1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含：
提供带电粒子射束以及样品；
在多个样品位置处使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；
响应于在所述多个样品位置上扫描的所述射束，使用第一检测器检测来自所述样品的第一类型的发射；
使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，在所述多个样品位置处将多个相互不同的相位分配给所述样品；
由控制单元提供所述样品的数据表示，所述数据表示至少含有关于所述多个样品位置和所述相位的信息；
其特征在于所述方法包含以下步骤：
使用与至少一个先前分配的相位及其相应的样品位置有关的信息，为所述多个样品位置中的至少另一个样品位置建立估计相位；和
将所述估计相位分配给所述另外的样品位置。
2.根据权利要求1所述的方法，其包含将相位与测量和/或预期的所述第一类型的发射相关联的步骤。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述建立步骤包含使用机器学习估计器。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述机器学习估计器包含选自包含以下的组的一个或多个估计器：非负矩阵分解（nmf）、奇异值分解（svd）、独立分量分析（ica）、潜在狄利克雷分配（lda）和k-均值。
5.根据权利要求1至4所述的方法，其中测量样品位置的数量和估计样品位置的数量之间的比率在10:1至1:10范围内，特别是其中所述比率在1:2至1:10范围内。
6.根据权利要求1至5所述的方法，其中与所述相应的样品位置处的所述至少一个先前分配的相位有关的所述信息包含在所述样品位置处检测到的所述第一类型的发射的光谱信息。
7.根据权利要求1至6所述的方法，其中所述第一检测器为eds检测器。
8.根据权利要求1至7所述的方法，其包含以下步骤：
响应于在所述多个样品位置上扫描的所述射束，使用第二检测器检测来自所述样品的第二类型的发射；
其中利用所述检测到的所述第二类型的发射来为所述多个样品位置中的所述至少另一个样品位置建立所述估计相位。
9.根据权利要求1至7和/或权利要求8所述的方法，其中利用检测到的所述第一类型的发射和/或检测到的所述第二类型的发射来将所述样品的扫描区域的至少一部分分成多个段。
10.根据权利要求9所述的方法，其中利用所述段来为所述多个样品位置中的至少另一个样品位置建立所述估计相位。
11.一种带电粒子显微镜，其用于使用根据前述权利要求中一项或多项所述的方法检查样品，并且包含：
光学柱，所述光学柱包括带电粒子源、最终探针形成透镜和扫描仪，用于将从所述带电粒子源发射的带电粒子射束聚焦到标本上；
标本台，所述标本台位于所述最终探针形成透镜下游并被布置用于固持所述标本；
第一检测器，所述第一检测器响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射，检测源自所述标本的第一类型的发射；
控制单元和处理设备，所述控制单元和处理设备连接到所述第一检测器；
其中所述带电粒子显微镜被布置用于执行根据前述权利要求中一项或多项，特别是根据权利要求1至7所述的方法。
12.根据权利要求11所述的带电粒子显微镜，其中所述带电粒子显微镜包含第二检测器，其响应于在所述多个样品位置上扫描的所述射束检测来自所述样品的第二类型的发射，并且其中所述带电粒子显微镜被布置用于执行根据前述权利要求1至10中一项或多项，特别是根据权利要求8至10中一项或多项所述的方法。