一种电容式压力传感器的制作方法

本实用新型涉及传感器领域,特别涉及一种电容式压力传感器。

背景技术：

电容式压力传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。70年代末以来，随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，因此，要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。由此可见，虽然电容式传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用十分明显,但是现有的电容式传感器仍然存在着不足,输出阻抗高，负载能力差,易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作,寄生电容影响大,电容式传感器的初始电容量很小，而连接传感器和电子线路的引线电缆电容、电子线路的杂散电容以及电容极板与周围导体构成的电容等寄生电容却较大,寄生电容的存在不但降低了测量灵敏度，而且引起非线性输出,由于寄生电容是随机变化的,因而使传感器处于不稳定的工作状态,影响测量准确度。

技术实现要素：

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种电容式压力传感器，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种电容式压力传感器，包括壳体1，所述壳体1的一侧设有o型密封圈2，所述壳体1的另一侧设有碟形密封圈3，所述碟形密封圈3远离壳体1的一侧设有陶瓷敏感元件4，所述陶瓷敏感元件4的一侧设有信号处理电路装置5，所述信号处理电路装置5的一侧设有接插件6，所述信号处理电路装置5的一侧与陶瓷敏感元件4连接，所述信号处理电路装置5的另一侧与接插件6连接，所述壳体1的内部设有限位机构7，所述限位机构7的底部设有密封腔8，所述信号处理电路装置5的内部设有有源滤波器、模拟乘法器和锁相环电路。

进一步的，所述壳体1为金属材质。

进一步的，所述壳体1与o型密封圈2相连接，所述碟形密封圈3设置在密封腔8的内部，所述陶瓷敏感元件4设置在限位机构7的内部。

进一步的，所述壳体1与接插件6之间固定连接。

本实用新型的有益效果为：本实用新型提出的一种电容式压力传感器，具有结构新颖、设计巧妙、方便使用、成本低的优点，传感器的灵敏度高，性能稳定，使用寿命长，壳体为金属材质，提高了称重结果的准确性和抗燥性能，同时降低外界的干扰，通过设置陶瓷敏感元件，资源丰富，易于多功能转化和集成化，提高了传感器的稳定性和可靠性，通过设置信号处理电路装置，提高输入信号电平以更好地匹配模拟数字转换器的范围，从而提高测量精度和灵敏度，可以通过在信号被环境噪声影响之前提高信号电平来提高测量的信号噪声比。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种电容式压力传感器的整体结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种电容式压力传感器的壳体内部结构示意图；

图中：

1、壳体；2、o型密封圈；3、碟形密封圈；4、陶瓷敏感元件；5、信号处理电路装置；6、接插件；7、限位机构；8、密封腔。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种电容式压力传感器。

实施例一：

如图1-2所示，根据本实用新型实施例的一种电容式压力传感器，包括壳体1，所述壳体1的一侧设有o型密封圈2，所述壳体1的另一侧设有碟形密封圈3，所述碟形密封圈3远离壳体1的一侧设有陶瓷敏感元件4，所述陶瓷敏感元件4的一侧设有信号处理电路装置5，所述信号处理电路装置5的一侧设有接插件6，所述信号处理电路装置5的一侧与陶瓷敏感元件4连接，所述信号处理电路装置5的另一侧与接插件6连接，所述壳体1的内部设有限位机构7，所述限位机构7的底部设有密封腔8，所述信号处理电路装置5的内部设有有源滤波器、模拟乘法器和锁相环电路，所述壳体1为金属材质，所述壳体1与o型密封圈2相连接，所述碟形密封圈3设置在密封腔8的内部，所述陶瓷敏感元件4设置在限位机构7的内部，所述壳体1与接插件6之间固定连接。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，一种电容式压力传感器，包括壳体1，所述壳体1的一侧设有o型密封圈2，防止壳体的内部进入灰尘和水影响传感器称重结果的准确性，所述壳体1的另一侧设有碟形密封圈3，所述碟形密封圈3远离壳体1的一侧设有陶瓷敏感元件4，能够使陶瓷敏感元件与壳体之间牢固，所述陶瓷敏感元件4的一侧设有信号处理电路装置5，信号处理电路装置5可以提高输入信号电平以更好地匹配模拟数字转换器的范围，从而提高测量精度和灵敏度，可以通过在信号被环境噪声影响之前提高信号电平来提高测量的信号噪声比，所述信号处理电路装置5的一侧设有接插件6，所述信号处理电路装置5的一侧与陶瓷敏感元件4连接，所述信号处理电路装置5的另一侧与接插件6连接，所述壳体1的内部设有限位机构7，所述限位机构7的底部设有密封腔8，所述信号处理电路装置5的内部设有有源滤波器、模拟乘法器和锁相环电路，所述壳体1为金属材质，密封性能好且安装更加方便，所述壳体1与o型密封圈2相连接，所述碟形密封圈3设置在密封腔8的内部，所述陶瓷敏感元件4设置在限位机构7的内部，所述壳体1与接插件6之间固定连接，改善了传感器的线性度，并且提高了传感器结构的灵敏度。本实用新型具有结构新颖、设计巧妙、方便使用、成本低的优点，传感器的灵敏度高，性能稳定，使用寿命长，壳体为金属材质，提高了称重结果的准确性和抗燥性能，同时降低外界的干扰。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。