1.一种压力传感器系统,包括:
压力传感器管芯(200),具有由框架(220)支撑的膜(210)
封装件(100),其具有顶表面和位于顶表面中的沟槽(110),其中框架(22)的一部分(222)位于沟槽(110)中;和
位于沟槽(110)中的第一材料(400),其中第一材料(400)位于框架(224)的底部和沟槽(112)的底表面之间,并且其中第一材料(400)围绕框架(222)的底部。
2.根据权利要求1所述的压力传感器系统,还包括穿过所述封装件(100)并在所述膜(210)下方形成开口(624)的通道(610)。
3.一种压力传感器系统,包括:
压力传感器管芯(200),其具有由框架(220)支撑的膜(210);
封装件(100),其具有顶表面和位于顶表面中的沟槽(110),其中框架(220)的一部分位于沟槽(110)中;
位于沟槽(110)中的第一材料(400),其中第一材料(400)位于框架(224)的底部和沟槽(112)的底表面之间;和
位于沟槽(110)中和第一材料(400)上的第二材料(500),其中第二材料(500)围绕框架(222)的底部。
4.根据权利要求3所述的压力传感器系统,还包括穿过所述封装件(100)并在所述膜(210)下方形成开口(624)的通道(610)。
5.根据权利要求3所述的压力传感器系统,其中所述第一材料(400)和所述第二材料(500)是粘合剂。
6.根据权利要求3所述的压力传感器系统,其中所述第一材料(400)和所述第二材料(500)包括相同的材料。
7.根据权利要求3所述的压力传感器系统,其中所述第二材料(500)是硅树脂。
8.一种压力传感器系统,包括:
具有中心通道的管(600);
围绕管(600)形成的基板(100),基板(100)在顶侧具有沟槽(110),使得管(600)的顶部暴露在沟槽(110)中,并且管(600)的中心通道(610)形成穿过基板(620)的通道的至少一部分;
压力传感器管芯(200),其具有由框架(220)支撑的膜(210),其中膜(210)和框架(220)在压力传感器管芯(200)中限定背侧腔(230),并且其中框架(220)的一部分位于沟槽(110)中,使得管(600)的顶部位于压力传感器管芯(200)的背侧腔(230)中;
位于沟槽(110)中的第一材料(400),其中第一材料(400)位于框架(224)的底部和沟槽(112)的底表面之间;和
位于沟槽(110)中和第一材料(400)上的第二材料(500),其中第二材料(500)围绕框架(222)的底部。
9.根据权利要求8所述的压力传感器系统,其中所述基板(100)通过注射成型形成。
10.根据权利要求8所述的压力传感器系统,其中所述第一材料(400)和所述第二材料(500)是一种或多种粘合剂。