一种探针台的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及探针台的改进。

背景技术：

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

现有技术中的探针台的结构通常具有探针台基座，所述探针台基座上具有提前固定的定位销和在特定位置的螺丝孔。在实际应用中，根据不同的待测探针卡或测试平台，操作人员需要更换所述探针台基座。之后在探测前，需要对整个更换后的探针台基座进行水平矫正调试，需要一定的人力物力去完成。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种探针台，以适用于大多数待测探针卡和测试平台，减少人力物力的耗费。

根据第一方面，本实用新型实施例提供了一种探针台，所述探针台包括：探针台基座；所述基座至少部分表面为平面，以放置待测探针卡；所述平面上具有多个定位销安装孔和至少一个螺丝孔；至少一个定位销安装于至少一个所述定位销安装孔；

所述定位销能够被拆卸下来。

所述螺丝孔用于紧固所述待测探针卡。

可选地，多个所述螺丝孔以相互交叉的直线的形状排列在所述平面上。

可选地，至少两个所述相互交叉的直线为十字垂直形交叉。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的直线之间。

由于定位销可拆卸，且所述基座上具有多个定位销安装孔，对于不同的待测探针卡，操作人员可以不更换探针台基座，仅需要根据后续待测探针卡的类型来更换所述定位销的安装位置，以将探针台基座、定位销及待测探针卡进行适配及安装。

因为所述探针台在更换待测探针卡仅更换了所述定位销位置，没有更换探针台基座，因此，不需要再次对所述探针台基座进行水平矫正，一定程度上节约了操作时间。

可选地，所述平面上具有多个第一滑轨，每个所述第一滑轨上具有一第一滑块；每个所述第一滑块具有一个或多个所述螺丝孔。

设置具有所述螺丝孔的滑块，可根据所述探针台的对待测探针卡和检测平台的具体类型，在不更换所述探针台基座的情况下，仅改变所述具有所述螺丝孔的滑块的位置，其在保证了所述探针台基座水平的基础上，进一步增加了应用范围，增加便携性。

可选地，所述第一滑轨为直线形第一滑轨或圆弧形第一滑轨。

可选地，多个所述第一滑轨为相互交叉的直线。

可选地，至少两个所述第一滑轨为相互垂直的交叉，形成十字垂直滑轨。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的滑轨之间。

可选地，多个所述第一滑轨为多个以基座中心为圆心的圆环。

可选地，所述定位销位于所述圆环之间。

设置相互交叉的直线型滑轨，或者是圆环型滑轨，都增加了所述螺丝孔位置的可变性，进一步增加了了应用范围，增加便携性。

本实用新型另一方面提供了另一种探针台，所述探针台包括：探针台基座；所述基座至少部分表面为平面，以放置待测探针卡；所述基座上具有多个第二滑轨，每个所述第二滑轨上具有一个或多个用于安装定位销的第二滑块；一个或多个定位销安装于一个或多个所述定位销第二滑块上；多个螺丝孔；所述定位销可拆卸。

所述螺丝孔用于紧固所述待测探针卡。

可选地，多个所述螺丝孔以相互交叉的直线的形状排列在所述平面上。

可选地，至少两个所述相互交叉的直线为十字垂直形交叉。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的直线之间。

由于定位销可拆卸，且所述基座上具有多个定位销安装孔，对于不同的待测探针卡，操作人员可以不更换探针台基座，仅需要根据后续待测探针卡的类型来更换所述定位销的安装位置，以将探针台基座、定位销及待测探针卡进行适配及安装。

因为所述探针台在更换待测探针卡仅更换了所述定位销位置，没有更换探针台基座，因此，不需要再次对所述探针台基座进行水平矫正，一定程度上节约了操作时间。

可选地，所述平面上具有多个第一滑轨，每个所述第一滑轨上具有一第一滑块；每个所述第一滑块具有一个或多个所述螺丝孔。

设置具有所述螺丝孔的滑块，可根据所述探针台的对待测探针卡和检测平台的具体类型，在不更换所述探针台基座的情况下，仅改变所述具有所述螺丝孔的滑块的位置，其在保证了所述探针台基座水平的基础上，进一步增加了应用范围，增加便携性。

可选地，所述第一滑轨和/或所述第二滑轨为直线形或圆弧形。

可选地，多个所述第一滑轨为相互交叉的直线。

可选地，至少两个所述第一滑轨为相互垂直的交叉，形成十字垂直滑轨。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的第一滑轨之间。

可选地，多个所述第一滑轨和/或所述第二滑轨为多个以基座中心为圆心的圆环。

可选地，所述定位销位于所述圆环形的所述第一滑轨之间。

设置相互交叉的直线型滑轨，或者是圆环型滑轨，都增加了所述螺丝孔位置的可变性，进一步增加了了应用范围，增加便携性。

附图说明

通过参考附图会更加清楚的理解本实用新型的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本实用新型进行任何限制，在附图中：

图1显示为本实用新型实施例的探针台基座示意图。

图2显示为本实用新型实施例的探针台基座示意图。

图3显示为本实用新型实施例的探针台基座示意图。

图4显示为本实用新型实施例的探针台基座示意图

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种探针台，参考附图1，所述探针包括：探针台基座；所述基座至少部分表面为平面，以放置待测探针卡；所述平面上具有多个定位销200安装孔和至少一个螺丝孔300；至少一个定位销安装于至少一个所述定位销安装孔。

所述定位销能够被拆卸下来。

所述螺丝孔用于紧固所述待测探针卡。

可选地，参考附图2，多个所述螺丝孔300以相互交叉的直线的形状排列在所述平面上。

可选地，至少两个所述相互交叉的直线为十字垂直形交叉。

可选地，所述定位销300位于所述相互交叉的直线之间。

由于定位销300可拆卸，且所述基座上具有多个定位销安装孔，对于不同的待测探针卡，操作人员可以不更换探针台基座，仅需要根据后续待测探针卡的类型来更换所述定位销的安装位置，以将探针台基座、定位销及待测探针卡进行适配及安装。

因为所述探针台在更换待测探针卡仅更换了所述定位销位置，没有更换探针台基座，因此，不需要再次对所述探针台基座进行水平矫正，一定程度上节约了操作时间。

可选地，参考附图3，所述平面上具有多个第一滑轨301，每个所述第一滑轨上具有一第一滑块；每个所述第一滑块具有一个或多个所述螺丝孔300。

设置具有所述螺丝孔的滑块，可根据所述探针台的对待测探针卡和检测平台的具体类型，在不更换所述探针台的情况下，仅改变所述具有所述螺丝孔的滑块的位置，其在保证了所述探针台基座水平的基础上，进一步增加了应用范围，增加便携性。

可选地，所述第一滑轨301为直线形第一滑轨或圆弧形第一滑轨。

可选地，多个所述第一滑轨为相互交叉的直线。

可选地，至少两个所述第一滑轨为相互垂直的交叉，形成十字垂直滑轨。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的滑轨之间。

可选地，参见附图4，多个所述第一滑轨301为多个以基座中心为圆心的圆环。

可选地，所述定位销位200于所述圆环之间。

设置相互交叉的直线型滑轨，或者是圆环型滑轨，都增加了所述螺丝孔位置的可变性，进一步增加了了应用范围，增加便携性。

本实用新型另一方面提供了另一种探针台，参考附图1，所述探针台包括：探针台基座100；所述基座100至少部分表面为平面，以放置待测探针卡；所平面上具有多个第二滑轨，每个所述第二滑轨上具有一个或多个用于安装定位销的第二滑块；一个或多个定位销200安装于一个或多个所述定位销第二滑块上；多个螺丝孔300；所述定位销可拆卸。

所述螺丝孔300用于紧固所述待测探针卡。

可选地，参考附图2，多个所述螺丝孔300以相互交叉的直线的形状排列在所述平面上。

可选地，至少两个所述相互交叉的直线为十字垂直形交叉。

可选地，所述定位销200位于所述相互交叉的直线之间。

由于定位销可拆卸，且所述基座上具有多个定位销安装孔，对于不同的待测探针卡，操作人员可以不更换探针台基座，仅需要根据后续待测探针卡的类型来更换所述定位销的安装位置，以将探针台基座、定位销及待测探针卡进行适配及安装。

因为所述探针台在更换待测探针卡仅更换了所述定位销位置，没有更换探针台基座，因此，不需要再次对所述探针台基座进行水平矫正，一定程度上节约了操作时间。

可选地，参考附图3所述平面上具有多个第一滑轨301，每个所述第一滑轨301上具有一第一滑块；每个所述第一滑块具有一个或多个所述螺丝孔300。

设置具有所述螺丝孔的滑块，可根据所述探针台的对待测探针卡和检测平台的具体类型，在不更换所述探针台基座的情况下，仅改变所述具有所述螺丝孔的滑块的位置，其在保证了所述探针台基座水平的基础上，进一步增加了应用范围，增加便携性。

可选地，所述第一滑轨和/或所述第二滑轨为直线形或圆弧形。

可选地，多个所述第一滑轨为相互交叉的直线。

可选地，至少两个所述第一滑轨为相互垂直的交叉，形成十字垂直滑轨。

可选地，所述定位销位于所述相互交叉的第一滑轨之间。

可选地，多个所述第一滑轨和/或所述第二滑轨为多个以基座中心为圆心的圆环。

可选地，所述定位销位于所述圆环形的所述第一滑轨之间。

设置相互交叉的直线型滑轨，或者是圆环型滑轨，都增加了所述螺丝孔位置的可变性，进一步增加了了应用范围，增加便携性。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型，本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。