一种三维封装芯片硅通孔的测试装置及其方法与流程

文档序号:19152872发布日期:2019-11-16 00:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,包括底座和位于底座上的探针卡,其特征在于,所述底座的底部固定安装有两个对称设置的竖板,竖板的顶部固定安装有同一个横梁,两个竖板相互靠近的一侧滑动安装有同一个连接座,且探针卡固定安装在连接座的底部,底座的顶部固定安装有承载座,承载座的顶部开设有放置槽,放置槽内放置有待测晶圆,连接座的底部固定安装有两个对称设置的竖杆。

2.根据权利要求1所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述横梁的底部开设有两个对称设置的第一槽,第一槽内滑动安装有移动座,移动座的底部延伸至横梁的下方并固定安装有移动板,移动板的一侧固定安装有两个对称设置的固定座,两个固定座相互靠近的一侧固定安装有同一个稳定杆。

3.根据权利要求2所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述稳定杆上滑动套设有滑动座,滑动座的一侧铰接有第一杆的一端和第二杆的一端,第一杆的另一端铰接在连接座上,第二杆的连第一铰接在横梁上。

4.根据权利要求1所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,两个竖板相互靠近的一侧均开设有第一限位槽,连接座的两侧均固定安装有第一限位块,且第一限位块与对应的第一限位槽滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,两个第一槽相互靠近的一侧内壁上开设有同一个第一孔,第一孔内滑动安装有横杆,且横杆的两侧分别固定安装在两个移动座上,横杆的一侧固定安装有齿条。

6.根据权利要求1所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述横梁的顶部固定安装有旋转电机,旋转电机的输出轴延伸至第一孔内并固定安装有齿轮,且齿轮与齿条相啮合,第一孔的顶部内壁上和底部内壁上均开设有第二限位槽,横杆的顶部和底部均固定安装有第二限位块,且第二限位块与对应的第二限位槽滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述竖杆的一侧固定安装有第一板,第一板上开设有两个对称设置的第二孔,第二孔内滑动安装有第三杆,两个第三杆的底端固定安装有同一个压板,第三杆上活动套设有固定弹簧的一端,固定弹簧的另一端固定安装在压板上。

8.根据权利要求1所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述放置槽的两侧内壁上均开设有第二槽,第二槽内滑动安装有夹板,第二槽的一侧内壁上开设有第三槽,夹板的一侧固定安装有推杆,且推杆滑动安装在第三槽内,推杆上开设有斜孔。

9.根据权利要求8所述的一种三维封装芯片硅通孔的测试装置,其特征在于,所述第三槽的顶部内壁上开设有第四槽,第四槽滑动安装有滑动板,滑动板的底部固定安装有斜杆,且斜杆与对应的斜孔相适配,滑动板的顶部固定安装有压杆的一端,压杆的另一端延伸至承载座的上方并固定安装有挡板,压杆上活动套设有复位弹簧,复位弹簧的一端固定安装在挡板上,复位弹簧的另一端固定安装在承载座上。

10.一种三维封装芯片硅通孔的测试方法,其特征在于,包括以下步骤;

s1:把待测晶圆放置在放置槽内,然后启动旋转电机,旋转电机通过输出轴带动齿轮进行转动,齿轮带动齿条进行移动,齿条带动横杆进行移动,在第二限位块和第二限位槽的作用下,使得横杆能够进行稳定的移动,横杆的移动带动移动座进行移动,移动座的移动带动移动板进行移动;

s2:移动板的移动,在第二杆的作用下,第二杆带动滑动座向下移动,滑动座带动第一杆进行移动,第一杆带动连接座进行移动,连接座带动第一限位块在第一限位槽内进行滑动,使得连接座能够进行稳定的移动,连接座能够的弹针卡进行移动,使得探针卡能够与待测晶圆相接触,此而便于对探针卡进行移动;

s3:连接座的移动通过竖杆带动第一板进行移动,第一板通过固定弹簧带动压板移动,使得压板能够与待测晶圆相接触,从而能够对待测晶圆进行压紧固定,压板的移动,是的压板对挡板进行挤压,使得挡板向下移动并对复位弹簧进行挤压;

s4:挡板的移动带动压杆进行移动,压杆带动斜杆进行移动斜杆通过斜孔带动带动推杆进行移动,推杆带动夹板进行移动,使得夹板能够对待测晶圆进行横向夹持固定,从而能够对待测晶圆进行固定,便于的探针卡进行移动,且能够在探针卡移动的同时对待测晶圆进行固定,从而方便人们的检测。


技术总结
本发明属于测试设备领域,尤其是一种三维封装芯片硅通孔的测试装置及其方法,针对现有的测试装置不便于对探针卡进行移动,且不便于对待测晶圆进行固定的问题,现提出如下方案,其包括底座和位于底座上的探针卡,所述底座的底部固定安装有两个对称设置的竖板,竖板的顶部固定安装有同一个横梁,两个竖板相互靠近的一侧滑动安装有同一个连接座,且探针卡固定安装在连接座的底部,底座的顶部固定安装有承载座,承载座的顶部开设有放置槽,放置槽内放置有待测晶圆,连接座的底部固定安装有两个对称设置的竖杆。本发明设计合理,便于的探针卡进行移动,且能够在探针卡移动的同时对待测晶圆进行固定,从而方便人们的检测。

技术研发人员:郭志宏
受保护的技术使用者:大同新成新材料股份有限公司
技术研发日:2019.08.21
技术公布日:2019.11.15
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