一种用于14纳米工艺芯片的垂直探针卡的制作方法

文档序号:19448677发布日期:2019-12-17 22:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于14纳米工艺芯片的垂直探针卡,包括pcb板(1)、电气连接基板(2)、ph探针头(3),所述电气连接基板(2)位于所述pcb板(1)、ph探针头(3)之间;所述pcb板(1)的下端面连接有位于所述电气连接基板(2)外部、用于锁紧所述ph探针头(3)的探针头锁附板(4);其特征在于:所述ph探针头(3)上设有若干个便于拆装的测试探针(5),所述测试探针(5)包括一体成型的上探头(51)、连接部(52)、下探头(53),所述连接部(52)位于所述上探头(51)、下探头(53)之间;所述上探头(51)、下探头(53)均为直线型结构且均与所述ph探针头(3)垂直设置,所述连接部(52)为可弯曲的弧形结构;所述下探头(53)的外壁上固定套装有用于固定所述下探头(53)的探针卡扣(6)。

2.根据权利要求1所述的垂直探针卡,其特征在于:所述ph探针头(3)的下端面设有若干个与上端面连通的垂直通孔;所述上探头(51)的上端穿过所述垂直通孔并与所述电气连接基板(2)电气互连。

3.根据权利要求2所述的垂直探针卡,其特征在于:所述垂直通孔阵列分布在所述ph探针头(3)上。

4.根据权利要求1-3任一所述的垂直探针卡,其特征在于:所述pcb板(1)的上端设有加强结构件(7),所述加强结构件(7)、pcb板(1)相对应的位置上均设有螺纹孔,所述螺纹孔内共同设有用于锁紧所述pcb板(1)、加强结构件(7)的锁紧螺丝。

5.根据权利要求4所述的垂直探针卡,其特征在于:所述加强结构件(7)上设有位于所述电气连接基板(2)上方的开口,所述开口上设置有可开合的密封盖,所述密封盖与所述加强结构件(7)铰接。

6.根据权利要求1所述的垂直探针卡,其特征在于:所述探针头锁附板(4)的下端部设有用于嵌入所述ph探针头(3)的凹槽(41),所述凹槽(41)内设有用于锁紧所述ph探针头(3)的锁紧件。

7.根据权利要求1所述的垂直探针卡,其特征在于:所述电气连接基板(2)的上端与所述pcb板(1)的下端通过回流焊连接。

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