一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器的制作方法

文档序号:21090235发布日期:2020-06-12 17:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:包括绝缘基底层(1),所述绝缘基底层(1)的上方设置有带有孔洞(5)的第一贵金属薄膜层(2),所述第一贵金属薄膜层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有第二贵金属薄膜层(4)。

2.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述多个孔洞(5)为周期排列。

3.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述孔洞(5)底部设置有贵金属颗粒层(6)。

4.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)的高度高于第一贵金属薄膜层(2)的厚度。

5.如权利要求4所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述孔洞(5)的半径为100nm~1000nm。

6.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)为圆柱形。

7.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒层(6)为圆锥形。

8.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述第一贵金属薄膜层(2)、第二贵金属薄膜层(4)均是由金或银制成。

9.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述金属氧化物层(3)是氧化铁(fe2o3)、氧化铜(cuo)、氧化锌(zno)、四氧化三钴(co3o4)、氧化镍(nio)、氧化钛(tio2)、氧化钼(moo3)、氧化锡(sno2)中的一种或多种组成。


技术总结
本发明涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器,包括绝缘基底层,所述绝缘基底层的上方设置有带有孔洞的第一贵金属薄膜层,所述第一贵金属薄膜层的上方设置有金属氧化物层,所述金属氧化物层的上设置有第二贵金属薄膜层;与传统的测量金属氧化物水平方向的电阻相比,该基于光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器测量金属氧化物竖直方向的电阻变化,相对来说电阻变化更大,因此,该气体传感器具有结构简单、气体探测灵敏度高的优点。

技术研发人员:刘黎明;迟锋;易子川;王红航;杨健君
受保护的技术使用者:电子科技大学中山学院
技术研发日:2020.03.03
技术公布日:2020.06.12
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