用于制造用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件的方法与流程

文档序号:26240907发布日期:2021-08-10 16:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于制造传感器组件(110)的方法,所述传感器组件用于确定流体介质的至少一个压力,其中,所述方法包括以下步骤:

a)提供传感器组件坯件(112),其中,所述传感器组件坯件(112)包括至少一个压力接管(114),其中,所述压力接管(114)还具有至少一个压力变形元件(116),其中,所述压力变形元件(116)由至少一个适合感应的材料制成;

b)将至少一个玻璃元件(132)施加到所述压力变形元件(116)的表面(130)上;

c)借助至少一个高温计(140)感测所述压力变形元件(116)的至少一个温度;

d)借助至少一个感应器(146)在所述压力变形元件(116)中感应出电压,使得所述玻璃元件(132)熔化,并且在所述压力变形元件(116)上形成玻璃层(148);

e)将传感器元件(150)施加到所述玻璃层(148)上,使得在所述传感器元件(150)和所述玻璃层(148)之间形成材料锁合连接。

2.根据前述权利要求所述的方法,其中,在执行步骤b)之前,至少在所述压力变形元件(116)的至少一个表面(130)上产生至少一个表面型廓(152)。

3.根据前述权利要求所述的方法,其中,所述表面型廓(152)是选自以下组中的至少一个型廓:微米型廓、纳米型廓。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述表面型廓(152)至少部分地是基本上周期性的表面型廓。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述方法还包括将所述压力接管引入到可冷却的接收设备(134)中,并且借助所述可冷却的接收设备(134)来冷却所述压力接管(114)。

6.根据前述权利要求所述的方法,其中,借助所述可冷却的接收设备(134)将所述压力接管(114)的下端部冷却到5℃至25℃的温度。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述玻璃元件(132)包括具有5μm至100μm厚度的柱形基本形状。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,步骤d)包括加热阶段、保持阶段和冷却阶段,其中,所述保持阶段在2s至50s的时间段内进行。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,在步骤d)中,将所述压力变形元件(116)加热到200℃至900℃的温度。

10.一种用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件(110),所述传感器组件根据前述权利要求中任一项所述的方法制造。


技术总结
本发明提出一种用于制造用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件(110)的方法。该方法包括以下步骤:a)提供传感器组件坯件(112),其中,所述传感器组件坯件(112)包括至少一个压力接管(114),其中,所述压力接管(114)还具有至少一个压力变形元件(116),其中,所述压力变形元件(116)由至少一个适合感应的材料制成;b)在所述压力变形元件(116)的表面(130)上施加至少一个玻璃元件(132);c)借助至少一个高温计(140)感测所述压力变形元件(116)的至少一个温度;d)借助至少一个感应器(146)在所述压力变形元件(116)中感应出电压,使得所述玻璃元件(132)熔化,并且在所述压力变形元件(116)上形成玻璃层(148);e)将传感器元件(150)施加到玻璃层(148)上,使得在所述传感器元件(150)和所述玻璃层(148)之间形成材料锁合连接。

技术研发人员:C·戈尔德哈恩;R·沃尔夫;R·文克;T·施塔克;M·赖因哈特;L·贝特左尔德
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2019.10.22
技术公布日:2021.08.10
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