1.一种用于制造传感器组件(110)的方法,所述传感器组件用于确定流体介质的至少一个压力,其中,所述方法包括以下步骤:
a)提供传感器组件坯件(112),其中,所述传感器组件坯件(112)包括至少一个压力接管(114),其中,所述压力接管(114)还具有至少一个压力变形元件(116),其中,所述压力变形元件(116)由至少一个适合感应的材料制成;
b)将至少一个玻璃元件(132)施加到所述压力变形元件(116)的表面(130)上;
c)借助至少一个高温计(140)感测所述压力变形元件(116)的至少一个温度;
d)借助至少一个感应器(146)在所述压力变形元件(116)中感应出电压,使得所述玻璃元件(132)熔化,并且在所述压力变形元件(116)上形成玻璃层(148);
e)将传感器元件(150)施加到所述玻璃层(148)上,使得在所述传感器元件(150)和所述玻璃层(148)之间形成材料锁合连接。
2.根据前述权利要求所述的方法,其中,在执行步骤b)之前,至少在所述压力变形元件(116)的至少一个表面(130)上产生至少一个表面型廓(152)。
3.根据前述权利要求所述的方法,其中,所述表面型廓(152)是选自以下组中的至少一个型廓:微米型廓、纳米型廓。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述表面型廓(152)至少部分地是基本上周期性的表面型廓。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述方法还包括将所述压力接管引入到可冷却的接收设备(134)中,并且借助所述可冷却的接收设备(134)来冷却所述压力接管(114)。
6.根据前述权利要求所述的方法,其中,借助所述可冷却的接收设备(134)将所述压力接管(114)的下端部冷却到5℃至25℃的温度。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述玻璃元件(132)包括具有5μm至100μm厚度的柱形基本形状。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,步骤d)包括加热阶段、保持阶段和冷却阶段,其中,所述保持阶段在2s至50s的时间段内进行。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,在步骤d)中,将所述压力变形元件(116)加热到200℃至900℃的温度。
10.一种用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件(110),所述传感器组件根据前述权利要求中任一项所述的方法制造。