技术特征：
技术总结
本发明涉及微纳器件的热学参数的电学自测试领域，具体涉及一种MEMS传感器热学参数测试电路及测试方法。所述MEMS传感器热学参数测试电路包括：MEMS传感器阵列，包括多行多列的敏感单元，每个敏感单元通电后会自热并产生与其温度相对应的电学信号；阵列选通开关，用于依次轮流选通MEMS传感器阵列中的敏感单元，并输出所选中的敏感单元产生的电学信号给运算电路；运算电路，对电学信号的变化进行放大运算，并将放大运算结果输出给数据处理单元；电源模块，用于给阵列选通开关所选择的敏感单元供电；所述数据处理单元，根据所述运算电路的实际测试数据计算得到器件热容C、热响应时间τ和热导G。具有电路简单、操作简便、测量速度快、精度高的特点。
技术研发人员：刘超;傅剑宇;侯影;刘瑞文;陈大鹏
受保护的技术使用者：无锡物联网创新中心有限公司
技术研发日：2019.06.13
技术公布日：2019.08.16