1.一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:包括绝缘基底层(1),所述绝缘基底层(1)的上方设置有带有孔洞(5)的第一贵金属薄膜层(2),所述第一贵金属薄膜层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有第二贵金属薄膜层(4)。
2.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述多个孔洞(5)为周期排列。
3.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述孔洞(5)底部设置有贵金属颗粒层(6)。
4.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)的高度高于第一贵金属薄膜层(2)的厚度。
5.如权利要求4所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述孔洞(5)的半径为100nm~1000nm。
6.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)为圆柱形。
7.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)为圆锥形。
8.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述第一贵金属薄膜层(2)、第二贵金属薄膜层(4)均是由金或银制成。
9.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述金属氧化物层(3)是氧化铁(fe2o3)、氧化铜(cuo)、氧化锌(zno)、四氧化三钴(co3o4)、氧化镍(nio)、氧化钛(tio2)、氧化钼(moo3)、氧化锡(sno2)中的一种或多种组成。