物理量测定装置的制作方法

文档序号:26006281发布日期:2021-07-23 21:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种物理量测定装置,其具备热式空气流量传感器和防止该热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部被密闭的通气流路,所述物理量测定装置的特征在于,具备:

引线框,其具有安装有所述热式空气流量传感器的安装面;以及

流路形成构件,其配置在该引线框的与所述安装面相反的背面,

所述通气流路由以下部分形成:

第1贯通孔,其设置在所述引线框上,与所述空洞部连通;

第2贯通孔,其设置在所述引线框上,在所述安装面上开口;以及

连接流路,其划定在所述引线框和所述流路形成构件之间,连接所述第1贯通孔和所述第2贯通孔。

2.根据权利要求1所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述连接流路具有连接所述第1贯通孔和所述第2贯通孔的多个流路。

3.根据权利要求2所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述连接流路具有:在沿着所述第1贯通孔与所述第2贯通孔之间的最短路径的纵向上延伸的多个纵流路、和在横截该纵流路的横向上延伸并连接相邻的所述纵流路的多个横流路。

4.根据权利要求3所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述纵流路从所述连接流路的所述纵向的一端到另一端连续。

5.根据权利要求3所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述横流路从所述连接流路的所述横向的一端到另一端连续。

6.根据权利要求4所述的物理量测定装置,其特征在于,

在所述横向上相邻的所述横流路配置在沿所述纵向错开的位置上。

7.根据权利要求5所述的物理量测定装置,其特征在于,

在所述纵向上相邻的所述纵流路配置在沿所述横向错开的位置上。

8.根据权利要求1所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述连接流路由设置在所述引线框上的槽和封闭该槽的开口的所述流路形成构件划定。

9.根据权利要求8所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述流路形成构件具有树脂片和配置在该树脂片的表面上的粘接层。

10.根据权利要求1所述的物理量测定装置,其特征在于,

所述连接流路由设置在所述流路形成构件上的槽和封闭该槽的开口的所述引线框划定。


技术总结
本发明提供一种物理量测定装置,其相较于以往而言能够提高热式空气流量传感器的测定精度,并且能够防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部的密封。物理量测定装置(20)具备:引线框(208f),其具有安装有作为热式空气流量传感器的流量传感器(205)的安装面(f1);以及流路形成构件(209),其配置在与该安装面(f1)相反的引线框的背面(f2)上。通气流路(210)由以下部分形成:第1贯通孔(211),其设置在引线框上,与流量传感器(205)的空洞部(205c)连通;第2贯通孔(212),其设置在引线框上,在安装面(f1)上开口;以及连接流路(213),其划定在引线框和流路形成构件(209)之间,连接第1贯通孔(211)和第2贯通孔(212)。

技术研发人员:余语孝之;法丁法哈那·宾提哈里旦;阿部博幸;池尾聪;千叶雄太
受保护的技术使用者:日立安斯泰莫株式会社
技术研发日:2019.11.14
技术公布日:2021.07.23
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