微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体的制作方法

本实用新型涉及传感器实验设备技术领域，特别涉及微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体。

背景技术：

微压力传感器是一种能够感受微小压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，包括用于接收外界信号的压力敏感单元和传感器的其他组成件。微压力传感器常常需要在恶劣的工作环境中使用，因此在传感器的研发阶段要对其进行严格的实验，保证量产后传感器的质量。其中，由于微压力传感器反应灵敏，外界环境的微小变化都会改变实验结果，因此，在实验过程中为微压力传感器提供一个稳定的实验环境，是提高实验结果准确性的一个重要条件，为此微压力传感器工作的低压高温的实际工作环境，根据，我们提出了微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体。

技术实现要素：

本实用新型的提供了微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体，主要目的在于能够在微压力传感器的实验阶段，为微压力传感器提供一个气压和温度可调的恒温恒压的环境，可以有效提高实验结果的可靠性。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体，包括箱体，所述箱体的内腔设置有分隔板，所述箱体的内腔通过分隔板分为左侧的模拟外界环境腔和右侧的模拟内部环境腔，所述箱体的顶部设置有真空泵，所述真空泵的顶部设置有主气管，所述主气管的顶部设置有管道三通，所述管道三通的左侧连接有左气管，且左气管伸入模拟外界环境腔的内部，所述管道三通的右侧连接有右气管，且右气管伸入模拟内部环境腔的内部，所述箱体的顶部左侧设置有温度测量装置和气压测量装置，且温度测量装置位于气压测量装置的左侧，所述箱体的顶部右侧设置有真空表，所述模拟外界环境腔的侧壁均设置有电加热片，所述模拟内部环境腔的底部设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有基座，所述基座的左右侧壁贯穿设置有加热棒，所述基座的顶部设置有传感器，且传感器贯穿分隔板伸入模拟外界环境腔，所述箱体的左右两侧壁分别设置有第一放空管和第二放空管，所述第一放空管上设置有第一单向限流阀，所述第二放空管上设置有第二单向限流阀，所述左气管上设置有第一气体阀门，所述右气管上设置有第二气体阀门。

优选的，所述温度测量装置为热电偶温度测量仪，且热电偶温度测量仪的感应探头伸入模拟外界环境腔，热电偶温度测量仪在现有的温度测量领域具有反应灵敏的优点。

优选的，所述气压测量装置为薄膜规，薄膜规相对于传统的气压表，具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数不受气体成分影响、反应速度快等特点。

优选的，所述基座为铜制金属块，具有良好的导热性能，为传感器的后端加热。

优选的，所述传感器与分隔板之间的连接处设置有橡胶圈。

优选的，所述左气管和右气管伸入模拟外界环境腔和模拟内部环境腔的一端底部均设置有喇叭口，便于排气。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过对模拟外界环境腔的气压和温度进行调控时，启动真空泵，打开第一气体阀门，排出模拟外界环境腔中的气体，并通过种类为薄膜规的气压测量装置对气压进行监测，使气压达到要求的值，启动电加热片，提高模拟外界环境腔中的气体温度，并通过热电偶温度测量仪的温度测量监测温度。对模拟内部环境腔的气压和温度进行调控，启动真空泵，打开第二气体阀门，排出模拟内部环境腔中的气体，并通过真空表监测气压，使气压达到要求的值范围内，启动加热棒，通过对铜制基座加热，对传感器的后端进行加热。并且在进行气压调节时，一般对模拟外界环境腔和模拟内部环境腔抽出过量气体，通过打开第一单向限流阀和第二单向限流阀进气进行微调。模拟微压力传感器的实际工作环境，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型基座的剖视图。

图中：1-箱体；2-分隔板；3-模拟外界环境腔；4-模拟内部环境腔；5-真空泵；6-主气管；7-管道三通；8-左气管；9-右气管；10-温度测量装置；11-气压测量装置；12-真空表；13-电加热片；14-支撑柱；15-基座；16-加热棒；17-第一放空管；18-第二放空管；19-第一单向限流阀；20-第二单向限流阀；21-第一气体阀门；22-第二气体阀门；23-橡胶圈；24-传感器；25-喇叭口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-2所示的微压力传感器研发实验用恒温恒压抗扰动箱体，包括箱体1，箱体1的内腔设置有分隔板2，箱体1的内腔通过分隔板2分为左侧的模拟外界环境腔3和右侧的模拟内部环境腔4，箱体1的顶部设置有真空泵5，真空泵5的顶部设置有主气管6，主气管6的顶部设置有管道三通7，管道三通7的左侧连接有左气管8，且左气管8伸入模拟外界环境腔3的内部，管道三通7的右侧连接有左气管9，且右气管9伸入模拟内部环境腔4的内部，左气管8和右气管9伸入模拟外界环境腔3和模拟内部环境腔4的一端底部均设置有喇叭口25，便于排气，箱体1的顶部左侧设置有温度测量装置10和气压测量装置11，且温度测量装置10位于气压测量装置11的左侧，温度测量装置10为热电偶温度测量仪，且热电偶温度测量仪的感应探头伸入模拟外界环境腔3，热电偶温度测量仪在现有的温度测量领域具有反应灵敏的优点，气压测量装置11为薄膜规，薄膜规相对于传统的气压表，具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数不受气体成分影响、反应速度快等特点，箱体1的顶部右侧设置有真空表12，模拟外界环境腔3的侧壁均设置有电加热片13，模拟内部环境腔4的底部设置有支撑柱14，支撑柱14的顶部设置有基座15，基座15为铜制金属块，具有良好的导热性能，为传感器24的后端加热，基座15的左右侧壁贯穿设置有加热棒16，基座15的顶部设置有传感器24，且传感器24贯穿分隔板2伸入模拟外界环境腔3，传感器24与分隔板2之间的连接处设置有橡胶圈23，箱体1的左右两侧壁分别设置有第一放空管17和第二放空管18，第一放空管17上设置有第一单向限流阀19，第二放空管18上设置有第二单向限流阀20，左气管8上设置有第一气体阀门21，右气管9上设置有第二气体阀门22。

本实施例的一个具体应用为，本实用新型在使用过程中，对微压力传感器在研发阶段进行实验，需要模拟实际的工作环境，其中感应器的感应部分需要放在模拟的外界环境中，且反应灵敏，而感应器的后端封装部位的环境一般对传感器的灵敏度影响较小，根据以上的情况，模拟外界环境腔3的气压和温度需要精确调控，模拟内部环境腔4的气压和温度的精确度要求较低。首先把传感器24插入分隔板2中的橡胶圈23中，使传感器24的前端感应阶段伸入模拟外界环境腔3中，传感器24的后端封装部位位于模拟内部环境腔4中，且放在基座15的顶部。对模拟外界环境腔3的气压和温度进行调控，启动真空泵5，打开第一气体阀门21，排出模拟外界环境腔3中的气体，并通过种类为薄膜规的气压测量装置11对气压进行监测，使气压达到要求的值，启动电加热片13，提高模拟外界环境腔3中的气体温度，并通过热电偶温度测量仪的温度测量10监测温度，其中电加热片13连接有现有的功率可调电路，满足温度要求。对模拟内部环境腔4的气压和温度进行调控，启动真空泵5，打开第二气体阀门22，排出模拟内部环境腔4中的气体，并通过真空表12监测气压，使气压达到要求的值范围内，启动加热棒16，通过对铜制基座15加热，对传感器24的后端进行加热，其中加热棒16同样连接有功率可调电路，满足温度要求。并且在进行气压调节时，一般对模拟外界环境腔3和模拟内部环境腔4抽出过量气体，通过打开第一单向限流阀19和第二单向限流阀20进气进行微调。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。