1.一种抗干扰耐过载mems加速度计，包括依次键合的衬底层、感应电极层、可动敏感结构层与盖帽，感应电极层包含感应电极中心锚点与两侧的感应电极，可动敏感结构层包含第一可动敏感结构中心锚点、第一实心可动敏感结构与第一空心可动敏感结构，其特征在于，所述感应电极底部设有硅支撑柱，硅支撑柱顶端与感应电极相连、底端与衬底层相连，感应电极中心锚点底部也与衬底层相连。
2.根据权利要求1所述的一种抗干扰耐过载mems加速度计，其特征在于，所述第一可动敏感结构中心锚点、第一实心可动敏感结构与第一空心可动敏感结构上方分别对称键合有第二可动敏感结构中心锚点、第二实心可动敏感结构与第二空心可动敏感结构，第一空心可动敏感结构与第二空心可动敏感结构之间形成闭合的空腔。
3.根据权利要求1或2所述的一种抗干扰耐过载mems加速度计，其特征在于，所述盖帽的一侧设有垂直引线，垂直引线外周设有竖直的隔离环，垂直引线底端与衬底层相连、顶端设有引线键合pad。