一种Foup检测装置的制作方法

本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中晶圆上料Foup技术领域，更具体地，涉及一种能够检测判别不同规格的Foup的检测装置。

背景技术：

在半导体行业自动化制程中，由于晶圆Foup(前开式晶圆传送盒)在生产过程中需要满足两种规格Foup的同时，还要判别不同Foup上两种不同类型的产品，然后再根据系统指定进行对不同类型的产品进行作业。

由于现有的方式只能检测一种产品，无法来兼容其他规格的产品，这样就会导致工厂对规格不同的晶圆Foup在同一载台上进行判别的进一步需求。所以，需要设计一种新型的可兼容的Foup检测装置，以检测两种不同类型的产品，更好满足生产方的使用要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种Foup检测装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种Foup检测装置，包括：设于设备上的一承载板，所述承载板上设有矩形凹槽，用于放置第一类型的Foup或第二类型的Foup，所述第一类型的Foup用于装载第一规格的产品，所述第二类型的Foup用于装载第二规格的产品，所述矩形凹槽底面上的左右两侧分设有第一检测单元和第四检测单元，所述矩形凹槽底面上的后侧设有第二检测单元和第三检测单元；其中，当所述第一检测单元至第四检测单元全都收到检测信号时，判断所述承载板上放置有第一规格的产品，当仅有所述第一检测单元、第三检测单元和第四检测单元收到检测信号时，判断所述承载板上放置有第二规格的产品。

进一步地，所述第一检测单元至第四检测单元为压力检测器。

进一步地，所述第一检测单元至第四检测单元分别设有弹簧销和传感器，所述传感器用于感知所述弹簧销的压力信号，并进行信号输出。

进一步地，所述弹簧销突出设于所述矩形凹槽的底面上，所述传感器对应设于所述矩形凹槽的底面反面上。

进一步地，所述第一类型的Foup底面上设有与所述第一检测单元至第四检测单元的弹簧销对应的销孔，所述第二类型的Foup底面上设有与所述第一检测单元、第三检测单元和第四检测单元的弹簧销对应的销孔。

进一步地，所述承载板凹槽底面上的后侧设有第一定位单元，所述承载板凹槽底面上的前侧设有第二定位单元，所述承载板凹槽以外的左右两侧边部上分设有第三定位单元；其中，所述第一定位单元与所述第二定位单元配合用于定位第一类型的Foup，所述第三定位单元用于定位第二类型的Foup。

进一步地，所述第一定位单元为一对第一定位销，所述第二定位单元为一挡块，所述第三定位单元为一第二定位销。

进一步地，所述第一定位销与设于所述第一类型的Foup底部后侧的一对第一定位孔对应，所述第二定位销与分设于所述第二类型的Foup底部左右两侧的一第二定位孔对应。

进一步地，所述挡块为弹性挡块。

进一步地，所述承载板凹槽以外的左右两侧边部上还设有拉手。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过弹簧销下压，并通过传感器进行输出信号，再由四个传感器通过两组排列组合的方式来区分不同类型的产品，这样就可以在同一设备载台上通过系统判别进行区分不同类型的产品，不仅可以使生产过程中能够在两种Foup中更换，而且还能满足生产方可以使用同一台设备兼容两种不同规格的产品，从而大大提高了设备的使用率。因此，本实用新型具有以下优点：

(1)能够在同一工位检测判别装有两种不同规格产品的不同Foup，使整机的使用率得到显著提高。

(2)针对两种产品，通过传感器组合的方式进行检测，无需更换其他装置。

(3)可以减少更换工装的时间，大大提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的一种Foup检测装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种Foup检测装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种Foup检测装置，包括安装在设备载台上的一个承载板1。承载板1上设有矩形凹槽，凹槽用于放置第一类型的Foup，例如美国应用材料公司(应材)的Foup，或用于放置第二类型的Foup，例如北京北方华创微电子装备有限公司(北微)的Foup。其中，第一类型的Foup用于装载第一规格的产品，即美国应用材料公司的Foup用于装载第一规格的产品；第二类型的Foup用于装载第二规格的产品，即北京北方华创微电子装备有限公司的Foup用于装载第二规格的产品。

请参考图1。在承载板1的凹槽底面上的左右两侧，分别设有一个第一检测单元8和8’和一个第四检测单元3和3’；在凹槽底面上的后侧并列设有一个第二检测单元7和7’和一个第三检测单元5和5’。其中，通过对第一检测单元8和8’至第四检测单元3和3’进行两种不同形式的排列组合，以对载台上的Foup中装载的是第一规格的产品还是第二规格的产品进行检测判断。

具体地，当第一检测单元8和8’至第四检测单元3和3’全都收到检测信号时，判断承载板1上放置有第一规格的产品；当仅有第一检测单元8和8’、第三检测单元5和5’和第四检测单元3和3’收到检测信号时，判断承载板1上放置有第二规格的产品。

第一检测单元8和8’至第四检测单元3和3’可采用压力检测器。

请参考图1。作为优选的实施方式，第一检测单元8和8’至第四检测单元3和3’可分别设有弹簧销8、7、5、3和传感器8’、7’、5’、3’；传感器8’、7’、5’、3’可以是压力传感器，用于分别感知弹簧销8、7、5、3下压时产生的压力信号，并可通过传感器8’、7’、5’、3’将信号输出至设备控制系统。

四个弹簧销8、7、5、3可突出垂直设于矩形凹槽的底面上，而四个传感器8’、7’、5’、3’可对应设于矩形凹槽的底面反面上。

第一类型的Foup底面上可设有与第一检测单元8和8’至第四检测单元3和3’的弹簧销8、7、5、3对应的销孔，第二类型的Foup底面上可设有与第一检测单元8和8’、第三检测单元5和5’和第四检测单元3和3’的弹簧销8、5、3对应的销孔。因而这些弹簧销与对应销孔的配合在客观上也起到了一定的辅助定位效果。

请参考图1。在承载板1的凹槽底面上的后侧还可设有第一定位单元6，在承载板1的凹槽底面上的前侧还可设有第二定位单元2，以及在承载板1的凹槽以外的左右两侧边部上还可分别设有第三定位单元9。其中，第一定位单元6与第二定位单元2配合用于定位第一类型的Foup，第三定位单元9用于定位第二类型的Foup。

作为优选的实施方式，第一定位单元6可为一对分别安装在凹槽底面上的第一定位销6，第二定位单元2可为一个安装在凹槽底面上的挡块2，第三定位单元9可为一个安装在承载板1左右两侧边部上的第二定位销9。其中，挡块2可采用弹性挡块，可通过在挡块2的内部设置弹簧，来使挡块2起到具有弹性作用力的作用。

为增加定位效果，第一定位销6可与设于第一类型的Foup底部后侧的一对第一定位孔对应，第二定位销9可与分设于第二类型的Foup底部左右两侧的一个第二定位孔对应。

例如，可通过上述四个弹簧销8、7、5、3的组合方式，进行判别不同类型的Foup：

一种是北微的Foup，可采用第一检测单元的弹簧销8、第三检测单元的弹簧销5、第四检测单元的弹簧销3下压向对应的传感器8’、5’、3’输出信号的方式，进行判定北微Foup；

二种是应材的Foup，可采用第一检测单元的弹簧销8、第二检测单元的弹簧销7、第三检测单元的弹簧销5、第四检测单元的弹簧销3下压向对应的传感器8’、7’、5’、3’输出信号的方式，进行判定应材Foup。

通过这两种方式的兼容，保证了在不用更换工装夹具的前提下，就能快速准确地进行对产品的判别。

此外，在承载板1凹槽以外的左右两侧边部上还可设有拉手4，以方便安装拆卸。

综上所述，本实用新型通过弹簧销下压，并通过传感器进行输出信号，再由四个传感器通过两组排列组合的方式来区分不同类型的产品，这样就可以在同一设备载台上通过系统判别进行区分不同类型的产品，不仅可以使生产过程中能够在两种Foup中更换，而且还能满足生产方可以使用同一台设备兼容两种不同规格的产品，从而大大提高了设备的使用率。

以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。