技术特征：
技术总结
本发明提供了一种湿法刻蚀药液成分检测装置及方法，所述湿法刻蚀药液成分检测装置包括：取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。本发明通过引入取样管路并在所述取样管路上设置成分检测器，实现了对湿法药液成分的实时监测；通过引入红外光谱分析，提高了药液成分检测的精度，使产品良率得到显著提升。
技术研发人员：王玉伟;顾立勋;苏界
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2019.05.13
技术公布日：2019.08.16