微粒检测器的制作方法

文档序号:18793442发布日期:2019-09-29 19:12阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种微粒检测器,其用于对气体中的微粒(26)进行检测。该微粒检测器(10)具备外壳(22)、电荷发生部(30)、捕集部(50)、噪声消除部(90)和个数检测部(60)。外壳具有气体通过的气体流路(24)。电荷发生部对导入至气体流路(24)内的气体中的微粒(26)附加因放电而产生的电荷(28),从而使其成为带电微粒(P)。捕集部在气体流路(24)内设置于比电场发生部(30)靠近气流的下游侧的位置,对带电微粒(P)进行捕集。噪声消除部消除因电荷发生部(30)的放电而产生的噪声。个数检测部基于根据被捕集部(50)所捕集的带电微粒(P)而变化的物理量对微粒的数量进行检测。

技术研发人员:奥村英正;菅野京一;水野和幸
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2019.03.13
技术公布日:2019.09.27
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