二氧化钛基气体传感器的制作方法

文档序号:21418338发布日期:2020-07-10 15:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种二氧化钛基气体传感器,其特征在于,包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极,所述叉指电极层包括基板和设置在所述基板上的叉指电极,所述叉指电极为梳状结构,所述叉指电极和所述二氧化钛气敏层贴合接触。

2.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述叉指电极包括交错对称分布的第一电极和第二电极。

3.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述第一电极和第二电极之间间隔有二氧化钛。

4.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述叉指电极层的厚度为10~50μm。

5.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述叉指电极层还包括设置在所述叉指电极末端的信号引出极。

6.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述二氧化钛气敏层为多微孔状的二氧化钛微弧氧化膜,厚度为10~50μm。

7.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述绝缘层为二氧化钛陶瓷膜层,厚度10~50μm。

8.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述加热电极为蛇形结构。

9.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器,其特征在于,所述加热电极的材质为pt金属。


技术总结
本实用新型涉及一种二氧化钛基气体传感器,其包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极。该二氧化钛基气体传感器采用二氧化钛作为气敏层,具有多孔洞,并在其上设置叉指电极层,其气敏层具有大比表面积,为气体提供更多的吸附位点和反应通道。且为其他材料的掺入创造了条件。且叉指电极与气敏层充分接触,具有优良综合检测性能。

技术研发人员:潘明强;盛军;刘吉柱;王阳俊;涂明会
受保护的技术使用者:苏州大学
技术研发日:2019.07.11
技术公布日:2020.07.10
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