显微拉曼探测设备的制作方法

文档序号:19617915发布日期:2020-01-07 08:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种显微拉曼探测设备,其特征在于,包括:导出机构及依次间隔设置的第一滤光片、切换装置、第二滤光片和导入机构;

所述第一滤光片远离所述切换装置的一侧设有待测样品,所述第一滤光片的一侧设有激光器,所述导出机构设在所述激光器和所述第一滤光片之间,所述切换装置的一侧设有观测装置,所述激光器发射出的激光信号经过所述导出机构照射到所述第一滤光片上,所述第一滤光片能够将激光器发射出的激光信号反射到所述样品上表面,所述样品表面被激发出的反射信号经过所述第一滤光片、切换装置和第二滤光片后进入到所述导入机构中,并由所述导入机构导入到摄谱仪中进行拉曼分析;

所述观测装置设在所述切换装置上方,所述切换装置接收所述观测装置发出的照明光,所述第一滤光片能够将所述切换装置反射出的照明光反射到所述样品的表面,经过样品的表面反射的所述照明光经所述第一滤光片,由所述切换装置反射到所述观测装置中。

2.根据权利要求1所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,还包括显微物镜镜头,所述显微物镜镜头设在所述样品和所述第一滤光片之间。

3.根据权利要求2所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,所述第二滤光片、切换装置、第一滤光片和显微物镜镜头的光轴在同一直线上。

4.根据权利要求1所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,所述第一滤光片为双色激光分光镜。

5.根据权利要求1所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,所述第二滤光片为拉曼滤光片。

6.根据权利要求1所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,所述导出机构包括第一光纤和第一光纤耦合器,所述导入机构包括第二光纤和第二光纤耦合器;

所述第一光纤和所述第一光纤耦合器依次设在所述激光器和所述第一滤光片之间,所述第二光纤和所述第二光纤耦合器设在所述第二滤光片和所述摄谱仪之间,所述激光器发射出的激光信号进入到所述第一光纤中,所述第一光纤耦合器发射到所述第一滤光片上,由所述第一滤光片将所述激光器发射出的激光反射至所述样品上,所述第二光纤耦合器和所述第二光纤接收所述样品表面被激发出并过滤的反射信号,并将所述样品表面被激发出并过滤的反射信号导入到所述摄谱仪中。

7.根据权利要求1所述的显微拉曼探测设备,其特征在于,所述切换装置为介入/撤出可切换的反射镜、半反半透镜或偏振分光镜。

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