一种对非可见光波段埃里斑图像进行采样的采样机构的制作方法

文档序号:19916972发布日期:2020-02-14 15:46阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种容易找到被测物镜的焦点位置,能够快捷地对非可见光波段埃里斑图像进行采样的采样机构。它包括:光源(1),扩束镜(11),分光棱镜(5),管镜系统(6),被测物镜(7),第一平面反射镜(8),CCD(10);光源(1)发出的非可见光波段准直光束,经扩束镜(11)扩束后以平行光出射,进入分光棱镜(5),通过被测物镜(7)聚焦在第一平面反射镜(8)的表面上,光线经反射,沿原光路返回,再经分光棱镜(5)进入管镜系统(6)后聚焦在CCD(10)的靶面位置;扩束镜(11)的放大率要使得出射光束的直径大于被测物镜(7)的最大通光孔径;第一平面反射镜(8)相对于被测物镜(7)在光轴上的位置可以调节。

技术研发人员:何帅
受保护的技术使用者:南京东利来光电实业有限责任公司
技术研发日:2019.06.04
技术公布日:2020.02.14

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