用于样品的缺陷检查系统和用于样品的缺陷检查方法与流程

本申请要求于2018年11月13日提交的第10-2018-0138795号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的内容通过引用全部合并于此。

本公开涉及用于样品的缺陷检查系统和检查样品的缺陷的方法。

背景技术：

显示装置可被用作用于移动装置(诸如，智能电话、数码相机、摄像机、移动终端、膝上型计算机和平板个人计算机)的显示器，或者可被应用于电气与电子产品(诸如，电视机)。通过考虑对用户便利性(诸如用户的握持和易于便携)的影响，显示装置可在其边缘区域(或外围)中具有恒定的曲率，并且也可提供改善的美观性。因此，显示装置的盖玻璃的边缘区域(或外围区域)也具有恒定的曲率。

盖玻璃容易被使用显示装置的用户识别。盖玻璃中的缺陷是在显示装置中的缺陷中的最容易被用户发现的一个缺陷。

通过自动的缺陷检查系统来检测盖玻璃中的缺陷，并且存在使用通过拍摄盖玻璃获得的图像来分析缺陷的方法。

本说明书的背景部分包括意在为示例实施例提供上下文的信息，并且此背景部分中的信息不必构成现有技术。

技术实现要素：

本公开的实施例提供了能够检测样品(诸如，盖玻璃)中的缺陷的缺陷检查系统和缺陷检查方法。

本公开提供了能够通过一个拍摄操作(或图像捕获操作)容易地检测样品的弯曲部分中的缺陷的缺陷检查系统和缺陷检查方法。

本公开的实施例提供一种用于样品的缺陷检查系统，缺陷检查系统包括图像传感器和缺陷检查装置。图像传感器被配置为捕获样品的目标图像。样品包括平坦部分和从平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的弯曲部分。目标图像包括与样品的平坦部分对应的第一区域以及与样品的弯曲部分对应的第二区域。缺陷检查装置被配置为基于目标图像确定样品的缺陷。缺陷检查装置包括被配置为沿第一方向按照调整大小比率放大第二区域的宽度的图像编辑器。

图像编辑器可被配置为将第一区域与第二区域分离，通过放大第二区域的宽度产生调整大小的区域，并且将第一区域与调整大小的区域组合以产生检查图像。

缺陷检查装置还可包括被配置为从检查图像检测缺陷区域的缺陷检测器和被配置为将缺陷区域的大小与参考范围进行比较以确定样品是否正常的缺陷鉴别器。

缺陷检测器可被配置为基于检查图像中彼此相邻的像素之间的信息的差异将检查图像划分成多个区域，并且从所述多个区域选择缺陷区域。

缺陷鉴别器可被配置为当缺陷区域的大小大于参考范围时确定样品是异常的。

调整大小比率可基于基本正交于平坦部分的第三方向与基本正交于弯曲部分的切平面的第四方向之间的角度被确定。调整大小比率可以是该角度的正割值。

调整大小比率可包括第一比率和第二比率，第一比率基于基本正交于平坦部分的第三方向与基本正交于在弯曲部分的第一点处的第一切平面的第四方向之间的第一角度被确定，第二比率基于第三方向与基本正交于在弯曲部分的第二点处的第二切平面的第五方向之间的第二角度被确定。图像编辑器可按照第一比率放大第二区域的宽度以产生第一检查图像，并且按照第二比率放大第二区域的宽度以产生第二检查图像。

缺陷检查装置还可包括缺陷检测器和缺陷鉴别器，缺陷检测器被配置为从第一检查图像检测第一缺陷区域并且从第二检查图像检测第二缺陷区域，缺陷鉴别器被配置为当第一缺陷区域的大小大于参考范围时或者当第二缺陷区域的大小大于参考范围时确定样品是异常的。

弯曲部分可包括从平坦部分沿第一方向延伸的第一部分以及从平坦部分沿第二方向延伸的第二部分，第二方向与第一方向交叉，并且第二区域可包括与第一部分对应的第一弯曲区域以及与第二部分对应的第二弯曲区域。图像编辑器可放大第一弯曲区域的与第一方向对应的宽度并且可放大第二弯曲区域的与第二方向对应的宽度。

弯曲部分还可包括从第一部分沿第二方向延伸并且从第二部分沿第一方向延伸的第三部分。第二区域还可包括与第三部分对应的第三弯曲区域。图像编辑器可放大第三弯曲区域的与第一方向对应的宽度和第三弯曲区域的与第二方向对应的宽度。

本公开的实施例提供一种检查样品的缺陷的方法。该方法包括捕获样品的目标图像。样品包括平坦部分和从平坦部分沿第一方向延伸并且相对于与第一方向交叉的第二方向具有曲率的弯曲部分。方法还包括从目标图像提取与平坦部分对应的第一区域以及与弯曲部分对应的第二区域，放大第二区域的与第一方向对应的宽度以产生检查图像，并且基于检查图像确定样品是否正常。

检查图像的产生步骤可包括按照调整大小比率放大第二区域的宽度以产生调整大小的区域，并且将第一区域与调整大小的区域组合。

调整大小比率可以是基本正交于平坦部分的第三方向与基本正交于弯曲部分的切平面的第四方向之间的角度的正割值。

确定样品是否正常的步骤可包括：从检查图像检测缺陷区域，并且将缺陷区域的大小与参考范围进行比较以确定样品的缺陷。

当在第二区域中存在缺陷区域中的至少一部分时，在检查图像的产生步骤中可沿第一方向放大第二区域中的缺陷区域。

检查图像的产生步骤可包括：按照第一比率放大第二区域的宽度以产生第一调整大小的区域，将第一区域与第一调整大小的区域组合以产生第一检查图像，按照与第一比率不同的第二比率放大第二区域的宽度以产生第二调整大小的区域，并且将第一区域与第二调整大小的区域组合以产生第二检查图像。

确定样品是否正常的步骤可包括：从第一检查图像检测第一缺陷区域，从第二检查图像检测第二缺陷区域，并且当第一缺陷区域的大小大于参考范围或者当第二缺陷区域的大小大于参考范围时确定样品是异常的。

确定样品是否正常的步骤可包括：从第一检查图像检测第一缺陷区域，从第二检查图像检测第二缺陷区域，并且当第一缺陷区域的大小小于参考范围并且第二缺陷区域的大小小于参考范围时确定样品是正常的。

样品可包括在显示面板上的盖玻璃。

根据以上内容，可通过考虑在拍摄样品的弯曲部分时(例如，在捕获样品的图像时)失真的缺陷的大小来确定缺陷。因此，可提高用于样品的缺陷检测可靠性。此外，可通过一个拍摄操作(或图像捕获操作)执行缺陷检查操作，并且可简化补偿弯曲部分的失真的计算操作，从而快速确定样品是否包括缺陷。

附图说明

通过参照结合附图考虑时的以下详细描述，本公开的以上和其他方面将变得易于清楚，其中：

图1是示出根据本公开的示例实施例的用于样品的缺陷检查系统的示意图；

图2是示出图1的缺陷检查装置的框图；

图3是示出检查样品的缺陷的方法的流程图；

图4是示出根据实施例的将被检查缺陷的样品的透视图；

图5是示出图4的样品的弯曲部分的剖视图；

图6是示出通过捕获图4的样品的图像获得的目标图像的平面图；

图7是示出基于图6的目标图像产生的检查图像的平面图；

图8是示出图4的样品的弯曲部分的剖视图；

图9是示出检查图8的样品的缺陷的方法的流程图；

图10是示出根据实施例的将被检查缺陷的样品的透视图；

图11是示出基于图10的样品的目标图像产生的检查图像的平面图；以及

图12是示出应用了样品的显示装置的透视图。

具体实施方式

可以以许多不同的形式不同地修改并实现本公开，因此在附图中举例说明特定实施例并且在此描述特定实施例。然而，本公开不应限于特定的公开形式，并且应被解释为包括在本公开的精神和范围中包括的所有修改、等同物或替代物。相反地，这些实施例作为示例被提供使得本公开将是详尽且完整的，并且将向本领域的技术人员充分地传达本发明的方面和特征。因此，可以不描述对本领域的普通技术人员完整理解本公开的方面和特征所不必需的处理、元件和技术。除非另有注明，否则在整个附图和书面描述中相同的附图标号表示相同的元件，因此，可以不重复其描述。在图中，为了清楚可夸大元件、层和区域的相对大小。

将理解的是，尽管术语第一、第二等在这里可用于描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但这些元件、组件、区域、层和/或部分不应被这些术语所限制。这些术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一区域、层或部分区分开。因此，在不脱离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件、组件、区域、层或部分可被称为第二元件、组件、区域、层或部分。如这里所使用的，除非上下文另有清楚地指示，否则单数形式“一个(种/者)”和“该(所述)”也意在包括复数形式。

将理解的是，当元件或层被称为“在”另一元件或层上，“连接到”或“结合到”另一元件或层时，所述元件或层可直接地在所述另一元件或层上，直接连接到或者直接结合到所述另一元件或层，或者可存在一个或更多个中间元件或层。

还将理解的是，术语“包含”和“包括”及其变型当在本说明书中被使用时，指明存在所陈述的特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。如这里所使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任何和所有组合。当诸如“……中的至少一个”的表述在一列元素之后时，所述表述修饰整列元素而不是修饰该列中的单个元素。

如这里所使用的，术语“基本”、“大约”和类似术语被用作近似术语而不作为程度术语，并且意在解释将由本领域的普通技术人员认识到的测量值和计算值的固有偏差。此外，当描述本发明的实施例时，使用“可以(可)”表示“本发明的一个或更多个实施例”。此外，当描述本发明的实施例时，使用可选的语言(诸如“或”)表示用于每一个相应的所列项的“本发明的一个或更多个实施例”。如这里所使用的，术语“使用”及其变型可被分别视为与术语“利用”及其变型同义。此外，术语“示例性的”意在表示示例或说明。

除非另有定义，否则这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还将理解的是，除非这里明确地定义，否则术语(诸如在通用字典中定义的那些术语)应该被解释为具有与它们在相关技术和/或本说明书的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于正式的意义被解释。

在下文中，参照附图解释本公开的实施例。

图1是示出根据本公开的示例实施例的用于样品wd的缺陷检查系统100的示意图。缺陷检查系统100被配置为检测样品wd(或者在样品wd中或在样品wd上)的缺陷并且被配置为确定样品wd是正常还是异常。例如，缺陷可以是划痕。参照图1，缺陷检查系统100包括图像传感器110、缺陷检查装置120和显示装置160。

在本示例实施例中，样品wd可以是当制造显示装置160时保护显示面板的盖构件(例如，盖)。盖构件可防止显示面板因诸如由触摸导致的指纹、划痕、水分、灰尘或外部影响的因素而受损害，或者可降低对显示面板的损害的可能性。例如，样品wd可包括透明的或半透明的玻璃材料，然而，本公开不应限于此或受此限制。例如，样品wd可包括聚合物材料，诸如聚酰亚胺(pi)、聚碳酸酯(pc)、聚醚砜(pes)或聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)。

样品wd可包括平坦部分和弯曲部分。弯曲部分从平坦部分延伸。弯曲部分可具有曲率并且可被弯曲。弯曲部分可定义样品wd的边缘区域(例如，外围)。图1示出样品wd的侧表面。

图像传感器110捕获样品wd的图像(例如，拍摄样品wd)。图像传感器110可捕获当样品wd在(或者设置在)显示面板上时与显示表面对应的样品wd的图像(例如，拍摄样品wd的前表面)。图像传感器110可例如通过拍摄样品wd来获得(或者捕获)目标图像。目标图像可包括与样品wd的平坦部对应的图像以及与样品wd的弯曲部分对应的图像。

图像传感器110包括以阵列形式布置的多个图像像素。图像像素中的每个图像像素感测频带(例如，特定频带)的光。特定频带可以是可见光频带，然而它不应限于此或受此限制。可将感测的光转换成模拟电信号，并且可将模拟电信号转换成数字信号。可基于数字信号产生与图像像素对应的目标图像。目标图像可包括分别与图像像素对应的像素信息。

缺陷检查装置120被配置为基于目标图像确定样品wd的缺陷的存在。例如，缺陷检查装置120从图像传感器110接收目标图像。缺陷检查装置120可包括图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150。

图像编辑器130调整接收的目标图像的大小以产生检查图像。当图像传感器110捕获样品wd的图像(例如，拍摄样品wd)时，平坦部分的图像具有与实际的平坦部分类似的形状(例如，具有与样品wd的平坦部分的形状类似的形状)，但因为捕获的(或拍摄的)图像是空间二维的，所以弯曲部分的图像失真并且具有与实际的弯曲部分不同的形状(例如，具有与样品wd的弯曲部分的形状不同的形状)。在图像的弯曲部分中的缺陷可能表现得小于该缺陷的实际大小。图像编辑器130校正与弯曲部分对应的图像，因此可提高缺陷检测的可靠性。

图像编辑器130放大与目标图像的弯曲部分对应的图像。当用户沿与图像传感器110的拍摄方向不同的方向(例如，与弯曲部分的切平面基本正交或垂直的方向)观看样品wd时，用户可感知到缺陷的大小大于目标图像中出现的缺陷的大小。例如，图像编辑器130可通过考虑沿另一方向观看的缺陷的大小按照特定比率放大与弯曲部分对应的图像。

例如，图像编辑器130可以不以与弯曲部分伸展相同的方式放大图像。因为用户的眼睛可以与图像传感器110类似的方式将三维空间识别为二维空间，所以在缺陷的可视性方面不需要放大图像(诸如，使弯曲部分伸展)。因此，图像编辑器130可按照比率(或按照预定的比率或者按照预定数量的比率)均匀地放大图像。例如，通过考虑曲率，与图像放大(诸如，使弯曲部分伸展)的量相比可减少计算量。

图像编辑器130可检测与平坦部分对应的图像以及与弯曲部分对应的图像并且将与平坦部分对应的图像以及与弯曲部分对应的图像分离，以放大与弯曲部分对应的图像。例如，假设样品wd的大小和位置不被改变并且目标图像的特定区域是与弯曲部分对应的图像，图像编辑器130可检测并分离出与弯曲部分对应的图像。例如，图像编辑器130可基于由于平坦部分与弯曲部分之间的深度差异而导致的平坦部分与弯曲部分之间的图像的亮度、颜色和/或饱和度上的差异，检测并分离出与弯曲部分对应的图像。随后，图像编辑器130可放大与弯曲部分对应的图像并且可将放大的图像与对应于平坦部分的图像组合，从而产生检查图像。

缺陷检测器140分析由图像编辑器130产生的检查图像并且检测其中存在缺陷的样品wd的缺陷区域。例如，缺陷检测器140可通过连接像素检测方式(blob方法)检测缺陷区域。例如，缺陷检测器140可基于包括在检查图像中的像素信息之中的彼此相邻的像素信息的差异将检查图像划分成多个区域。像素信息可以是通过将亮度、颜色和/或饱和度数字化而获得的信息。缺陷检测器140可将具有相同的数字化信息并且彼此具有小于参照值的差的区域分组为一组。

缺陷检测器140可在分组的区域之中选择至少一个缺陷区域。与周围区域相比，缺陷可在属性(诸如亮度、颜色和/或饱和度)方面不相同，并且缺陷区域可基于差异被确定。例如，可预先记录根据缺陷的类型的像素信息或图案，并且缺陷检测器140可基于记录来检测区域之中的至少一个缺陷区域。

缺陷鉴别器150可基于由缺陷检测器140检测到的缺陷区域确定样品wd是否包括缺陷。缺陷鉴别器150将缺陷区域的大小与参考范围进行比较，以确定样品wd是正常还是异常。在本示例实施例中，可基于允许样品wd能够应用于显示装置的最小的缺陷大小来设置参考范围。当缺陷区域的大小大于参考范围(或者等于或大于参考范围)时，可将样品wd确定为是异常的。当缺陷区域的大小等于或小于参考范围(或者小于参考范围)时，可将样品wd确定为是正常的。

显示装置160可显示允许缺陷检查系统100的用户识别检查结果的图像。该图像可以是由图像传感器110产生的目标图像或者由缺陷检查装置120产生的检查图像，然而，该图像不应限于此或受此限制。例如，显示装置160可显示缺陷区域或者可显示样品wd是否正常。

图2是示出图1的缺陷检查装置120的框图。图2中示出的缺陷检查装置120与图1的缺陷检查装置120对应并且具有基于通过图像传感器110获得的目标图像确定样品wd的缺陷的配置。然而，缺陷检查装置120的配置不应限于此或受此限制。参照图2，缺陷检查装置120包括相机接口121、处理器122、存储器123、存储装置124、显示接口125、网络接口126和总线127。

相机接口121从图1的图像传感器110接收目标图像。缺陷检查装置120经由相机接口121而与图像传感器110通信。例如，相机接口121可与图像传感器110串行通信。例如，可在相机接口121中实现解串器，并且可在图像传感器110中实现串行器。

处理器122可作为缺陷检查装置120的中央处理单元执行功能。处理器122可执行调整目标图像的大小、产生检查图像、检测缺陷区域并且确定样品wd的缺陷所使用(或者所需要)的控制操作和计算操作。例如，相机接口121可响应于处理器122的控制接收目标图像。根据处理器122的控制，可从目标图像提取与弯曲部分对应的图像并且可调整与弯曲部分对应的图像的大小。根据处理器122的控制，可检测缺陷区域并且可确定样品wd的缺陷。处理器122可使用存储器123的计算空间进行操作，并且可从存储装置124读出用于运行操作系统的文件以及应用的执行文件。

存储器123可存储由处理器122处理(或者将由处理器122处理)的数据和处理器代码。例如，存储器123可存储从相机接口121提供的目标图像、用于产生检查图像的信息、用于检测缺陷区域的信息和用于确定样品wd的缺陷的信息。存储器123可被用作缺陷检查装置120的主要存储器装置。例如，存储器123可包括动态ram(dram)、静态ram(sram)、相变ram(pram)、磁性ram(mram)、铁电ram(feram)或电阻式ram(rram)。

存储器123可包括图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150。图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150与图1的图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150分别对应。图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150可以是存储器123的计算空间的一部分。例如，可通过固件或软件实现图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150。例如，固件可被存储在存储装置124中并且当执行固件时固件可被加载到存储器123。处理器122可执行加载到存储器123的固件。

在处理器122的控制下可操作图像编辑器130以提取目标图像中与弯曲部分对应的图像并且调整其大小，因此图像编辑器130可产生检查图像。在处理器122的控制下可操作缺陷检测器140以检测检查图像中的至少一个缺陷区域。在处理器122的控制下可操作缺陷鉴别器150以基于缺陷区域的大小确定样品wd是正常还是异常。

在一些实施例中，图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150可被实现为单独的硬件组件。例如，可通过专用逻辑电路(诸如现场可编程门阵列(fpga)或专用集成电路(asic))实现图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150。

存储装置124可存储由操作系统或应用产生的用于长期存储的数据、用于驱动操作系统的文件或应用的执行文件。例如，存储装置124可存储用于执行图像编辑器130、缺陷检测器140和缺陷鉴别器150的文件。存储装置124可被用作缺陷检查装置120的辅助存储器装置。例如，存储装置124可包括闪存、相变ram(pram)、磁性ram(mram)、铁电ram(feram)或电阻式ram(rram)。

显示接口125可与图1的显示装置160通信。作为示例，显示接口125可与显示装置160串行通信。例如，可在显示接口125中实现串行器，并且可在显示装置160中实现解串器。

网络接口126可与外部电子装置通信。作为示例，网络接口126可基于至少一个无线通信方法(诸如长期演进(lte)、码分多址(cdma)、wifi或射频识别(rfid))或有线通信方法(诸如通用串行总线(usb)、串行at附件(sata)、串行外围接口(spi)和/或内部集成电路(i²c))执行通信。

总线127可提供缺陷检查装置120的组件之间的通信路径。相机接口121、处理器122、存储器123、存储装置124、显示接口125和网络接口126可经由总线127彼此交换数据。总线127可支持在缺陷检查装置120中使用的各种类型的通信格式。

图3是示出用于样品的缺陷检查方法的流程图。图3的每个操作可由图1的缺陷检查系统100或图2的缺陷检查装置120执行，并且可由图2的处理器122执行。为了便于解释，参照图1的附图标号描述图3的缺陷检查方法。

在操作s110，图像传感器110捕获样品wd的图像(例如，拍摄样品wd)以获得目标图像。将目标图像提供给缺陷检查装置120。目标图像包括与样品wd的平坦部分对应的第一区域以及与样品wd的弯曲部分对应的第二区域。

在操作s120，缺陷检查装置120从目标图像提取第一区域和第二区域。可通过图像编辑器130提取第一区域和第二区域。图像编辑器130可将第一区域和第二区域分离。

在操作s130，缺陷检查装置120可调整第二区域的大小。可由图像编辑器130调整第二区域的大小。图像编辑器130可按照调整大小比率来放大第二区域以产生调整大小的区域(或者调整大小区域)。可基于基本正交(或垂直)于平坦部分的方向与基本正交(或垂直)于弯曲部分的切平面(例如，任意切平面)的方向之间的角度设置调整大小比率。图像编辑器130将第一区域与调整大小的区域结合以产生检查图像。

在操作s140，缺陷检查装置120对检查图像进行分析以检测至少一个缺陷区域。可由缺陷检测器140检测缺陷区域。例如，缺陷检测器140可使用连接像素检测方式来检测缺陷区域。

在操作s150，缺陷检查装置120可基于缺陷区域的大小确定样品wd的缺陷。可由缺陷鉴别器150确定样品wd的缺陷。例如，缺陷鉴别器150将缺陷区域的大小与参考范围进行比较以确定样品wd是正常还是异常。

图4是示出将被检查缺陷的样品wd1的透视图。样品wd1与图1的样品wd对应。样品wd1可以是保护显示面板的盖构件(例如，盖)，例如，可以是盖玻璃。参照图4，样品wd1包括平坦部分fa、第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2。

在下文中，为了便于解释，定义了第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3。第一方向dr1与沿(沿着)其布置第一弯曲部分ca1、平坦部分fa和第二弯曲部分ca2的方向对应。第二方向dr2可以与第一弯曲部分ca1、平坦部分fa和第二弯曲部分ca2中的每个延伸的方向对应并且可以基本正交(或垂直)于第一方向dr1。第三方向dr3与图像传感器110的拍摄方向对应，其中，所述拍摄方向基本正交(或垂直)于第一方向dr1和第二方向dr2。

平坦部分fa的表面可基本平行于由第一方向dr1和第二方向dr2定义的平面(或表面)并且可基本正交(或垂直)于第三方向dr3。第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2从平坦部分fa沿第一方向dr1延伸。连接到平坦部分fa的表面的第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2的表面相对于第二方向dr2具有曲率。第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2可具有相同的曲率，然而，它们不应限于此或受此限制。第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2可以是样品wd1的边缘区域(或样品wd1的外围区域)。

图1的图像传感器110沿第三方向dr3捕获样品wd1的图像(例如，拍摄样品wd1)。当缺陷存在于平坦部分fa中时，缺陷在目标图像中不失真。当缺陷存在于第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2中时，缺陷在目标图像中失真。例如，在目标图像上出现的缺陷可小于该缺陷的实际大小。

图5是示出图4的样品wd1的第一弯曲部分ca1的剖视图。图5中示出的第一弯曲部分ca1与图4的第一弯曲部分ca1对应。图5中示出的第一弯曲部分ca1是当沿图4的第二方向dr2观看第一弯曲部分ca1时获得的。

参照图5，第一弯曲部分ca1沿第一方向dr1具有第一长度l1。第一弯曲部分ca1沿第三方向被识别(感知)为第一长度l1。因为图1的图像传感器110沿第三方向dr3捕获第一弯曲部分ca1的图像(例如，拍摄第一弯曲部分ca1)，所以弯曲部分的曲线被拍摄(或捕获)为具有第一长度l1。因此，当缺陷存在于第一弯曲部分ca1的曲线上时，该缺陷以小于该缺陷的实际长度的长度被拍摄(或捕获)。

当沿相对于第三方向dr3具有第一角度a1的差值的方向(在下文中，称为“观看方向”)观看第一弯曲部分ca1时，第一弯曲部分ca1被识别(感知)为第二长度l2。第二长度l2大(或长)于第一长度l1，并且在第一弯曲部分ca1的曲线上的缺陷沿观看方向可以表现得比沿第三方向dr3的缺陷大。因此，当未对第一弯曲部分ca1的图像进行附加处理时，通过仅沿第三方向dr3的图像捕获(或拍摄)未发现的缺陷可以后来被发现。

图1的缺陷检查装置120可执行调整大小操作以将目标图像中的第一长度l1放大到第二长度l2，其中，第一长度l1是通过沿第三方向dr3捕获第一弯曲部分ca1(例如，拍摄第一弯曲部分ca1)的图像而获得的，第二长度l2是通过沿观看方向捕获第一弯曲部分ca1(例如，拍摄第一弯曲部分ca1)的图像而获得的。像这样，需要作为第二长度l2与第一长度l1的比率的调整大小比率。调整大小比率基于第一角度a1被确定。交叉点p1与第一弯曲部分ca1的曲线上的点(例如，任意点)对应并且基于观看方向被确定。穿过交叉点p1的切线基本正交(或者垂直)于观看方向，并且第一角度a1是观看方向与第三方向dr3之间的角度。因此，调整大小比率可被计算为第一角度a1的正割值sec(a1)。

可预先为缺陷检查装置120设置调整大小比率。例如，可通过考虑缺陷发生图案、大量发生缺陷的位置、制造工艺和缺陷检测效率来确定调整大小比率。作为示例，在确定当交叉点p1位于第一弯曲部分ca1的曲线的中间时缺陷检查效率最高时，调整大小比率约为sec(45°)，即，约为2的平方根。

图6是示出通过捕获图4的样品wd1(或者通过拍摄图4的样品wd1)的图像而获得的目标图像的平面图。参照图6，目标图像img包括第一区域ar1、第二区域ar2和第三区域ar3。第一区域ar1是与图4的平坦部分fa对应的图像。第二区域ar2是与图4的第一弯曲部分ca1对应的图像(弯曲区域)。第三区域ar3是与图4的第二弯曲部分ca2对应的图像(弯曲区域)。

在图6中，为了便于解释，定义了第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3。目标图像img是基于在图像传感器110中二维地布置的像素获得的信息，并且样品wd1存在于三维空间中。因此，图6的第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3不应严格地按照与图4的第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3相同的意义被解释。然而，因为目标图像img的坐标与样品wd1的坐标对应，所以将显而易见的是，图6的第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3分别与图4的第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3对应。

第二区域ar2和第三区域ar3分别与第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2对应，因此，第二区域ar2和第三区域ar3可以是(或者具有)失真图像。参照图4，第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2具有相对于第二方向dr2的曲率。因此，第二区域ar2和第三区域ar3中的每个区域在第一方向dr1上会失真，但在第二方向dr2不会失真。

在本示例实施例中，假设作为在样品wd1中形成缺陷的结果而在目标图像img中存在第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3、第四缺陷区域df4和第五缺陷区域df5。因为第一缺陷区域df1形成在第一区域ar1中，所以第一缺陷区域df1可以是不失真的图像。因为第二缺陷区域df2形成在第二区域ar2中并且基本沿第一方向dr1延伸，所以第二缺陷区域df2可以是失真成小于缺陷的实际长度的图像。第三缺陷区域df3形成在第二区域ar2中并且基本沿第二方向dr2延伸，因此第三缺陷区域df3可以是几乎无失真的图像。第四缺陷区域df4形成在第三区域ar3中并且沿与第一方向dr1和第二方向dr2不同的方向延伸，结果是，第四缺陷区域df4可以是沿第一方向dr1失真并且沿第二方向dr2不失真的图像。因为第五缺陷区域df5形成在第一区域ar1和第三区域ar3上并且基本沿第一方向dr1延伸，所以第五缺陷区域df5可以是仅在与第三区域ar3对应的区域中失真的图像。

图7是示出基于图6的目标图像产生的检查图像的平面图。参照图7，检查图像imga包括第一区域ar1、第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2。如上所述，检查图像imga是通过将第一区域ar1、第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2组合获得的图像，然而，为了便于解释，在将第一区域ar1、第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2彼此分离之后示出第一区域ar1、第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2。

首先，可从图6的目标图像img提取第一区域ar1、第二区域ar2和第三区域ar3并且将第一区域ar1、第二区域ar2和第三区域ar3彼此分离。随后，可沿第一方向dr1按照调整大小比率放大第二区域ar2和第三区域ar3。结果是，产生了第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2。例如，第二区域ar2沿第一方向dr1具有第一宽度w1，并且第一调整大小的区域ra1沿第一方向dr1具有第二宽度w2。第二宽度w2大于第一宽度w1。调整大小比率可以是第二宽度w2与第一宽度w1的比率。

第一缺陷区域df1可被保持为与图6的目标图像img的第一缺陷区域df1相同。通过放大第二区域ar2来沿第一方向dr1放大第二缺陷区域df2。第三缺陷区域df3沿第二方向dr2延伸，因此，尽管第二区域ar2被放大，但是第三缺陷区域df3的大小几乎未被改变。随着第三区域ar3被放大，第四缺陷区域df4沿第一方向dr1被放大，但不沿第二方向dr2被放大。第五缺陷区域df5的形成在第一区域ar1中的部分不被放大，并且第五缺陷区域df5的形成在第三区域ar3中的部分被放大。

检查图像imga用于检测样品wd1的缺陷。从检查图像imga检测出第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3、第四缺陷区域df4和第五缺陷区域df5，并且可将第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3、第四缺陷区域df4和第五缺陷区域df5中的每个缺陷区域与参考范围进行比较。与参考范围比较的第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3、第四缺陷区域df4和第五缺陷区域df5是如上所述被执行了调整大小操作的图像。

图8是示出图4的第一弯曲部分ca1的剖视图。图8中示出的弯曲部分与图4和图5的第一弯曲部分ca1对应。参照图8，第一弯曲部分ca1沿第一方向dr1具有第一长度l1。当沿第三方向dr3被观看时，第一弯曲部分ca1被识别为具有第一长度l1。

根据实施例，可提供用于样品wd1的缺陷检查的多个调整大小比率。例如，第一调整大小比率可基于第一观看方向相对于第三方向dr3具有第一角度aa的差值被确定并且可以是第一角度的正割值sec(aa)。例如，第二调整大小比率可基于第二观看方向相对于第三方向dr3具有第二角度ab的差值被确定并且可以是第二角度的正割值sec(ab)。第一观看方向可以是基本正交(或者垂直)于第一点pa的切线的方向，并且第二观看方向可以是基本正交(或者垂直)于第二点pb的切线的方向。第一弯曲部分ca1可沿基本正交(或者垂直)于第一观看方向的方向具有第一观看长度la并且可以沿基本正交(或者垂直)于第二观看方向的方向具有第二观看长度lb。

图9是示出用于图4和图8的样品wd1的缺陷检查方法的流程图。由图1的缺陷检查系统100或图2的缺陷检查装置120执行图9的每个操作。参照图9，描述使用多个调整大小比率检测样品的缺陷的缺陷检查方法。为了便于解释，参照图8的附图标号描述图9中示出的缺陷检查方法。

在操作s210，获得目标图像，并且此操作与图3的操作s110对应。在操作s220，从目标图像提取与平坦部分对应的第一区域以及与弯曲部分对应的第二区域，并且此操作与图3的操作s120对应。

在操作s230，基于第一比率(图8的第一调整大小比率)调整第二区域的大小。将按照第一比率调整大小的第二区域与第一区域组合，并且产生第一检查图像。此外，在操作s235，基于第二比率(图8的第二调整大小比率)调整第二区域的大小。第一比率与第二比率不同。将按照第二比率调整大小的第二区域与第一区域组合，并且产生第二检查图像。

在操作s240，从第一检查图像检测缺陷区域。此外，在操作s245，从第二检查图像检测缺陷区域。检测缺陷区域的方法与图3的操作s140的方法对应。

在操作s250，将在操作s240和操作s245中检测到的缺陷区域与参考范围进行比较。当缺陷范围大于参考范围(或者等于或大于参考范围)时，在操作s252将样品确定为是异常的。当从第一检查图像检测到的缺陷区域的大小和从第二检查图像检测到的缺陷区域的大小中的至少一个大于参考范围时，将样品确定为是异常的。

当缺陷范围等于或小于参考范围(或者小于参考范围)时，在操作s254将样品确定为是正常的。当从第一检查图像检测到的缺陷区域的大小和从第二检查图像检测到的缺陷区域的大小等于或小于参考范围时，将样品确定为是正常的。

将彼此不同的第一调整大小比率和第二调整大小比率并行地应用于目标图像，因此可提高弯曲部分的图像校正可靠性。结果是，可提高样品的缺陷检测可靠性。

图10是示出将被检查缺陷的样品wd2的透视图。样品wd2与图1的样品wd对应。样品wd2可以是保护显示面板的盖构件(例如，盖)，并且例如可以是盖玻璃。参照图10，样品wd2包括平坦部分fa以及第一弯曲部分ca1、第二弯曲部分ca2、第三弯曲部分ca3、第四弯曲部分ca4、第五弯曲部分ca5、第六弯曲部分ca6、第七弯曲部分ca7和第八弯曲部分ca8。

样品wd2可包括设置在与平坦部分fa相邻的四侧处的外围(或边缘)区域，其中，外围(或边缘)区域中的每个区域具有曲率。第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2从平坦部分fa沿第一方向dr1延伸并且关于第二方向dr2具有曲率。第三弯曲部分ca3和第四弯曲部分ca4从平坦部分fa沿第二方向dr2延伸并且关于第一方向dr1具有曲率。

第五弯曲部分ca5从第一弯曲部分ca1沿第二方向dr2延伸并且从第三弯曲部分ca3沿第一方向dr1延伸。第六弯曲部分ca6从第一弯曲部分ca1沿第二方向dr2延伸并且从第四弯曲部分ca4沿第一方向dr1延伸。第七弯曲部分ca7从第二弯曲部分ca2沿第二方向dr2延伸并且从第三弯曲部分ca3沿第一方向dr1延伸。第八弯曲部分ca8从第二弯曲部分ca2沿第二方向dr2延伸并且从第四弯曲部分ca4沿第一方向dr1延伸。第五弯曲部分ca5、第六弯曲部分ca6、第七弯曲部分ca7和第八弯曲部分ca8相对于与第一方向dr1和第二方向dr2交叉并且基本正交(或者垂直)于第三方向dr3的方向具有曲率。

图11是示出基于图10的样品的目标图像产生的检查图像imgb的平面图。通过拍摄图10的样品wd2获得的目标图像包括第一区域ar1、第二区域ar2、第三区域ar3、第四区域ar4、第五区域ar5、第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9。第一区域ar1是与图10的样品wd2的平坦部分fa对应的图像。第二区域ar2、第三区域ar3、第四区域ar4、第五区域ar5、第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9是分别与图10的第一弯曲部分ca1、第二弯曲部分ca2、第三弯曲部分ca3、第四弯曲部分ca4、第五弯曲部分ca5、第六弯曲部分ca6、第七弯曲部分ca7和第八弯曲部分ca8对应的图像。

参照图11，通过调整目标图像的第二区域ar2、第三区域ar3、第四区域ar4、第五区域ar5、第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9的大小产生检查图像imgb。检查图像imgb包括第一区域ar1以及第一调整大小的区域ra1、第二调整大小的区域ra2、第三调整大小的区域ra3、第四调整大小的区域ra4、第五调整大小的区域ra5、第六调整大小的区域ra6、第七调整大小的区域ra7和第八调整大小的区域ra8。为了调整大小操作，可将第一区域ar1、第二区域ar2、第三区域ar3、第四区域ar4、第五区域ar5、第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9彼此分离。随后，第二区域ar2、第三区域ar3、第四区域ar4、第五区域ar5、第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9可被调整大小并且结合到第一区域ar1以产生检查图像imgb。

可沿第一方向dr1按照第一调整大小比率放大第二区域ar2和第三区域ar3。结果是，产生了第一调整大小的区域ra1和第二调整大小的区域ra2。例如，第二区域ar2沿第一方向dr1具有第一宽度w1，并且第一调整大小的区域ra1沿第一方向dr1具有第二宽度w2。第一调整大小比率可以是第二宽度w2与第一宽度w1的比率。

可沿第二方向dr2按照第二调整大小比率放大第四区域ar4和第五区域ar5。结果是，产生了第三调整大小的区域ra3和第四调整大小的区域ra4。例如，第五区域ar5沿第二方向dr2具有第三宽度w3，并且第四调整大小的区域ra4沿第二方向dr2具有第四宽度w4。第二调整大小比率可以是第四宽度w4与第三宽度w3的比率。

可沿第一方向dr1按照第一调整大小比率并且沿第二方向dr2按照第二调整大小比率放大第六区域ar6、第七区域ar7、第八区域ar8和第九区域ar9。结果是，产生了第五调整大小的区域ra5、第六调整大小的区域ra6、第七调整大小的区域ra7和第八调整大小的区域ra8。

假设作为在样品wd2中形成缺陷的结果在目标图像中存在第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3和第四缺陷区域df4样品。因为第一缺陷区域df1形成在与平坦部分fa对应的第一区域ar1中，所以尽管执行调整大小操作，但第一缺陷区域df1不被放大。第二缺陷区域df2形成在第二区域ar2中，因此沿第一方向dr1按照第一调整大小比率放大第二缺陷区域df2。第三缺陷区域df3形成在第四区域ar4中，结果是，第三缺陷区域df3沿第二方向dr2按照第二调整大小比率被放大。因为第四缺陷区域df4形成在第六区域ar6中，所以第四缺陷区域df4沿第一方向dr1按照第一调整大小比率被放大并且沿第二方向dr2按照第二调整大小比率被放大。

可从检查图像imgb检测出第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3和第四缺陷区域df4，并且可将第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3和第四缺陷区域df4中的每个缺陷区域与参考范围进行比较。与参考范围比较的第一缺陷区域df1、第二缺陷区域df2、第三缺陷区域df3和第四缺陷区域df4是如上所述对其执行了调整大小操作的图像。

图12是示出应用了样品的显示装置1000的透视图。参照图12，显示装置1000包括盖(例如，盖玻璃)1100和显示面板1200。盖玻璃1100与参照图1至图11描述的样品wd/wd1/wd2对应。

盖玻璃1100包括平坦部分fa、第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2。第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2可从平坦部分fa沿第一方向dr1延伸。平坦部分fa、第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2中的每个可沿第二方向dr2延伸。盖玻璃1100在第三方向dr3上设置在显示面板1200上。盖玻璃1100保护显示面板1200免受外部因素(诸如触摸操作、尖锐物体、潮气和灰尘)影响。

显示面板1200被配置为显示图像。显示面板1200可以是保持在与盖玻璃1100对应的弯曲状态下的弯曲的显示面板，然而，其不应限于此或受此限制。例如，显示面板1200可通过与平坦部分fa对应的区域来显示图像，并且在与第一弯曲部分ca1和第二弯曲部分ca2对应的区域中可定义边框区域。

显示面板1200可以是各种显示面板(诸如，液晶显示面板、有机发光显示面板、电泳显示面板和电润湿显示面板)中的一种。

尽管已经描述了本公开的示例实施例，但是将理解的是，本公开不应限于这些示例实施例，而是在如下文所要求保护的本公开的精神和范围之内，可由本领域的普通技术人员做出各种改变和修改。

因此，公开的主题不应限于这里描述的任何单个实施例，并且本发明构思的范围应该根据所附权利要求及其等同物而确定。