晶圆盒出货包装检验装置的制作方法

本实用新型还涉及半导体器件制造设备技术领域，特别涉及一种出货检验设备。

背景技术：

在一个集成电路制造工厂完成了所有加工、检测工作后，该工厂需要将其生产的成品包装运输到其他工厂或客户处。加工好的晶圆通常采用晶圆盒包装，为了便于品质把控，通常需要在打包好的晶圆盒上粘贴标签，并且对打包好的晶圆盒的外观进行拍照留档作为出货检验的一个必要步骤和留存的最终检验数据。

现在集成电路制造厂通常采用的方法是，采用数码相机进行拍照，然后再将数码相机带出生产车间，拷贝到电脑上。检验人员手持数码相机进行拍照，会存在抖动等拍照技术不一致的问题，容易导致晶圆盒上的标签拍摄不清楚。检验人员需要在两个地方处理拍照、存档的工作，费时费力，而且，当拷贝到电脑上后，发现有不清晰的照片的时候，晶圆盒可能已经无法对上，或者已经出货无法追溯。

本实用新型所要解决的技术问题是：如何设计出一种出货包装检验装置，能够更好的进行出货检验，能够拍摄出清晰的照片，能够及时拷贝到电脑等上面的存储介质中，并能够及时发现所存储的照片是否清晰。

技术实现要素：

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种晶圆盒出货包装检验装置，其目的在于在满足能够在集成电路工厂车间内，进行出货前的包装和检验，能够拍摄清晰的照片，能够及时将出货状态数据(包含清晰标签的出厂晶圆盒的外观照片)检查并存储。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆盒出货包装检验装置，包括：

包装桌，所述包装桌包含桌面；

摄像单元，所述摄像单元用以检验所述晶圆盒；

安装支架，所述安装支架装配至所述桌面上，所述安装支架连接所述摄像单元。

优选地，所述桌面上设有桌面孔，所述桌面孔为圆形，所述桌面孔矩形阵列排布。

优选地，所述包装桌还包含第一抽屉和第二抽屉、四根桌腿、后挡板、左挡板、右挡板、底挡板，所述后挡板的下边缘、左挡板的下边缘、右挡板的下边缘、所述底挡板距离地面有第一高度，所述底挡板的前边缘距离所述包装桌的前端面有第一深度，所述第一抽屉的宽度是所述第二抽屉宽度的2.5～3倍，所述桌腿具有能调节高度的调节脚，所述调节脚能够上下调节最大距离10cm～20cm。

优选地，所述安装支架包含：

安装底座，所述安装底座形状是平面上凸起半球形壳体，在平面上设有安装孔，所述安装孔数量为四，所述安装孔穿设螺栓与所述桌面连接；

伸缩杆组件，所述伸缩杆组件与所述安装底座连接，所述伸缩杆组件包含第一杆件、第二杆件和套件，所述第一杆件和第二杆件分别包含外螺纹段，所述套件包含内螺纹段，所述第一杆件和第二杆件分别与所述套件的两端螺纹连接；

支架顶部，所述支架顶部包含旋转结构和螺纹结构，所述支架顶部通过旋转结构与所述伸缩杆组件连接，所述螺纹结构与所述摄像单元连接，所述旋转结构为球铰、或十字交叉复合铰链。

优选地，所述安装底座、第一杆件、第二杆件、套件、旋转结构连接形成贯穿的中间空心结构。

优选地，所述伸缩杆组件能够伸缩的最大距离10cm～20cm。

优选地，所述摄像单元包含数据线，所述数据线连接电脑，所述电脑上设有界面按钮，点击所述界面按钮能够发出电信号通过数据线传输给摄像单元，接通摄像单元的拍摄电路，所述数据线能够将摄像单元的数据传输给电脑。

优选地，所述摄像单元包含数据线，所述数据线连接电脑，所述数据线设置于所述中间空心结构中。

优选地，所述晶圆盒出货包装检验装置，还包括电脑，所述摄像单元包含第一无线数据发射接收装置，所述电脑包含第二无线数据发射接收装置，所述第一无线数据发射接收装置和所述第二无线数据发射接收装置无线连接用以传递电信号。

优选地，所述包装桌的材质为不锈钢，所述安装支架的材质为不锈钢。

与现有技术相比，本实用新型提供了晶圆盒出货包装检验装置，包括：包装桌，所述包装桌包含桌面；摄像单元，所述摄像单元用以检验所述晶圆盒；安装支架，所述安装支架装配至所述桌面上，所述安装支架连接所述摄像单元。据此，能够稳定的固定摄像单元，并且通过电子控制分离机械操作(点击按钮)和摄像单元，使得拍照不再抖动，并且能够及时将照片传输给电脑，从而能够实时检查照片是否符合要求，不需要在两处进行操作，减少了中间环节，提高了工作效率。

附图说明

图1a为本实用新型的晶圆盒出货包装检验装置的一实施例的结构示意图。

图1b为本实用新型的晶圆盒出货包装检验装置的又一实施例的结构示意图。

图2为本实用新型的晶圆盒出货包装检验装置的安装支架和摄像单元的示意图。

附图标记说明

1包装桌11桌面

111桌面孔12第一抽屉

13第二抽屉14桌腿

141调节脚15后挡板

151后挡板的下边缘16左挡板

161左挡板的下边缘17右挡板

171右挡板的下边缘18底挡板

181底挡板的前边缘19前端面

2摄像单元21数据线

22第一无线数据发射接收装置3安装支架

31安装底座311平面

312半球形壳体313安装孔

32伸缩杆组件321第一杆件

322第二杆件323套件

33支架顶部331旋转结构

332螺纹结构4晶圆盒(图中未示)

5地面6电脑

61界面按钮62第二无线数据发射接收装置

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型一较佳实施例做详细说明。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。

参阅图1a所示，为本实用新型的第一实施例。本实用新型提供了一种晶圆盒出货包装检验装置，包括：包装桌1、摄像单元2、安装支架3。包装桌1包含桌面11。摄像单元2用以检验晶圆盒4。安装支架3装配至桌面11上，安装支架3连接摄像单元2。据此，摄像单元2通过安装支架3固定在包装桌1的桌面11上，而，晶圆盒4(图中未示)放置在桌面11上，晶圆盒4和摄像单元之间的相对位置可以固定，而且安装支架3也可以起到固定、防抖的功效。

桌面11上设有桌面孔111。桌面孔111为圆形，桌面孔111矩形阵列排布。据此，桌面孔111设置是便于晶圆盒4的包装。

包装桌1还包含第一抽屉12和第二抽屉13、四根桌腿14、后挡板15、左挡板16、右挡板17、底挡板18。后挡板的下边缘151、左挡板的下边缘161、右挡板的下边缘171、底挡板18距离地面5有第一高度h1，底挡板的前边缘181距离包装桌1的前端面19有第一深度h2，据此，形成了一个半包围的空间，而且还预留了一定的调节高度h1的限定范围。第一抽屉12的宽度w1是第二抽屉13宽度w2的2.5～3倍，桌腿14具有能调节高度的调节脚141，所述调节脚141能够上下调节最大距离d1为10cm～20cm。据此，能够提供一个人机工程学合理的包装桌，并且还能够适应不同操作者的身高。

参阅图2所示，安装支架3包含：安装底座31、伸缩杆组件32、支架顶部33。

安装底座31形状是平面311上凸起半球形壳体312，在平面311上设有安装孔313，安装孔313数量为四，安装孔313穿设螺栓与桌面11连接。据此，安装底座31可以安装到桌面11上。

伸缩杆组件32与安装底座31连接。伸缩杆组件32包含第一杆件321、第二杆件322和套件323。第一杆件321和第二杆件322分别包含外螺纹段，套件323包含内螺纹段。第一杆件321和第二杆件322分别与所述套件323的两端，螺纹连接。据此，通过第一杆件321的外螺纹旋进套件323的内螺纹的深度、第二杆件322的外螺纹旋进套件323的内螺纹的深度，可以进行伸缩杆组件32总体长度(实际使用时，为杆的上部的高度)调节，用来适用不同规格的晶圆盒4。

支架顶部33包含旋转结构331和螺纹结构332。支架顶部33通过旋转结构331与伸缩杆组件32连接，螺纹结构332与摄像单元2连接。旋转结构331为球铰、或十字交叉复合铰链。据此，摄像单元2被支架顶部33带动，能够通过旋转结构331，绕伸缩杆组件32进行绕旋转运动，以达到最佳的拍摄晶圆盒4的角度。

安装底座31、第一杆件321、第二杆件322、套件323、旋转结构331连接形成贯穿的中间空心结构。安装底座31的半球形壳体312上开设有螺纹安装孔，据此，支架可以贯穿到空心的半球形壳体312中。而，第一杆件321、第二杆件322、套件323，都设置为管状物，三者连接在一起时，形成一个管状中空通道。而，旋转结构331开设进线孔，从而能够进入管状中空通道。

伸缩杆组件32能够伸缩的最大距离d2为10cm～20cm。据此，能够调整摄像单元2的高度，用以适应不同高度的晶圆盒4。

摄像单元2包含数据线21，数据线21连接电脑6，电脑6上设有界面按钮61，点击界面按钮61能够发出电信号通过数据线21传输给摄像单元2，接通摄像单元2的拍摄电路，数据线21能够将摄像单元2的数据传输给电脑6。数据线21可以是一根usb连接线。据此，数据线21可以传递图片的电子数据，也可以将电脑6发出的电信号传递给摄像单元2，摄像单元2控制拍摄的电路导通，就可以进行拍照。还可以传递调整焦距的电信号给摄像单元。能够实现电控摄像单元2拍摄晶圆盒4的功能，也能够实时观测到晶圆盒4的照片，如果不清晰完整，可以再拍摄一次，并且能够将照片数据存储到电脑6的存储单元里，从而完成了晶圆盒包装后的出货检验。

摄像单元2包含数据线21，数据线21连接电脑6，数据线21设置于中间空心结构中。数据线21穿过进线孔，穿过伸缩杆的中空管道，穿过安装底座的空壳，穿过桌面上的桌面孔，再从桌子的侧面挡板开一孔连接到电脑6上。

参阅图1b所示为本实用新型的第二实施例，与图1a所示的第一实施例的区别在于，摄像单元2与电脑6之间的数据连接方式不同，本实施例的数据连接方式是：晶圆盒出货包装检验装置，还包括电脑6，摄像单元2包含第一无线数据发射接收装置22，电脑6包含第二无线数据发射接收装置62，第一无线数据发射接收装置22和第二无线数据发射接收装置62无线连接用以传递电信号。据此，可以实现电脑6和摄像单元2的无线数据传输，由于不需要数据线，从而也不拘泥于中空管状结构，

第一实施例和第二实施例，在选用材料上：包装桌1的材质为不锈钢，安装支架3的材质为不锈钢。据此，可以防止锈蚀等污染成品的现象发生。

以上所述，即为本实用新型提供的晶圆盒出货包装检验装置的组成部件和连接关系。据此，能够在包装桌上稳定地固定摄像单元，并且在包装桌上包装完成晶圆盒后，通过点击电脑上的界面按钮，通过数据线或无线传输的方式将控制电信号传递给摄像单元，代替了现有技术中按快门的机械操作(而且是在摄像单元上的动作)，从而隔离了对摄像单元的动作，使得拍照不再抖动，并且能够通过数据线或者无线传输的方式及时将照片传输给电脑，从而能够实时检查照片是否符合要求，不需要在两处进行操作，减少了中间环节，提高了工作效率，也防止遗漏相关的出货照片。采用本实用新型的晶圆盒出货包装检验装置所采集到的出货状态的晶圆盒的照片，上面的标签比现有技术要清晰，而且，降低了检验人员的拍照技能要求。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限定本实用新型。对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。