一种高精度绝对位置测量系统的制作方法

文档序号:21956238发布日期:2020-08-25 18:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高精度绝对位置测量系统,其特征在于,包括:测量模块和数据处理模块,所述测量模块与所述数据处理模块连接;所述测量模块包括:第一传感器、第二传感器;

测量模块,用于测量待测物的移动数据;

该述第一传感器包括第一静止部和第一运动部;所述第一静止部和第一运动部滑动连接;

该述第二传感器包括第二静止部和第二运动部;所述第二静止部和第二运动部滑动连接;

该述第一运动部与所述第二运动部设置于所述待测物上,并随着所述待测物同步运动。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,

所述第一传感器上设置有若干个第一绝对位置编码,每个第一绝对位置编码包含唯一的位置信息,该位置在测量方向上连续排列,每个第一绝对位置编码由固定数量的第一编码单元组成;

所述第一绝对位置编码的长度为所述第一传感器的第一距离;

所述第二传感器上设置有若干个第二绝对位置编码,每个第二绝对位置编码包含唯一的位置信息,该位置在测量方向上连续排列,每个第二绝对位置编码由固定数量的第二编码单元组成;

所述第二绝对位置编码的长度为所述第二传感器的第二距离。

3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述第一绝对位置编码设置于第一静止部/第一运动部上;

所述第二绝对位置编码设置于第二静止部/第二运动部上。

4.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一静止部与第一运动部之间有0.2~5mm的间隙;所述第二静止部与第二运动部之间有0.2~5mm的间隙。

5.如权利要求1所述的系统,其特征在于,

所述第一静止部为第一静栅,所述第一运动部为第一动栅;

所述第二静止部为第二静栅,所述第二运动部为第二动栅。

6.如权利要求5所述的系统,其特征在于,

所述第一静栅上沿测量轴线方向设置第一发射极,所述第一发射极包括沿测量方向连续分布的若干个第一子发射极组,每个第一子发射极组对应唯一的待测物的位置信息;

每个第一子发射极组包括固定数量的第一子发射极;所述子发射极组沿测量方向的长度为第一传感器的第一距离;

所述第二静栅上沿测量轴线方向设置第二发射极,所述第二发射极包括沿测量方向连续分布的若干个第二子发射极组,每个第二子发射极组对应唯一的待测物的位置信息;

每个第二子发射极组包括固定数量的第二子发射极;所述子发射极组沿测量方向的长度为第二传感器的第二距离。

7.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述第一静栅与第一动栅之间有0.2~5mm的间隙;所述第二静栅与第二动栅之间有0.2~5mm的间隙。


技术总结
本实用新型提供了一种高精度绝对位置测量系统,该述系统包括:测量模块,用于测量待测物的移动数据;数据处理模块,用于接收测量模块输出的待测物的移动数据,并对其进行处理,获得待测物的绝对位置数据;所述测量模块与所述数据处理模块连接;所述测量模块包括:第一传感器、第二传感器;该述第一传感器包括第一静止部和第一运动部;所述第一静止部和第一运动部滑动连接;该述第二传感器包括第二静止部和第二运动部;所述第二静止部和第二运动部滑动连接;该述第一运动部与所述第二运动部设置于所述待测物上,并随着所述待测物同步运动。与现有技术相比,本实用新型的技术方案结构简单,性能稳定,成本低,功耗小。

技术研发人员:赵洪涛;王宏松
受保护的技术使用者:上海潜龙电子科技有限公司
技术研发日:2019.09.04
技术公布日:2020.08.25
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