1.一种基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，采用平板波导结构，自上而下设置了上层金属薄膜、玻璃片、下层金属膜；所述的上层金属薄膜和下层金属膜形成平板波导的包覆层，玻璃片形成导波层；其特征在于：包括如下步骤：
第一步：玻璃片处理：将数片大小相同的玻璃片放入烧杯中，倒入清水和洗洁精混合液，将烧杯放入超声池中进行超声清洗2h；然后，将烧杯中混合液倒出并冲刷干净，再将乙醇与丙酮按体积比3：1混合倒入烧杯中，同时滴加几滴硝酸，用保鲜膜将烧杯口密封，放入超声池中继续超声清洗4个小时；接着，将烧杯中混合液倒出并冲刷干净，再倒入异丙醇,同样密封之后将烧杯放入超声池中超声清洗2个小时；最后，将玻璃片取出并用氮气吹干即可；
第二步：蒸发镀膜法镀厚银膜：抽真空，调节电流使银靶材熔化，控制蒸镀速率以及时间得到100nm左右的银膜；
第三步：磁控溅射法镀薄银膜：抽真空,调节氩气流量，旋转电压调节钮到260v至启辉，调节溅射电压,控制溅射时间得到厚度为30nm左右的银膜；
第四步：制成sers芯片：在厚银膜上滴加0.1％氯金酸溶液，用785nm的激光进行照射至反应溶液干，激光耦合进入导波层产生超高阶导模产生振荡场，形成驻波，反应溶液在光场激发下与下层金属膜发生反应，利用双金属光波导产生的热增强刻蚀金属膜制成sers芯片。
2.根据权利要求1所述的基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，其特征在于：所述的sers芯片直接用sem进行表征。
3.根据权利要求1所述的基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，其特征在于：所述的sers芯片上滴加结晶紫溶液，测试拉曼信号。
4.根据权利要求1所述的基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，其特征在于：所述的第一步中，玻璃片的规格大小为18mm×18mm，厚度为0.13mm-0.17mm。
5.根据权利要求1所述的基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，其特征在于：所述的第二步蒸发镀膜法中，真空度为：8×10-4pa；电流为：100a。
6.根据权利要求1所述的基于双面金属光波导热增强刻蚀sers芯片的方法，其特征在于：所述的第三步磁控溅射法中，真空度为：2×10-4pa；氩气流量为：40；电压为：280v；电流为：30a。