一种氟油氦气加压检漏装置的制作方法

本实用新型属于电子元器件无损检测领域，具体涉及一种氟油氦气加压检漏装置。

背景技术：

随着经济和科学技术的发展，电子元器件的应用不断被开发，在国民经济中有着重要的作用，广泛地应用于化工、冶金、石油、石化、机械、电子、轻工等等诸多技术领域。

现有技术中存在有适用元器件氦气氟油检漏的加压盘，包括加压盘，所述加压盘为圆柱状，可放置最少一层金属篮，每层金属篮设计成等直径和可分离式，每层金属蓝放置在另一层金属篮顶端，所述金属篮中间设置与金属篮同轴的凹槽，每层金属篮凹槽底面和圆柱面设置有通孔。本技术中对不同种类的元器件便于分拣，且通过分层让底部的元器件不易损坏。但是在完成元器件检漏后，装置不易清洗，当需要大批量检漏时，该技术的操作过程就变得繁琐复杂，耗时长。还有部分设备自动化程度不高，在进行元器件检漏工作时需要大量人力，劳动强度大。

技术实现要素：

鉴于此，本实用新型为了解决上述存在之不足，提供一种氟油氦气加压检漏装置，该装置自动化程度高，节省人力，具有操作方便简单、工作效率高、安全可靠性高、检漏效率高、易于清洗等特点。

本实用新型的发明人通过长期的探索尝试以及多次的实验和努力，不断改革与创新，为解决以上技术问题，所采用的具体技术方案是提供一种氟油氦气加压检漏装置，包括储气罐、储油罐、真空泵、重氟油粗检装置、箱体，所述储气罐包括氮气罐和氦气罐，氮气罐和氦气罐安装在箱体上，储油罐和真空泵安装在箱体内，重氟油粗检装置位于氮气罐和氦气罐之间，氮气罐和氦气罐通过抽真空管路与真空泵连接，氮气罐的抽真空管路上串联有压氮管路和排氮管路，氦气罐的抽真空管路上串联有压氦管路和排氦管路，氮气罐底部设有氟油管路，氟油管路上设有并联的进油管路和出油管路，储油罐顶部设有出油口，下端设有放油口，进油管路与出油口连接，出油管路与放油口连接，进油管路上还串联有回油管路，回油管路与放油口连接。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述氮气罐和氦气罐结构相同，由罐盖和罐体组成，罐盖和罐体通过铰链机构连接。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述铰链机构包括上铰链、下铰链、锁紧结构，所述上铰链一端设有轴孔通道，且该端两侧设有定位凸台，两个定位凸台在同一平面上，所述下铰链一端两侧设有固定座，两个固定座平行放置，且都设置有同一轴心的铰链安装孔，上铰链和下铰链通过锁紧结构连接。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述锁紧结构包括铆钉、铆钉帽、垫片，所述轴孔通道安装在下铰链固定座之间，轴孔通道与固定座之间形成通孔，垫片贴合在固定座另一侧，使固定座、轴孔通道和垫片之间形成同一轴心具有同样大小的通孔，铆钉穿过通孔固定在铆钉帽内，上铰链与下铰链通过铆钉帽固定锁紧，且以锁紧结构为轴心转动。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述罐体上端外表面设有加强筋，所述加强筋上设有阀门安装座和第一铰链连接部。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述罐盖侧壁上设有卡槽、手柄、第二铰链连接部，所述手柄与第二铰链连接部在侧壁上对称设置。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述氮气罐和氦气罐上设有压力传感器和液位传感器。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述真空泵上设有真空度检测仪。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：所述真空度检测仪为真空规。

根据本实用新型所述的氟油氦气加压检漏装置，其进一步的技术方案是：还包括控制系统，所述控制系统和各个控件信号连接。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有如下优点：

1.本实用新型为多罐系统，可同时对多批次电子元器件进行粗检和氦气加压，各罐体能够随时独立进行各个阶段的工作流程。本实用新型中电控系统采用可编程控制器配套触摸屏操作，自动化程度高，节省人力，具有操作方便简单、工作效率高、安全可靠性高、检漏效率高、易于清洗等特点。

2.本实用新型中氮气罐和氦气罐数量可根据实际情况设置，使得本装置在行业内成为工位最多、容积覆盖范围最广的检漏装置，能够提高生产效率以及满足不同规格产品的检漏需求。通过可编程控制系统控制该装置，让其自动化程度高，操作集中程度高，可以有效的降低工人的劳动强度和人工投入；并且实现了自动操作和手动操作的可切换模式，满足批量和单件生产的不同需求。

3.本实用新型将罐体与罐盖设置为铰链连接，无需每次开启罐体时都将罐盖取下，即罐体与罐盖无需完全拆卸，操作方便，节约时间，速度快，效率高。

4.本实用新型中铰链机构上设置有定位凸台，让罐盖不需要完全打开就可以进行固定，从而进行后续操作，使开启罐盖后行程更短，并且开盖时不需要转到罐体后方去放置罐盖，关闭罐体时也不需要转到罐体后方去把罐盖抬起来，再转到罐体正面关上罐盖，使实验时间更短，实验操作更加方便；开盖过程中罐盖不需要放置在机柜上，减少罐盖与机柜接触碰撞产生的噪音；开盖和关闭罐体时操作人员劳动强度大大降低，避免了操作人员因为劳动强度过大，长时间操作产生疲劳，从而出现安全隐患。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的结构示意图。

图3是本实用新型中氮气罐和氦气罐的结构示意图。

图4是本实用新型中铰链机构的结构示意图。

图5是本实用新型中铰链机构的侧视图。

图6是本实用新型中氮气罐的工艺流程图。

图7是本实用新型中氦气罐的工艺流程图。

图中标记分别为：1第一箱体、2氮气罐、3液位传感器、4重氟油粗检装置、5控制系统、6氦气罐、7第二箱体、8储油罐、9真空泵、10真空规、11电磁阀；

101进油管路、102出油管路、103回油管路、104氮气抽真空管路、105压氮管路、106排氮管路、107氦气抽真空管路、108排氦管路、109压氦管路、111出油口、112放油口；

200罐盖、201卡槽、202手柄、203第二铰链连接部；

300铰链机构、301上铰链、302下铰链、303锁紧结构、3011定位凸台、3012轴孔通道、3021固定座、3031铆钉、3032铆钉帽、3033垫片；

400罐体、401加强筋、402阀门安装座、403第一铰链连接部、404阀门、405定位块、406压力传感器、407气孔。

具体实施方式

本实用新型实施方式中对附图进行详细说明，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型的一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。

如图1-4所示，本实用新型在此提供一种氟油氦气加压检漏装置，包括箱体、储气罐、真空泵9、储油罐8、重氟油粗检装置4、控制系统5，箱体包括第一箱体1和第二箱体7，储气罐包括氮气罐2和氦气罐6，氮气罐2安装在第一箱体1上，氦气罐6安装在第二箱体7上，控制系统5安装在第一箱体1和第二箱体7之间，重氟油粗检装置4安装在控制系统5上方，储油罐8安装在第一箱体1内和氮气罐2连接，真空泵9安装在控制系统5下方，真空泵9分别和氮气罐2和氦气罐6连接。

氮气罐2底部设有氟油管路，氟油管路上设有并联的进油管路101和出油管路102，进油管路101和储油罐8顶部的出油口111连接，出油管路102和放油口112连接，进油管路101上还串联有回油管路103，回油管路103和放油口112连接；所述真空泵9和氮气罐2连接，连接管路为氮气抽真空管路104，氮气抽真空管路104上还设有压氮管路105和排氮管路106。

氮气罐2有3个，各个氮气罐2和储油罐8及真空泵9的连接方式同上所述，并且各个氮气罐2的进油管路101、出油管路102、氮气抽真空管路104、压氮管路105和排氮管路106相互串联，使得储油罐8上只需一个出油口111即可给多个氮气罐2充油，同理，只有一个放油口112和真空泵9即可完成油回收和抽真空过程，让元器件检漏过程操作简单。

进油管路101用来将氟油输送到氮气罐2，出油管路102和回油管路103为排油管路，排油管路和放油口112连接，放油口112设置在储油罐8底部，在元器件检漏完成后将油放出回收，避免浪费。

氮气罐2上还设有液位传感器3和压力传感器。各个管路上都分别设置有电磁阀11，电磁阀11和控制系统5电性连接，通过控制系统5对各个管路进行开启和关闭，从而控制检漏过程的进行，操作简单，劳动强度小，所需人力少。

优选地，储油罐8上设有液位传感器。

真空泵9和控制系统信号连接，通过控制系统对其进行启停，简化了操作过程，节省人力。

真空泵9和氦气罐6连接形成氦气抽真空管路107，氦气抽真空管路107上还设有压氦管路109和排氦管路108。管路上都分别设置有电磁阀11，电磁阀11和控制系统5电性连接，通过控制系统5对各个管路进行开启和关闭，从而控制检漏过程的进行，操作简单，劳动强度小，所需人力少。

氦气罐6有3个，各个氦气罐6和真空泵9的连接方式同上所述，并且各个氦气罐6的氦气抽真空管路107、压氦管路109、排氦管路108相互串联，让操作方便，操作过程简单。

氦气罐6上设有液位传感器3和压力传感器。

真空泵9上还设有真空度检测仪，真空度检测仪为真空规10，还可以是其他检查真空度的设备。

氮气罐2和氦气罐6结构相同，由罐盖200和罐体400组成，罐盖200和罐体400通过铰链机构300连接，铰链机构300包括上铰链301、下铰链302、锁紧结构303，所述上铰链301一端设有轴孔通道3012，且该端两侧设有定位凸台3011，两个定位凸台3011在同一平面上，所述下铰链302一端两侧设有固定座3021，两个固定座3021平行放置，且都设置有同一轴心的铰链安装孔，上铰链301和下铰链302通过锁紧结构303连接，锁紧结构303包括铆钉3031、铆钉帽3032、垫片3033，所述轴孔通道3012安装在下铰链302固定座3021之间，轴孔通道3012与固定座3021之间形成通孔，垫片3033贴合在固定座3021另一侧，使固定座3021、轴孔通道3012和垫片3033之间形成同一轴心具有同样大小的通孔，铆钉3031穿过通孔固定在铆钉帽3032内，上铰链301与下铰链302通过铆钉帽3032固定锁紧，且以锁紧结构303为轴心转动。

罐体400上端外表面设有加强筋401，所述加强筋401上设有阀门安装座402和第一铰链连接部403，阀门404与阀门安装座402活动连接，罐体400上还设有定位块405、压力传感器406和气孔407。罐盖200侧壁上设有卡槽201、手柄202、第二铰链连接部203，所述手柄202与第二铰链连接部203在侧壁上对称设置，其中第一铰链连接部403与下铰链302连接，第二铰链连接部203与上铰链301连接。

设置罐体400与罐盖200设置为铰链连接，无需每次开启罐体400时都将罐盖200取下，即罐体400与罐盖200无需安装拆卸，操作方便，节约时间，速度快，效率高。设置定位凸台3011，让罐盖200不需要完全打开就可以进行固定，从而进行后续操作，使开启罐盖200后行程更短，并且开盖时不需要转到罐体400后方去放置罐盖200，关闭罐体400时也不需要转到罐体400后方去把罐盖200抬起来，再转到罐体400正面关上罐盖200，从而缩短实验时间，让实验操作更加方便。

本实用新型的工作原理：

元器件的氟油粗检漏：将被检元器件放入氮气罐中，将氮气罐抽空到小于50Pa，保持30min，在真空条件下注入低沸点氟油F113(轻氟油)至淹没工件，并用氮气对其加压一定时间，压力约为2～3个大气压，时间为1h～10h。加压完毕，对压力容器缓慢卸压，时间要大于20s，取出被检件，在空气中干燥2min，然后浸入已加热到125℃的FC-43氟油(重氟油)中的深度应大于50mm，观察时间要多于30s。若发现被检件有连续的小气泡或个别大气泡冒出，则可判定为不合格。

若元器件有漏，加压时，F113会进入工件内腔，在热氟油中，由于F113在约50℃就汽化，元器件内腔的F113逐渐由液体变为气体，使内腔压力有较大的增加，内腔气体就会从元器件的漏孔中漏出形成气泡。由于从液态转变成气态，其体积会大大增加，使元器件内腔产生一个较高的气压，即便是较小的漏孔，也能产生气泡，使得检漏效果好、效率高。

元器件的氦气加压细检，分为3个步骤，如下：

1.压氦：将被检件放置在氦气罐中，预先对氦气罐抽真空，再将纯度大于95％的氦气充入氦气罐，加压的压力和加压的时间按标准执行，一般压力为2～3个大气压，时间为2h～10h，加压完毕要缓慢地使容器卸压，并将元器件从压力容器中取出。

2.净化：元器件取出后要用干燥的氮气或空气吹除表面吸附的氦，也可用加热到200℃～400℃的方法使元器件表面吸附的氦去除。在净化过程中，也有一部分压入元器件内腔的氦气流失，为了减少这种流失，净化的时间要尽量短。

3.检漏：把被检元器件放入一真空容器，并使该容器与氦质谱检漏仪相连。先对真空容器抽真空，抽好真空后打开检漏仪进行检漏，若元器件有漏，则压入元器件的氦气会通过漏孔逸出进入检漏仪，显示该元器件有漏。

如图3所示，本实用新型可以手动操作或自动操作，以下均以压氮单元进行说明，压氦单元类同：

手动操作说明：

1.默认为“手动操作”模式；

2.操作前，首先确保相应罐体的“压力设置”有设置值，否则后续操作将无法进行；

3.相应控件，完成电磁阀的打开与关闭。真空泵操作在真空度达到相应数值时关闭真空泵；

4.抽空阀打开--真空泵打开--真空度达到--关闭真空泵--关闭抽空阀--打开压氮阀--压力达到--关闭压氮阀--测试完成--打开排空阀--压力回零--关闭排空阀；

5.压氮阀与真空阀为相互自锁，同一时段只能操作其中一个；

6.压力、油位、各阀门的状态均会实时显示。

自动操作说明：

1.开机完成后，首先选择完成时间与压力的设置；

2.选中相应罐体，选中后罐体为绿色，相应环节可动作；

3.按下“自动压氮”按钮，程序自动完成相应操作；

4.完成流程所设置的压力后,按下“保压开始”按钮，开始进行保压操作，一旦压力小与设定值一定范围，则自动进行补压操作；

5.参数未设置按下“自动压氮“按钮，画面会弹出警示对画框，提示参数设置不正确。

本实用新型中控制系统对元器件检漏过程进行自动化控制，只需对控制系统进行操作就可完成检漏过程，所需人力少，劳动强度低，工作效率高。该装置中，罐体可自行设置数量，对批量生产和单件生产都适合，而且操作简单方便，罐体易于清洗。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，上述优选实施方式不应视为对本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的精神范围内，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。