一种耐腐蚀电子气压传感器的制作方法

本实用新型涉及传感器领域，尤其涉及一种耐腐蚀电子气压传感器。

背景技术：

气压传感器是用于测量气体的绝对压强的仪器，主要适用于与气体压强相关的物理实验，如气体定律等，也可以在生物和化学实验中测量干燥、无腐蚀性的气体压强，空气压缩机的气压传感器主要的传感元件是一个对气压的强弱敏感的薄膜和一个顶针开控制，电路方面它连接了一个柔性电阻器。当被测气体的压力降低或升高时，这个薄膜变形带动顶针，同时该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5v的信号电压，经过a/d转换由数据采集器接受，然后数据采集器以适当的形式把结果传送给计算机。

气压传感器应用范围十分广泛，因此气压传感器的使用环境较为多变，潮湿环境下气压传感器极容易出现被腐蚀的现象，一旦装置被腐蚀则会出现传感器使用效果较差，甚至是传感器损坏的情况。

为解决上述问题，本申请中提出一种耐腐蚀电子气压传感器。

技术实现要素：

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种耐腐蚀电子气压传感器，通过设置的镀锌防腐表层和镀锌防腐底层，能够从上盖的表面和底面对上盖进行防腐操作，同时通过设置的防水透气膜，能够防止水汽进入到内腔，防止传感器内部组件受到水汽的侵蚀，提高防腐效果，增加传感器的使用效果和使用寿命。

(二)技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供了一种耐腐蚀电子气压传感器，包括底座、上盖和内腔，所述底座上方设置有上盖，所述上盖内部设置有内腔，所述内腔底部设置有硅衬底，所述硅衬底上方设置有背极板，所述背极板上方两侧均设置有二氧化硅，所述二氧化硅上方架设有硅薄膜，所述硅薄膜与背极板之间形成空腔；

所述上盖上方开设有进气孔，所述进气孔内部设置有防水透气膜，所述上盖表面覆盖有镀锌防腐表层，所述镀锌防腐表层下方设置有第一电磁屏蔽层，所述第一电磁屏蔽层下方设置有不锈钢基层，所述不锈钢基层下方设置有第二电磁屏蔽层，所述第二电磁屏蔽层下方设置有镀锌防腐底层。

优选的，所述第一电磁屏蔽层和第二电磁屏蔽层具体为半导电纸带缠绕而成。

优选的，所述底座与上盖之间为焊接方式固定连接。

优选的，所述防水透气膜具体由四氟乙烯经聚合而成。

优选的，所述硅衬底固定连接于底座上表面。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

1、通过设置的镀锌防腐表层和镀锌防腐底层，能够从上盖的表面和底面对上盖进行防腐操作，同时通过设置的防水透气膜，能够防止水汽进入到内腔，防止传感器内部组件受到水汽的侵蚀，提高防腐效果，增加传感器的使用效果和使用寿命，防水透气膜具体由四氟乙烯经聚合而成，当水汽冷凝变成水珠后，颗粒变大，由于水珠表面张力的作用，水分子就不能顺利脱离水珠渗透到另一侧，也就是防止了水的渗透发生，使透汽膜有了防水的功能；

2、通过设置的，第一电磁屏蔽层和第二电磁屏蔽层，能够在不锈钢基层表面形成等电位，可以有效避免不锈钢基层发生局部放电，具备电磁屏蔽功能，气压使硅薄膜形变，从而改变由硅薄膜跟背极板形成的电容的电容值，此种传感器的优点是对温度变化不敏感，更高的灵敏度，低功耗。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的上盖结构剖视图；

附图标记：

1、底座；2、上盖；3、内腔；4、硅衬底；5、背极板；6、二氧化硅；7、空腔；8、硅薄膜；9、进气孔；10、防水透气膜；11、镀锌防腐表层；12、第一电磁屏蔽层；13、不锈钢基层；14、第二电磁屏蔽层；15、镀锌防腐底层。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-2所示，本实用新型提出的一种耐腐蚀电子气压传感器，包括底座1、上盖2和内腔3，所述底座1上方设置有上盖2，所述上盖2内部设置有内腔3，所述内腔3底部设置有硅衬底4，所述硅衬底4上方设置有背极板5，所述背极板5上方两侧均设置有二氧化硅6，所述二氧化硅6上方架设有硅薄膜8，所述硅薄膜8与背极板5之间形成空腔7；

所述上盖2上方开设有进气孔9，所述进气孔9内部设置有防水透气膜10，所述上盖2表面覆盖有镀锌防腐表层11，所述镀锌防腐表层11下方设置有第一电磁屏蔽层12，所述第一电磁屏蔽层12下方设置有不锈钢基层13，所述不锈钢基层13下方设置有第二电磁屏蔽层14，所述第二电磁屏蔽层14下方设置有镀锌防腐底层15。

本实施例中，需要说明的是第一电磁屏蔽层12和第二电磁屏蔽层14具体为半导电纸带缠绕而成，底座1与上盖2之间为焊接方式固定连接，防水透气膜10具体由四氟乙烯经聚合而成，硅衬底4固定连接于底座1上表面。

本实用新型中，通过设置的镀锌防腐表层11和镀锌防腐底层15，能够从上盖2的表面和底面对上盖2进行防腐操作，同时通过设置的防水透气膜10，能够防止水汽进入到内腔3，防止传感器内部组件受到水汽的侵蚀，提高防腐效果，增加传感器的使用效果和使用寿命，防水透气膜10具体由四氟乙烯经聚合而成，当水汽冷凝变成水珠后，颗粒变大，由于水珠表面张力的作用，水分子就不能顺利脱离水珠渗透到另一侧，也就是防止了水的渗透发生，使透汽膜有了防水的功能；通过设置的，第一电磁屏蔽层12和第二电磁屏蔽层14，能够在不锈钢基层13表面形成等电位，可以有效避免不锈钢基层13发生局部放电，具备电磁屏蔽功能，气压使硅薄膜8形变，从而改变由硅薄膜8跟背极板5形成的电容的电容值，此种传感器的优点是对温度变化不敏感，更高的灵敏度，低功耗。

本实用新型的工作原理及使用流程：气压使硅薄膜8形变，从而改变由硅薄膜8跟背极板5形成的电容的电容值，此种传感器的优点是对温度变化不敏感，更高的灵敏度，低功耗；防水透气膜10具体由四氟乙烯经聚合而成，当水汽冷凝变成水珠后，颗粒变大，由于水珠表面张力的作用，水分子就不能顺利脱离水珠渗透到另一侧，也就是防止了水的渗透发生，使透汽膜有了防水的功能；通过设置的，第一电磁屏蔽层12和第二电磁屏蔽层14，能够在不锈钢基层13表面形成等电位，可以有效避免不锈钢基层13发生局部放电；通过设置的镀锌防腐表层11和镀锌防腐底层15，能够从上盖2的表面和底面对上盖2进行防腐操作，同时通过设置的防水透气膜10，能够防止水汽进入到内腔3，防止传感器内部组件受到水汽的侵蚀，提高防腐效果，增加传感器的使用效果和使用寿命。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。