技术特征：
1.一种测试机台的校准方法，其特征在于，包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。2.根据权利要求1所述的测试机台的校准方法，其特征在于，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：对所述测试机台的测试源测试的待测器件的个数进行计数。3.根据权利要求2所述的测试机台的校准方法，其特征在于，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：判断初始的计数值是否为零，若所述初始的计数值不为零，对所述初始的计数值进行清零。4.根据权利要求3所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值之前还包括：判断当前的计数值是否大于第一阈值，若当前的计数值不大于所述第一阈值，继续进行抽样测试。5.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算每个待测器件对应的标准值和测试值的差值，获得多个差值；计算所述多个差值的均值。6.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算所述多个标准值的均值；计算所述多个测试值的均值；计算所述多个标准值的均值与所述多个测试值的均值的差值。7.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其特征在于，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准包括：断开所述标准测试源，由所述校准系数对所述测试机台的测试源测试的所述待测器件输出参数的测试值进行校准。8.根据权利要求7所述的测试机台的校准方法，其特征在于，由所述校准系数对所述测试机台的测试源测试的所述待测器件输出参数的测试值进行校准之后还包括：判断当前的计数值是否大于第三阈值，若当前的计数值不大于所述第三阈值，由所述测试机台的测试源根据所述校准系数测试下一所述待测器件的输出参数；若当前的计数值大于所述第三阈值，所述计数值清零，更新所述校准系数。9.根据权利要求8所述的测试机台的校准方法，其特征在于，所述第三阈值大于所述第一阈值。
10.根据权利要求1所述的测试机台的校准方法，其特征在于，根据所述差值的均值获得校准系数之前还包括：计算所述多个标准值的均值；判断所述差值的均值是否大于所述多个标准值的均值与所述第二阈值的乘积，若所述差值的均值大于所述多个标准值的均值与所述第二阈值的乘积，发出故障警报，对所述测试机台进行故障检修；故障检修后，重新对所述测试机台进行校准。11.一种测试机台的校准系统，其特征在于，包括：测试机台，用于逐个对多个待测器件进行电性测试，以获得对应所述多个待测器件的输出参数的多个测试值；标准测试源，与所述测试机台电性连接，用于在所述测试机台对所述多个待测器件进行电性测试的同时，测试获得对应所述多个待测器件的输出参数的多个标准值，其中，所述测试机台还用于根据所述多个测试值和所述多个标准值获得校准系数。12.根据权利要求11所述的校准系统，其特征在于，所述标准测试源为高精度电压表。
技术总结
本发明公开了一种测试机台的校准方法及校准系统，校准方法包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件的输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。该校准方法能够实现测试机台的快速精确校准，提高了测试效率。试效率。试效率。
技术研发人员：孙宏雨
受保护的技术使用者：圣邦微电子（北京）股份有限公司
技术研发日：2020.04.21
技术公布日：2021/10/22