1.一种运动机构直线度的检测系统,其特征在于,包括照明光源(1)、准直透镜(2)、投影镜头(3)、检测基准光栅(4)、目标光栅(5)、运动机构(6)、电荷耦合器件ccd(7)、精密隔振光学平台(8)及计算机(9);所述照明光源(1)通过准直透镜(2)形成垂直于检测基准光栅(4)的平行光,并照射到检测基准光栅(4)表面,照射到检测基准光栅(4)的光束,通过投影透镜(3)将检测基准光栅(4)表面的周期性栅线图形投影到目标光栅(5)上表面所在平面,并与目标光栅(5)上表面的栅线形成周期性摩尔条纹;通过ccd(7)观察目标光栅(5)表面所形成的摩尔条纹,所述目标光栅(5)位于运动机构(6)之上,所述运动机构(6)位于精密隔振光学平台(8)之上,运动机构(6)在精密隔振光学平台(8)上进行直线位移过程中,通过ccd(7)测量摩尔条纹相对于某一点移动过的莫尔条纹数目,所述计算机(9)分别与ccd(7)及精密隔振光学平台(8)连接,用于控制精密隔振光学平台(8)的移动及用于控制观测ccd(7)进行测量。
2.如权利要求1所述的一种运动机构直线度的检测系统,其特征在于,所述检测基准光栅(4)与目标光栅(5)的栅线具有相同的周期性栅距。
3.如权利要求1所述的一种运动机构直线度的检测系统的检测方法,其特征在于,具体步骤如下:
步骤1:照明光源通过准直透镜形成垂直于检测基准光栅的平行光,并照射到检测基准光栅表面;
步骤2:照射到检测基准光栅的光束,通过投影透镜将检测基准光栅表面的黑白相间的周期性栅线图形投影到目标光栅上表面所在平面;其中,所述检测基准光栅投影形成的栅线图形与目标光栅上表面的栅线具有相同的周期性栅距d;
步骤3:根据莫尔条纹形成原理:两个周期性结构图案重叠时所产生的差频或拍频图案,则检测基准光栅投影形成的栅栏图形与目标光栅上表面的光栅以一个角度θ相互倾斜重叠后产生莫尔条纹,其中,所述θ为0-90°;
步骤4:当莫尔条纹产生后,目标光栅沿着垂直于栅线的方向移动,检测基准光栅不动,莫尔条纹的运动方向垂直于光栅的移动方向;通过ccd能够观察到所形成的莫尔条纹,目标光栅每移动一个栅距d,莫尔条纹就移动一个条纹间隔w,根据公式w=d/θ计算得到莫尔条纹的条纹间隔w;
步骤5:通过电荷耦合器件ccd观测出莫尔条纹相对于某一点移动过的条纹数目n,则得到运动机构的直线偏移量为n×w。