一种探针测试装置的制作方法

本实用新型涉及测试技术领域，尤其涉及一种探针测试装置。

背景技术：

有机发光二极管(organiclight-emittingdiode，oled)器件具有节能、结构简单等特点，而被广泛应用于相应的产品中。例如oled显示面板，其具有对比度高、厚度薄、视角光、反应速度快等优点。

现有的oled产品包括阴极、阳极、位于阴极和阳极之间的发光层以及薄膜封装层等。为确保oled产品具有相应的性能，需在oled产品制备过程中以及完成oled产品的制备后对oled的发光性能进行测试。例如通过对硅基oled显示面板中的测试点进行oled的点亮测试，以获得oled显示面板中oled器件的发光性能。现有技术中，采用压接式的测试装置对oled产品进行测试。在对oled产品进行测试时，通过将待测试的oled产品固定在测试平台，并通过压接式的测试装置中设置有测试探针的治具盖子压下，以使治具盖子上的测试探针与oled产品上的测试点接触，并通过其它的光学仪器检测oled产品中oled器件的发光特性。

但是，采用现有的压接式的测试装置对oled产品进行测试时，为使测试探针与oled产品上的测试点接触，需要将治具盖子压下。如此，压接式的测试装置的治具盖子会将oled产品遮挡住，如此将无法观测到oled产品中oled器件的发光情况，不利于光学仪器对oled器件发光特性的检测。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供一种探针测试装置，以解决现有技术中对oled产品进行测试时，遮挡oled产品上的oled器件，不利于oled发光特性的检测的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种探针测试装置，包括：控制模块、测试平台和至少两个机械臂；

所述测试平台用于承载和固定待测样品；

所述机械臂上设置有位置检测传感器和测试探针；所述位置检测传感器用于检测所述待测样品的测试点位置；所述测试探针在所述机械臂的带动下移动；

所述机械臂的控制端与所述控制模块的第一控制端连接，所述位置检测传感器的输出端与所述控制模块的输入端连接；所述控制模块控制所述机械臂带动所述测试探针移动至所述待测样品的测试点位置；且各所述机械臂上的所述测试探针对应的所述待测样品的测试点位置不同；

所述测试探针的控制端与所述控制模块的第二控制端连接；所述控制模块通过所述测试探针对所述待测样品的测试点位置输入测试电压。

可选的，所述测试平台上设置有外接电源连接端口、机械臂控制按钮和探针通电测试按钮；

所述外接电源连接端口连接外部电源；

所述机械臂控制按钮控制所述机械臂的启停；

所述探针通电测试按钮控制所述控制模块通过所述测试探针对所述待测样品的测试点位置输入测试电压。

可选的，所述装置包括两个所述机械臂；两个所述机械臂设置于测试平台上；

所述测试平台上设置有平台托盘；两个所述机械臂分别位于所述平台托盘的两侧。

可选的，所述机械臂的第一端设置于所述测试平台上，所述位置检测传感器和所述测试探针设置于所述机械臂的第二端。

可选的，所述机械臂包括：多个驱动机构和多个横杆结构，多个所述横杆结构通过所述驱动机构依次首尾连接，所述控制模块控制所述驱动机构驱动所述横杆结构运动。

可选的，所述机械臂还包括多个设置在所述横杆结构之间的u型支架，所述驱动机构设置在所述u型支架内。

可选的，所述驱动机构包括水平驱动组件和竖直驱动组件；

所述水平驱动组件驱动所述横杆结构沿水平方向转动；

所述竖直驱动组件驱动所述横杆结构沿竖直方向运动。

可选的，所述位置检测传感器通过转动轴设置在所述机械臂的第二端，所述位置检测传感器能够转动以调整检测角度。

可选的，所述测试探针包括弹簧测试探针；

所述弹簧测试探针包括针体和针头，所述针头与所述针体弹性连接，所述针头能够在所述针体内滑动。

可选的，所述位置检测传感器包括电荷藕合器件图像传感器；或者，

所述位置检测传感器包括摄像头和图像识别模块；所述摄像头采集所述待测样品的图像信息，并将所述图像信息发送至所述图像识别模块进行测试点的识别。

本实用新型实施例提供了一种探针测试装置，该探针测试装置包括至少两个机械臂，各机械臂上均设置有测试探针和位置检测传感器，位置检测传感器能够检测到待测样品的测试点位置，以使控制模块控制各机械臂带动各自的测试探针移动至待测样品的不同测试点位置，并对待测样品的不同测试点输入相应的测试电压，以实现对待测样品的测试。相对于现有的压接式的测试装置，本实用新型实施例提供的探针测试装置的结构简单、测试方便快捷，并且在对oled样品进行测试时，能够通过机械臂上设置的位置检测传感器检测待测样品的测试点位置，以使机械臂带动其上设置的测试探针移动至相应的测试点位置，从而实现对待测样品测试点位置的自动识别定位，提高测试效率；同时，不同机械臂上设置的测试探针对应不同的测试点位置，以使不同的测试探针对不同测试点位置输入对应的测试电压，如此在对oled样品进行测试时，不会将oled样品的发光位置覆盖，从而有利于对oled样品发光性能的检测，提高测试精度，简化测试操作，提高测试效率，降低测试成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种探针测试装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种待测样品的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种探针测试装置的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的又一种探针测试装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种弹簧测试探针的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

本实用新型实施例提供了一种探针测试装置，该探针测试装置能够对待测样品的性能进行测试，该待测样品例如可以是oled屏等。图1是本实用新型实施例提供的一种探针测试装置的结构示意图。如图1所示，本实用新型实施例提供的探针测试装置包括控制模块10、测试平台20和至少两个机械臂30，

其中，测试平台20用于承载和固定待测样品60；机械臂30上设置有位置检测传感器40和测试探针50；该位置检测传感器40用于检测待测样品60的测试点位置；测试探针50在机械臂30的带动下移动；机械臂30的控制端与控制模块10的第一控制端连接，位置检测传感器40的输出端与控制模块10的输入端连接；控制模块10控制机械臂30带动测试探针50移动至待测样品60的测试点位置；且各机械臂30上的测试探针50对应的待测样品60的测试点位置不同；测试探针50的控制端与控制模块10的第二控制端连接；控制模块10通过测试探针50对待测样品60的测试点位置输入测试电压。

具体的，在电子产品生产制造过程中，以及制造完成后，均需对电子产品的电性能进行检测。当该电子产品为具有显示发光功能的oled产品时，需要对该oled产品的发光性能以及导通性能进行检测。当采用现有的压接式的测试装置对oled产品进行发光性能和导通性能的测试时，需要将压接式的测试装置的治具盖子压下，如此将会使得oled产品被全部覆盖，从而不利于对oled产品发光性能的检测。

如图1，本实用新型实施例的探针测试装置通过设置至少两个机械臂30，该至少两个机械臂30能够带动各自的测试探针50移动至待测样品60的测试点位置，以使测试探针50向待测样品60的测试点输入相应的测试电压，从而检测该待测样品60的性能。由于不同机械臂30上的测试探针50可移动至待测样品60的不同测试点的位置，因此不同机械臂30上的测试探针50能够向待测样品60的任意两个测试点输入测试电压，从而使得待测样品60表现出相应的性能。如此，能够从各机械臂30之间的区域中直观地获取待测样品60的性能，从而能够简化测试操作，提高测试效率，降低测试成本，以及提高测试精度。

示例性的，图2是本实用新型实施例提供的一种待测样品的结构示意图。结合图1和图2，当待测样品60为一晶圆，且该晶圆上设置有多个待测显示屏61时，探针测试装置可包括两个机械臂，即一对机械臂，或者测试探针可以包括多个机械臂，即多对机械臂。测试装置的每对机械臂30上的测试探针能够对应向晶圆60上一个待测显示屏61的不同测试点601和602输入相应的测试电压，并且不会覆盖待测显示屏61，从而能够通过光学仪器直接获取晶圆60上待测显示屏61显示发光的亮度、强度、色域等信息，并由输入至各待测显示屏61的测试电压，以及待测显示屏61显示发光的亮度、强度和色域等分析出晶圆60上各待测显示屏61的显示发光性能。

其中，待测显示屏61的测试点601可以为正极电压输入端，待测显示屏61的测试点602可以为负极电压输入端。当探针测试装置中设置有两个机械臂30，即一对机械臂30，探针测试装置的控制模块10能够控制该两个机械臂30上的测试探针50可分别与一个待测显示屏61的正极电压输入端601和负极电压输入端602连接，并向该待测显示屏61的正极电压输入端601和负极电压输入端602分别输入正极电压和负极电压，以使该待测显示屏61的显示发光，并通过外部的光学仪器检测待测显示屏61的显示发光性能，实现探针测试装置的测试功能；或者，探针测试装置也可以设置多对机械臂30，探针测试装置的控制模块10能够控制一对机械臂30的测试探针50与一个待测显示屏61的正极电压输入端601和负极电压输入端602连接，以使多个待测显示屏61显示发光，从而能够一次测试多个待测显示屏61，提高测试效率。

此外，本实用新型实施例的探针测试装置的各机械臂30上还设置有位置检测传感器40。该位置检测传感器40能够检测到测试平台10上固定的待测样品60的测试点的位置，以使机械臂30能够根据位置检测传感器40所检测的测试点的位置，带动机械臂30上的测试探针50自动地移动至对应的测试点位置，实现对待测样品60的测试点的自动识别和定位，并向待测样品60的测试点输入相应的测试电压，以对待测样品60的性能进行测试，从而提高对待测样品60的测试效率。

示例性的，当需要测试多个相同尺寸规格的待测样品60时，初次测试时，位置检测传感器40检测新待测样品60的测试点，并控制机械臂30快速移动至对应的测试点，并控制机械臂30下压，使得测试探针50与测试点接触；测试完成，抬升机械臂30，更换待测样品60，更换完成后，再次下压机械臂30，即可完成测试，不需要重新调整机械臂30在平面上的位置，大大提高了测试效率。而当需要测试的待测样品60有多个待测点时，或需要测试不同尺寸规格的待测样品60时，位置检测传感器40检测新待测样品60的测试点，并控制机械臂30快速移动至对应的测试点，不需要人工调整定位。

需要说明的是，图1是本实用新型实施例的示例性附图，图1中仅示出了两个机械臂30，但是本实用新型实施例的探针测试装置的机械臂还可以为两个以上的机械臂，其可根据实际应用进行设置。当需要对待测样品上的3个测试点分别输入相应的测试电压时，探针测试装置的机械臂可相应设置为3个；…；当需要对待测样品上的n个测试点分别输入相应的测试电压时，探针测试装置的机械臂可相应设置为n个。本实用新型实施例提供的包括两个以上机械臂的探针测试装置的技术原理，与本实用新型实施例中图1的探针测试装置的技术原理类似，在此仅对探针测试装置包括两个机械臂进行示例性的说明，其它数量的机械臂均可参照图1的解释，在此不再赘述。

其中，可选的，图3是本实用新型实施例提供的另一种探针测试装置结构示意图。如图3，探针测试装置包括两个机械臂31和32；该两个机械臂31和32设置于测试平台20上；该测试平台20上还设置有平台托盘21；两个机械臂31和32分别位于平台托盘21的两侧。

示例性的，当将待测样品(图中为示出)固定于测试平台20的平台托盘21上时，位于平台托盘21两侧的两个机械臂31和32，可通过设置于机械臂31和32上的位置检测传感器40检测固定于平台托盘21的待测样品的测试点位置，并通过机械臂31和32分别带动各自的测试探针50移动至待测样品的测试点位置。如此，待测样品的两个测试点位置之间的区域未被任何物体遮挡，从而有利于对待测样品两个测试点位置之间的区域进行光学信息等的检测。

可选的，继续参考图3，机械臂31和32的第一端设置于测试平台20上，位置检测传感器40和测试探针50设置于机械臂31和32的第二端。

示例性的，机械臂31和32的第一端固定于测试平台20上，而机械臂31和32的第二端可水平和竖直移动。将位置检测传感器40和测试探针50设置于机械臂31和32的第二端，能够使机械臂31和32带动各自的位置检测传感器40检测待测样品的测试点位置，并在检测到待测样品的测试点位置后，机械臂31和32带动各自的测试探针50能够移动至待测样品的测试点位置。其中。位置检测传感器40可通过转动轴设置在机械臂31和32的第二端，此时位置检测传感器40能够转动以调整检测角度，以对待测样品不同角度的测试点位置进行检测，同时，可以适用于不同型号的探针，用以完成不同测试情境需求。

可选的，继续参考图3，机械臂31和32包括多个驱动机构(图中未示出)和多个横杆结构301、302和303。其中，多个横杆结构301、302和303通过驱动机构依次首尾连接，控制模块控制驱动机构驱动横杆结构301、302和303运动。其中，驱动机构可以包括水平驱动组件和竖直驱动组件，且水平驱动组件能够驱动横杆结构301、302和303沿水平方向运动，竖直驱动组件能够驱动横杆结构301、302和303沿竖直方向运动。

示例性的，将待测样品固定与托盘平台21上，该待测样品的固定方式可以为直接通过托盘平台21上夹具固定，或者对托盘平台21上与待测样品之间的间隙抽真空，以使待测样品吸附于托盘平台21上，实现对待测样品的固定。在对固定的待测样品进行测试时，通过机械臂31和32上设置的位置检测传感器40检测待测样品上测试点位置，并将所检测的测试点位置信息反馈至控制模块。控制模块能够测试点位置信息控制驱动机构驱动横杆结构301、302和303。例如，当测试点位置位于机械臂31上的测试探针50的左侧时，控制模块可控制驱动机构的水平驱动组件驱动机械臂31的横杆结构301、302和303水平向左转动；直至机械臂31上测试探针50位于测试点位置的上方时，控制模块控制驱动机构的竖直驱动组件驱动机械臂31的横杆结构301、302和303在竖直方向运动，并带动其上设置的测试探针50下压至与测试点位置接触，以向该测试点通入测试电压，实现对待测样品的测试。其中，机械臂32的驱动方式与机械臂31的驱动方式类似，在此不再赘述。其中机械臂31和32可选为电动机械臂，其可通过步进电机实现运动，具有更加精确的运动轨迹。

可选的，继续参考图3，机械臂31和32还包括多个设置在,横杆结构之间的u型支架304和354，驱动机构设置在u型支架304和305内。如此，设置有驱动机构的u型支架304和305能够带动横杆结构301、302和303沿水平方向或竖直方向运动。

可选的，位置检测传感器包括电荷藕合器件图像传感器；或者，位置检测传感器包括摄像头和图像识别模块；通过摄像头采集待测样品的图像信息，并将所采集的图像信息发送至图像识别模块进行测试点的识别。

示例性的，继续参考图1，由于电荷藕合器件(charge-coupleddevice，ccd)图像传感器中设置有感光像素单元，该感光像素单元可用于记录光强或图像。当位置检测传感器40为ccd图像传感器时，能够采集待测样品60的图像信息，并将所采集的待测样品60的图像信息与标准图像信息进行比较，获得待测样品60的测试点位置的方位，并反馈至控制模块10中。该控制模块10通过位置检测传感器40反馈的信息，控制机械臂30带动其上设置的测试探针50移动至待测样品的测试点位置。

示例性的，图4是本发明实施例提供的又一种探针测试装置的结构示意图。如图4，位置检测传感器40还可以包括摄像头41和图像识别模块42。其中，摄像头41用于对待测样品60进行拍照，以采集待测样品60的图像信息，并将所采集的图像信息发送至图像识别模块42。该图像识别模块42能够识别出摄像头41所采集的图像信息中的测试点位置，并将所识别的测试点位置信息发送至控制模块10，以使控制模块10能够根据该测试点位置信息控制机械臂30带动其上设置的测试探针50移动至待测样品的测试点位置。所述图像识别模块42能够集成设置在摄像头41内，也能够集成设置在控制模块10内。

可选的，机械臂上设置的测试探针包括弹簧测探针。图5是本实用新型实施例提供的一种弹簧测试探针的结构示意图。如图5，该弹簧测试探针50包括针体51和针头52。其中，针头52与针体51弹性连接，且针头52能够在针体51内滑动。

示例性的，弹簧测试探针50的针体51包括外壳501和弹簧502，弹簧502位于外壳501内，且弹簧502能够在外壳501中发生伸缩运动。弹簧502的一端可固定与外壳501中，弹簧502的另一端可与针头52连接。在弹簧502伸缩时，可带动针头52在外壳501内滑动。或者，针头52能够给弹簧502提供压缩的力，从而使得弹簧502收缩，针头在外壳501内滑动。如此，弹簧测试探针50能够在机械臂带动其移动至待测样品的测试点位置时，保证弹簧测试探针50具有一定的下压深度，以使弹簧测试探针50对待测样品的测试点位置的压力在可控范围内，防止弹簧测试探针50对待测样品的测试点位置的压力过大，造成待测样品的破损，从而能够提高待测样品的良率。

可选的，继续参考图3，探针测试装置的测试平台20上设置有外接电源连接端口12、机械臂控制按钮13和探针通电测试按钮14；其中，外接电源连接端口12连接外部电源；机械臂控制按钮13控制机械臂31和32的启停；探针通电测试按钮14控制控制模块通过测试探针50对待测样品60的测试点位置输入测试电压。

在具体实现中，探针测试装置可以为实验室用的测试装置，实现对研究阶段的待测样品60进行性能测试。探针测试装置的外接电源连接端口12与外部电源连接，以为探针测试装置提供正常工作的电信号。在待测样品固定于测试平台20时，可通过机械臂控制按钮13启动机械臂31和32，该机械臂31和32上的位置检测模块40会对待测样品上的测试点位置进行检测，并在确定待测样品的测试点位置后，机械臂31和32带动各自的测试探针50移动至对应的测试点位置，以使测试探针50与待测样品的测试点接触，并由探针通电测试按钮14控制相应的测试电压通过测试探针50输入至待测样品的测试点，并通过其它仪器检测待测样品通入相应测试电压后的工作情况，实现对待测样品的测试。其中，在机械臂31和32带动其上的测试探针50移动至相应的测试点位置时，该机械臂31和32可自动停止，或者可直接通过机械臂控制按钮13控制机械臂31和32停止。

其中，测试平台20包括平台托盘21，该平台托盘可通过托盘支架22进行固定。待测样品可固定于平台托盘21远离托盘支架22的一侧。如此，平台托盘21能够从托盘支架22上自由取放，以对平台托盘21的进行清洁和维护，并将待测样品固定于清洁的平台托盘21上，能够防止平台托盘21污染待测样品。

在一个示例性的方案中，平台托盘21可以为真空平台托盘。此时，测试平台20上还可以设置真空控制按钮15；该真空控制按钮15用于控制真空平台托盘21吸附或释放待测样品。

在具体实现中，待测样品放置于平台托盘21上时，可通过控制台11上设置的真空控制按钮15控制平台托盘21与待测样品之间的空隙形成真空环境，以使待测样品60吸附于平台托盘21上，实现对待测样品的固定。待测试完成后，测试平台20上设置的真空控制按钮15还可控制平台托盘21与待测样品之间的空隙恢复大气压，以使待测样品从平台托盘21上释放。

在一个示例性的方案中，机械臂31和32还可以为气动机械臂；此时，测试平台20上还设置有气压通气端口16；控制台11上的机械臂控制按钮13通过控制气压通气端口16输入或输出气体，控制气动机械臂31和32的启停。如此，测试平台20上的机械臂控制按钮13控制气压通气端口16中输入气体时，气动机械臂31和32气动，根据气动机械臂31和32第二端上设置的位置检测传感器40检测的待测样品的测试点的位置，控制气压通气端口16中输入气体的气压大小，实现对气动机械臂31和32运动轨迹的控制，从而能够对待测样品的测试点位置进行自动识别和定位。

可选的，继续参考图3，测试平台20上还设置有电压调节旋钮18，该电压调节旋钮旋转18能够调节输入至测试探针50的测试电压。如此，能够实现对待测样品的导通特性的测试，例如实现对待测样品的i-v曲线的测试。

可选的，继续参考图3，测试平台20上还设置有复位按钮17，该复位按钮17用于控制测试探针50和机械臂31和32复位。

在具体实现中，复位按钮17能够实现探针测试装置各部件的一键复位。例如，当对待测样品测试完成，或者测试过程中探针测试装置出现故障时，可通过复位按钮17控制测试探针50停止对待测样品的测试点位置输入测试电压，控制机械臂31和32恢复至起始位置。同时，该复位按钮17还能控制真空平台托盘21释放待测样品等。此外，探针测试装置还包括控制台支架19，该控制台支架19能够支撑和固定测试平台20，以防止测试平台20移动影响测试，以及控制测试平台20处于合适的高度，方便操作。

本实用新型实施例提供的探针测试装置具有简单的结构，能够对待测样品的测试点进行自动识别定位，从而简化测试方法，提高测试效率。同时，本实用新型实施例提供的探针测试装置设置有至少两个机械臂，该至少两个机械臂上的测试探针能够向待测样品的不同测试点的位置输入相应的测试电压，从而在不覆盖待测样品的前提下，完成对待测样品的测试，有利于对待测样品性能的获取，进而能够简化测试操作，提高测试效率和测试精度，降低测试成本。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。