湿度传感器及其制造方法与流程

技术总结
本发明的目的在于，提供能够抑制下部电极上小丘的产生的湿度传感器及其制造方法。用于解决课题的方法为一种湿度传感器，具有形成于基板上的下部电极、形成于前述下部电极上并且抑制前述下部电极的塑性变形的塑性变形抑制膜、隔着前述塑性变形抑制膜覆盖前述下部电极的湿敏膜、以及形成于前述湿敏膜上的上部电极。

技术研发人员：三谷勇太
受保护的技术使用者：美蓓亚三美株式会社
技术研发日：2019.07.11
技术公布日：2020.01.21