储部3，其预先存储与在供给压力恒定的状态下的阀开度和流量之间的关系有关的信息；流量-输出信号基准特性信息存储部4，其预先存储与作为基准的计测流体中的流量和传感器输出信号之间的关系有关的信息；阀开度指示部5，其在对校正系数进行计算、设定时，将指定预先规定的至少2点的阀开度的开度指示信号发送到控制阀的控制装置；输出信号取得部6，其取得成为与开度指示信号相应的阀开度时的热式流量传感器2的流量输出值；校正系数计算部7，其算出由输出信号取得部6取得的2点的流量输出值的倍率，取得根据阀开度-流量特性信息存储部3的信息得到的、与所述2点的阀开度对应的2点的流量的倍率，并将2点的流量的倍率与2点的流量输出值的倍率之比作为校正系数而算出；以及流量校正部8，其在热式流量传感器2的流量输出值上乘以校正系数而校正流量。

图1的流量控制装置9与阀一起被设置于质量流量控制器。图3是示出质量流量控制器的构造的截面图。在图3中，10是质量流量控制器的主体块，11是传感器封装体，12是传感器封装体11的头部，13是搭载于头部12的流量传感器芯片，14是阀，15是形成于主体块10的内部的流路，16是流路15的入口侧的开口，17是流路15的出口侧的开口。

流体从开口16流入到流路15，通过阀14，从开口17排出。热式流量传感器2对流过流路15的流体的流量进行计测。

质量流量控制器的流量控制装置9进行基于由热式流量传感器装置1计测出的流体的流量的流量控制。具体来说，流量控制装置9以使所计测出的流量与设定值一致的方式驱动阀14。

图4的(a)是示出热式流量传感器2的流量传感器芯片13的构造的俯视图，图4的(b)是图4的(a)的流量传感器芯片13的a-a线截面图。在图4的(a)、图4的(b)中，130是成为基座的硅芯片，131是在硅芯片130的上表面设置空间132而薄壁状地形成的例如由氮化硅构成的隔板，133是形成于隔板131之上的由金属薄膜构成的加热器，134是在隔板131上的加热器133的上游侧形成的由金属薄膜的热敏电阻构成的温度传感器，135是在隔板131上的加热器133的下游侧形成的由金属薄膜的热敏电阻构成的温度传感器，136是由金属薄膜的热敏电阻构成的周围温度传感器，137是贯通隔板131的狭缝。

加热器133、温度传感器134～136被例如由氮化硅构成的薄膜的绝缘层138覆盖。周围温度传感器136配置于不受到来自加热器133的热的影响、能够检测流体的温度的地方。流量传感器芯片13以图4的(a)所示的面处于下方的方式搭载于传感器封装体11的头部12，以暴露于计测流体的方式装配于主体块10。

以上那样的热式流量传感器2的构造及其原理公开在例如专利文献1中。图5是示出热式流量传感器2的电路的构成的框图。加热器驱动部20由电桥电路21、三极管q1、差动放大器a1、固定电阻r3、r4、r5、r6和电容器c1构成。电桥电路21是驱动加热器133的电路，由加热器133、周围温度传感器136和一对固定电阻r1、r2构成。电源电压+v从未图示的规定的电源供给，经由三极管q1施加到电桥电路21。

差动放大器a1根据加热器133与周围温度传感器136的电阻值的变化而检测电桥电路21的电桥输出电压，以使该电桥输出电压变为零(0)的方式对三极管q1进行反馈控制，调整施加到电桥电路21的加热器驱动电压。由此，加热器驱动部20将加热器133的发热温度控制成始终比其周围温度高出一定温度。

另一方面，流量计测部22由电桥电路23、差动放大器a2、固定电阻rf和流量导出部24构成。电桥电路23由一对温度传感器134、135和一对固定电阻rx、ry构成。电源电压+v从未图示的规定的电源供给，施加到电桥电路23。

差动放大器a2将电桥电路23的输出电压v4、v5之差的电位作为与由温度传感器134、135计测出的温度差相当的传感器输出信号(温度差信号)vt而输出。这样，将由一对温度传感器134、135的热引起的电阻值变化转换成传感器输出信号vt。

流量导出部24基于预先存储于后述的流量-输出信号基准特性信息存储部4的流量pv与传感器输出信号vt的关系，将从差动放大器a2输出的传感器输出信号vt转换成计测流体的流量pv的值。

接下来，对本实施例的热式流量传感器装置1的特征性构成进行说明。在阀开度-流量特性信息存储部3中，预先对与在流体的供给压力恒定的状态下的阀14的开度和通过阀14的流体的流量pv之间的关系有关的信息进行存储。例如在专利第5931668号公报中，示出在使阀14的开度在时间上线性地变化的情况下，越靠高开度侧，则流过流路的流体的流量体积越小。

如此已知，阀14的开度mv与流量pv是非线性的关系，越靠高开度侧，则相对于开度mv的变化量，流量pv的变化量越减少。在图6中示出该开度mv与流量pv的关系的概略。此外，在图6的例子中，为了方便说明，使阀14的开度mv和流量pv标准化为0～100％的值。图6所示的特性由于是非线性的收敛现象，所以，能够由下式的指数函数来表述。

pv＝k{1.0-exp(-mv/a)}…(1)

如此，将阀14的开度mv与流量pv的关系近似而得到的函数通过常数项(1.0)、与开度mv相关的项以及与表示流量pv相对于开度mv的大小的增益相关的系数k来定义。式(1)的a是提供非线性的收敛状态的系数。图6的曲线cur1～cur4均以流体的恒定的供给压力作为前提，作为一个例子，任一曲线都设为a＝30.0。在该情况下，式(1)变成式(2)。

pv＝k{1.0-exp(-mv/30.0)}…(2)

此外，在曲线cur1的情况下，k＝104.0。并且，在图6中，例如相对于阀14的开度mv＝20％的流量pv，开度mv＝50％的流量pv在任一曲线cur1～cur4的情况下都为1.667倍。即，能够确定1.667为根据开度mv-流量pv的理论曲线(函数)得到的2点的流量pv的倍率rref。

阀开度-流量特性信息存储部3既可以存储有将阀14的开度mv与流量pv的关系进行近似而得到的理论曲线(函数)，也可以存储有根据函数得到的每个开度mv的流量pv的值，也可以作为最低限度的信息而仅存储有根据函数得到的倍率rref＝1.667。此外，为了对函数进行鉴定，例如事先进行质量流量控制器的流量试验，检查系数a以及增益k的值即可。

在流量-输出信号基准特性信息存储部4中，预先存储有与作为基准的计测流体(例如水)中的流量和热式流量传感器2的传感器输出信号之间的关系有关的信息。图7是示出使各种流体流通过流路15的情况下的真实流量与传感器输出信号vt的关系的图。在图7的例子中，将流体的种类设为水、中浓度异丙醇、高浓度异丙醇、fluorinert(注册商标，全氟液)、低浓度过氧化氢、中浓度过氧化氢、高浓度过氧化氢、低浓度硫酸、中低浓度硫酸、中高浓度硫酸、高浓度硫酸，将各流体的温度设为25℃。此外，关于传感器输出信号vt，标准化为0～100％的值。

如果以水作为基准，则仅预先调查水的特性，使计测流体是水的情况下的真实流量与传感器输出信号vt的关系存储到流量-输出信号基准特性信息存储部4中即可。图7是将水的真实流量为30ml/min时的传感器输出信号vt设为100％而描绘出的特性图。

如上面说明的那样，将水设为基准的计测流体的情况下的真实流量与热式流量传感器2的流量输出(流量导出部24的输出)的关系如图1所示。如图1所示，在任一流体的情况下，热式流量传感器2的流量输出与真实流量都大概示出比例的特性，因此，该特性的比例系数与在本实施例中求出的校正系数有关系。

图8是示出以图7的水的特性为基准的情况下(将计测流体是水的情况下的各流量下的传感器输出信号vt设为100％的情况下)的各种流体的真实流量与传感器输出信号vt的关系的图。根据图8可知，如果在几乎全部流量区域中，以水的特性为基准，用大致恒定的校正系数进行校正，则能够确保一定程度的流量计测精度。

图9是说明阀开度指示部5、输出信号取得部6和校正系数计算部7的动作的流程图。

阀开度指示部5在自动设定校正系数时，以使阀14变成预先规定的第1开度mv1(例如mv1＝20％)的方式，将开度指示信号发送到流量控制装置9(图9步骤s100)。

流量控制装置9在接收到来自阀开度指示部5的开度指示信号的情况下，优先进行与该开度指示信号相应的处理。即，流量控制装置9暂时中止上述流量控制，以变成由开度指示信号指定的开度mv1的方式控制阀14。然后，流量控制装置9在从接收到开度指示信号起经过一定时间后，恢复流量控制。该一定时间例如设定为足够由后述的输出信号取得部6取得流量输出值的时间。

输出信号取得部6取得在阀14是第1开度mv1＝20％时的从热式流量传感器2的流量导出部24输出的流量输出值pv1(图9步骤s101)。此外，为了等待阀14的开度变化成mv1时的流量变动稳定下来，输出信号取得部6期望在从发送开度指示信号起经过规定的待机时间后取得热式流量传感器2的流量输出值。

在由输出信号取得部6取得流量输出值后，阀开度指示部5以使阀14变成预先规定的第2开度mv2(mv1≠mv2，例如mv2＝50％)的方式，将开度指示信号发送到流量控制装置9(图9步骤s102)。

与mv1＝20％时同样地，流量控制装置9暂时中止流量控制，以变成由开度指示信号指定的开度mv2的方式控制阀14。然后，流量控制装置9在从接收到开度指示信号起经过一定时间后，恢复流量控制。

输出信号取得部6取得在阀14是第2开度mv2＝50％时的从热式流量传感器2的流量导出部24输出的流量输出值pv2(图9步骤s103)。与mv1＝20％时同样地，输出信号取得部6期望在从发送开度指示信号起经过规定的待机时间后，取得热式流量传感器2的流量输出值。

此外，关于上述倍率rref＝1.667，如果将基准的流量设为pv1ref、将确定倍率rref的对象的流量设为pv2ref，则r＝pv2ref/pv1ref。当在阀开度-流量特性信息存储部3中仅存储有根据开度mv-流量pv的理论曲线(函数)得到的2点的流量pv2ref、pv1ref的倍率rref＝1.667的情况下，以在理论曲线上与流量pv1ref对应的阀开度和第1开度mv1相等、并且在理论曲线上与流量pv2ref对应的阀开度和第2开度mv2相等的方式，规定第1、第2开度mv1、mv2即可。因此，至少2次进行开度指示信号的发送以及流量输出值的取得即可。

校正系数计算部7在由输出信号取得部6取得流量输出值完成后，取得在阀开度-流量特性信息存储部3中存储的信息(图9步骤s104)，计算由输出信号取得部6取得的2点的流量输出值pv2、pv1的倍率r＝pv2/pv1(图9步骤s105)。

然后，校正系数计算部7将根据从阀开度-流量特性信息存储部3取得的信息而得到的倍率rref与所计算出的倍率r之比rref/r作为校正系数c而算出，并将该校正系数c设定于流量校正部8(图9步骤s106)。

例如若倍率r成为1.275，则将校正系数c计算为rref/r＝1.677/1.275＝1.307(130.7％)。根据图8，该值是在高浓度硫酸(或者，热导率与它等同的流体)为计测流体的情况下自动得到的校正系数c的数值。

此外，当在阀开度-流量特性信息存储部3中不存储倍率rref而存储有开度mv-流量pv的理论曲线(函数)的情况下，校正系数计算部7求出在理论曲线上与第1开度mv1对应的流量pv1ref以及在理论曲线上与第2开度mv2对应的流量pv2ref，计算倍率rref即可。

图10是说明热式流量传感器2的流量导出部24和流量校正部8的动作的流程图。

流量导出部24基于在流量-输出信号基准特性信息存储部4中存储的流量pv与传感器输出信号vt的关系，将从差动放大器a2输出的传感器输出信号vt转换成流量pv的值(图10步骤s200)。

流量校正部8在从热式流量传感器2的流量导出部24输出的流量pv的值上乘以校正系数c而校正流量pv(图10步骤s201)。此外，由校正系数计算部7设定之前的校正系数c的初始值(计测流体是水的情况下的值)为1。

流量导出部24和流量校正部8在流量控制(流量计测)中，每隔一定时间地进行步骤s200、s201的处理。

通过这样，在本实施例中，能够降低校正系数c的设定的功夫以及校正系数c的偏差。

此外，作为开始在图9中说明的处理的时刻，既可以是从操作者收到设定开始的指示之时，也可以如后述的第2实施例那样，是达到预先规定的时刻之时。

[第2实施例]

接下来，说明本发明的第2实施例。图11是示出本发明的第2实施例的热式流量传感器装置的构成的框图，对与图2相同的结构附加有相同的符号。本实施例是与上述发明原理2对应的例子。

本实施例的热式流量传感器装置1a具备：热式流量传感器2、阀开度-流量特性信息存储部3、流量-输出信号基准特性信息存储部4、阀开度指示部5、输出信号取得部6、校正系数计算部7、流量校正部8、以在预先规定的时刻下执行所述校正系数的计算、设定处理的方式进行控制管理的执行管理部30、对由校正系数计算部7计算出的从过去至当前的校正系数c的历史信息进行提示的历史信息提示部31、以及在由校正系数计算部7计算出的校正系数c的相对于正常值的背离程度为规定量以上时输出警报的警报输出部32。

图12是说明本实施例的阀开度指示部5、输出信号取得部6、校正系数计算部7、执行管理部30、历史信息提示部31和警报输出部32的动作的流程图。

执行管理部30在达到预先规定的时刻之时(在图12步骤s300中，“是”)，对阀开度指示部5、输出信号取得部6和校正系数计算部7发出指示，以开始校正系数计算、设定处理(图12步骤s301)。

阀开度指示部5、输出信号取得部6和校正系数计算部7的动作(图12步骤s302～s308)如在步骤s100～s106中说明的那样。

历史信息提示部31存储有由校正系数计算部7计算出的从过去至当前的校正系数c，对从过去至当前的校正系数c的历史信息进行提示(图12步骤s309)。

图13是示出校正系数c的历史信息的提示例的图。在图13的例子中，在历史信息提示部31显示的画面310中，显示出将校正系数c的计算、设定的执行次数设为横轴并且将校正系数c设为纵轴的图表。另外，历史信息提示部31在画面310中显示表示最初始计算、设定的校正系数c的+5％的线l1和表示-5％的线l2。

警报输出部32在由校正系数计算部7计算出的最新的校正系数c的相对于正常值(通常是在使用热式流量传感器装置的初始计算并存储的校正系数c)的背离程度为规定量以上时(在图12步骤s310中，“是”)，输出警报(图12步骤s311)。

例如，警报输出部32在最新的校正系数c相对于正常值背离了±5％以上时，输出警报。作为警报的输出方法，例如有显示通知警报发生的内容、或者将通知警报发生的信息发送到外部等方法。

通过这样，在本实施例中，通过监控由校正系数计算部7计算、设定的校正系数c，从而能够期待检测出计测流体的状态变化(发生异常等)。

如上所述，在第1、第2实施例中，说明了包括热式流量传感器装置的质量流量控制器的例子，但本发明还能够应用于质量流量控制器以外的装置。另外，也可以将阀配设于热式流量传感器2的上游、下游中的任一方。

第1、第2实施例的热式流量传感器装置中的至少阀开度-流量特性信息存储部3、流量-输出信号基准特性信息存储部4、阀开度指示部5、输出信号取得部6、校正系数计算部7、流量校正部8、执行管理部30、历史信息提示部31、警报输出部32和流量导出部24能够通过具备cpu(centralprocessingunit，中央处理单元)、存储装置和接口的计算机以及控制这些硬件资源的程序来实现。

在图14中示出该计算机的构成例。计算机具备cpu200、存储装置201和接口装置(下面简记为i/f)202。将热式流量传感器2的流量计测部22和流量控制装置9连接到i/f202。在这样的计算机中，用于实现本发明的流量校正方法的程序储存在存储装置201中。cpu200依照在存储装置201中储存的程序，执行在第1、第2实施例中说明的处理。另外，关于流量控制装置9，也如已知的那样，能够通过计算机和程序来实现。

产业上的可利用性

本发明能够应用于热式流量传感器。

符号说明

1…热式流量传感器装置；2…热式流量传感器；3…阀开度-流量特性信息存储部；4…流量-输出信号基准特性信息存储部；5…阀开度指示部；6…输出信号取得部；7…校正系数计算部；8…流量校正部；9…流量控制装置；10…主体块；11…传感器封装体；12…头部；13…流量传感器芯片；14…阀；15…流路；16；17…开口；20…加热器驱动部；21、23…电桥电路；22…流量计测部；24…流量导出部；30…执行管理部；31…历史信息提示部；32…警报输出部；130…硅芯片；131…隔板；133…加热器；134、135…温度传感器；136…周围温度传感器；137…狭缝。