检测组件、检测装置以及检测系统的制作方法

本申请涉及靶材焊接技术领域，尤其是涉及一种检测组件、检测装置以及检测系统。

背景技术：

靶材由背板和溅射靶材通过焊接进行结合，焊接结合率及内部缺陷是检验靶材的重要指标，如果在溅射中发生脱焊或者因焊接不良导致的漏焊料等情况，将污染甚至磕伤客户贵重机台；然而，目前用于靶材焊接结合率的检测机构上的检测探头的探头位置可调性差、灵活性不够，不便于对待检测靶材进行检测。

技术实现要素：

本申请的目的在于提供一种检测组件、检测装置以及检测系统，在一定程度上解决现有技术中靶材焊接结合率检测机构中探头位置可调性差、灵活性不够，不便于对待检测靶材进行检测的技术问题。

本申请提供了一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构和探头，所述探头能够吸附于所述移动机构上，且所述移动机构用于带动所述探头在待检测件上方移动。

在上述技术方案中，进一步地，所述探头上设置有磁性件，所述移动机构上设置有吸附件，所述磁性件与所述吸附件能够相互吸附，以使所述探头吸附在所述移动机构上。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附件为电磁铁，所述磁性件为磁性铁板。

在上述技术方案中，进一步地，所述移动机构包括定位梁和滑轨，所述滑轨沿第一方向延伸，所述定位梁沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向相垂直；所述吸附件设置于所述定位梁上，所述定位梁滑动设置于所述滑轨上，以使吸附于所述定位梁上的所述探头能够在所述待检测件上方移动。

在上述技术方案中，进一步地，所述探头的数量为多个，多个所述探头沿所述定位梁的延伸方向间隔设置，且与所述待检测件一一对应设置，多个所述探头能够分别同时对对应的所述待检测件检测。

本申请还提供一种检测装置，包括上所述的检测组件和检测箱；

所述检测箱用于容纳检测介质和所述待检测件；所述检测组件置于所述检测箱上，且所述探头朝向所述待检测件。

在上述技术方案中，进一步地，还包括承托件，所述承托件设置在所述检测箱内，所述承托件上置有待检测件，所述承托件用于承托所述待检测件。

在上述技术方案中，进一步地，还包括吊装件，所述吊装件设置在所述承托件的两侧，所述吊装件能够驱动所述承托件沿竖直方向移动，以使所述承托件和所述待检测件浸入所述检测箱内的检测介质中或脱离所述检测箱内的检测介质。

在上述技术方案中，进一步地，所述承托件上设置有定位件，所述定位件沿所述待检测件的长度方向和宽度方向中的至少一个方向设置，所述定位件用于将所述待检测件固定在所述承托件上。

本申请还提供一种检测系统，包括上述的检测装置。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，其中，检测组件包括移动机构和探头，探头能够吸附于移动机构上，利用移动机构能够带动探头在待检测件上方移动，进而检测溅射靶材与背板的焊接结合率，更进一步地，探头吸附于移动机构上，即探头在所述移动机构上的位置可调，具有较强的灵活性，保证探头始终与待检测件的位置对应，即使检测更加精准。

更具体地，本申请中相邻两个探头之间的距离能够调节，相比于现有技术中，探头固定设置在移动机构上而言，本申请更具有实用性。

本申请还提供了一种检测装置，包括上述的检测组件和检测箱；所述检测箱用于容纳检测介质和所述待检测件；所述检测组件置于所述检测箱上，且所述探头朝向所述待检测件，基于上述分析可知，探头具有较强的灵活性，进而使检测更加精准。

本申请还提供了一种检测系统，包括上述的检测装置，基于上述分析可知，检测效率更加精准。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例一提供的检测组件的结构示意图；

图2为本申请实施例二提供的检测装置上的承托件以及待检测件的结构示意图；

图3为本申请实施例二提供的检测装置的结构示意图；

图4为本申请实施例二提供的检测装置在加入检测介质后的结构示意图；

图5为本申请实施例二提供的检测装置中将待检测件放置在所述承托件上的示意图。

图中：100-探头；101-移动机构；102-磁性件；103-吸附件；104-定位梁；105-滑轨；106-检测箱；107-承托件；108-吊装件；109-叉车；110-待检测件。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例一

参见图1所示，本申请提供的一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构101和探头100，所述探头100能够吸附于所述移动机构101上，且所述移动机构101用于带动所述探头100在待检测件110上方移动。优选地，所述探头100上设置有磁性件102，所述移动机构101上设置有吸附件103，所述磁性件102与所述吸附件103能够相互吸附，以使所述探头100吸附在所述移动机构101上。

具体地，本申请用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，其中，检测组件包括移动机构和探头100，探头100能够吸附于移动机构101上，利用移动机构101能够带动探头100在待检测件上方移动，进而检测溅射靶材与背板的焊接结合率，更进一步地，探头100吸附于移动机构101上，即探头100在所述移动机构101上的位置可调，具有较强的灵活性，保证探头始终与待检测件的位置对应，即使检测更加精准。

更具体地，本申请中探头100可以设置有多个，多个探头100分别与多个待检测件110一一对应设置，且多个探头100利用同一个移动机构101驱动，从而实现同时对多个待检测件110的检测，相比于现有技术中，一个移动机构驱动一个探头对一个待检测件检测而言，本申请检测效率高。

更具体地，本申请中相邻两个探头100之间的距离能够调节，相比于现有技术中，探头固定设置在移动机构上而言，本申请更具有灵活性和实用性。

在该实施例中，所述吸附件103为电磁铁，所述磁性件102为磁性铁板，在实际的使用过程中，当对电磁铁通电时，使电磁铁能够吸附磁性铁板，当需要调整多个探头100之间的距离时，首先断电，使电磁铁的磁性丧失，然后根据相邻两个所述待检测件110之间的距离，从而调整相邻两个所述探头100之间的距离。

在该实施例中，所述移动机构101包括定位梁104和滑轨105，所述滑轨105沿第一方向延伸，这里的第一方向优选为待检测件110的长度方向；所述定位梁104沿第二方向延伸；这两的第二方向优选为待检测件110的宽度方向；所述第一方向与所述第二方向相垂直。

所述吸附件103设置于所述定位梁104上，所述定位梁104滑动设置于所述滑轨105上，当所述定位梁104在所述滑轨105上滑动时，所述定位梁104上的所述探头100能够在待检测件110上方移动。

更有选地，所述滑轨105上设置有滑槽，所述定位梁104上设置有滑块，所述滑块能够在所述滑槽内滑动，从而使定位梁104能够在所述滑轨105上滑动。

在该实施例中，为了提高对待检测件110检测的效率，所述探头100的数量为多个，多个所述探头100沿所述定位梁104的延伸方向间隔设置，且与所述待检测件110一一对应设置，多个所述探头100能够分别同时对所述待检测件110检测。

具体地，所述待检测件110优选为三个，探头100优选设置为三个，调整探头100的位置，以使每一个探头100能够与一个所述待检测件110相对应，即当利用移动机构101带动探头100运动，使探头100扫过待检测件110时，能够同时对三个待检测件110同时检测，进而提供对待检测件110的检测效率，节省检测时间。

实施例二

该实施例二中的是在上述实施例基础上的改进，上述实施例中公开的技术内容不重复描述，上述实施例中公开的内容也属于该实施例二公开的内容。

参见图2至图5所示，其中，图2为本申请实施例二提供的检测装置上的承托件以及待检测件的结构示意图；图3为本申请实施例二提供的检测装置的结构示意图；图4为本申请实施例二提供的检测装置在加入检测介质后的结构示意图；图5为本申请实施例二提供的检测装置中将待检测件放置在所述承托件上的装配结构图。

在该实施例中，提供了一种检测装置，包括上述的检测组件和检测箱106；所述检测箱106用于容纳检测介质和所述待检测件110；所述检测组件置于所述检测箱106上，且所述探头100朝向所述待检测件110。

具体地，在实际的使用过程中检测介质优选为水或油，考虑到成本问题，更优选为水。

更具体地，所述检测箱106的内侧壁贴覆有防漏层，防止检测介质泄漏，影响检测效果。

本申请中检测装置的检测原理为：首先将待检测件110置于检测箱106中，向检测箱106中注入检测介质，并淹没所述待检测件110，利用移动机调整探头100的位置，使探头100抵接在待检测件110的上表面，探头100外部电连接有控制电脑，利用控制电脑控制探头100向待检测件110发射超声波，如果控制电脑检测到两个反射波，那么即探头100检测到此位置时的待检测件110良好没有瑕疵等问题，并且此时的两个反射波，其中一个反射波是由于超声波打到待检测件110的上表面形成的反射波，另一个反射波是由于超声波打到待检测件110的下表面形成的反射波；如果控制电脑检测大于两个反射波，那么即探头100检测到此位置时的待检测件110有缺焊、漏焊等瑕疵问题，更具体的，通过计算发射波以及反射波之间的传播时间，能够估算出漏焊位置的面积。

在该实施例中，为了保证方便将所述待检测件110置于所述检测箱106内，所述检测装置还包括承托件107，承托件107优选为承托板，所述承托件107设置在所述检测箱106的底部，所述承托件107上置有待检测件110，具体地，承托件107的长度大于待检测件110的长度，承托件107的宽度大于所述待检测的宽度，从而保证承托件107能够完全承托所述待检测件110。

具体地，在实际的操作过程中，首先利用叉车109的货叉将待检测件110放置于承托件107上；优选地，在承托板上开设有插装槽，叉车109的货叉抬起所述待检测时，插装槽能够容纳货叉，使待检测件110置于所述承托件107上。

在该实施例中，为了进一步方便将所述待检测件110置于所述检测箱106内，所述检测装置还包括吊装件108，所述吊装件108设置在所述承托件107的两侧，其中，吊装件108优选包括固定夹板以及设置在所述固定夹板上的吊环，固定夹板夹设在承托件107上。

当利用叉车109将待检测件110置于所述承托件107上时，然后，将吊装件108安装在承托件107上，最后利用行车驱动所述吊装件108上的吊环，使所述承托件107和所述待检测件110缓慢置于所述检测箱106内；检测结束时，再利用行车驱动所述吊装件108上的吊环，将所述承托件107以及靶材从所述检测箱106内取出。

在该实施例中，当利用行车缓慢将待检测件110置于所述检测箱106内时，为了保证，待检测件110能够稳定放置于承托件107上，所述承托件107上设置有定位件，所述定位件沿所述待检测件110的长度方向和宽度方向中的至少一个方向设置，所述定位件用于将所述待检测件110固定在所述承托件107上。

具体地，所述定位件优选为定位块或定位柱。

更具体地，本申请中定位块或是定位柱第一种优选的方式是设置在所述待检测件110的宽度方向的两侧，能够防止待检测件110沿宽度方向上发生偏移；第二种优选的方式是设置在所述待检测件110的长度方向的两侧，能够防止待检测件110沿长度方向上发生的偏移。

本申请在实际的使用过程中的操作方法为：

步骤一：如图5所示，首先利用叉车109将待检测件110放置在承托件107上，利用承托件107承托待检测件110，放在吊具基座上，当需要对多个待检测件110同时检测时，那么在利用叉车109放置待检测件110于承托件107上时，多个待检测件110优选等间距设置，并同时测出相邻两个所述待检测件110之间的距离。

步骤二：如图2所示，通过行车吊所述承托件107上的所述吊装件108，进而实现将待检测件110放置在所述检测箱106内。

步骤三：如图3，首先撤掉吊装件108，然后调整相邻两个探头100之间的距离，保证相邻两个所述探头100之间的距离等于相邻两个所述待检测件110之间的距离，即保证每一个待检测件110的上方均有一个对应的所述探头100。

步骤四：如图4，首先，向检测箱106内注入检测介质，并淹没所述探头100；然后，推进探头100至待检测件110的上部边缘，此位置为探头100的起始位置，最后，驱动定位梁104在滑轨105上移动，以使探头100扫描待检测件110的整个检测面。

步骤五：检测结束后，首先，定位梁104移动至非检测区域；然后，将吊装件108安装在承载件上，并利用行车吊起吊装件108，使承托件107从检测箱106内移出，整个测试过程结束。

实施例三

本申请实施例三提供了一种检测系统，包括上述任一实施例所述的检测装置，因而，具有上述任一实施例所述的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。