1.一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移测量计算方法，其特征在于，在扫描电子显微镜工作时，利用三个激光多普勒测振探头x1、x2和x3向电子枪灯丝枪尖发射激光，测量电子枪灯丝的振动位移，利用振动位移测量结果，计算电子枪灯丝的实际振动位移。
2.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法，其特征在于，所述的三个激光多普勒测振探头x1、x2和x3，其中x1和x2与电子枪灯丝枪尖端面放置在同一水平面内，测振探头x3与x2和电子枪灯丝枪尖的中心轴线在同一竖直面内。
3.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)电子枪灯丝尚未开始工作时，使测振探头x1、x2和x3发射的激光汇聚于电子枪灯丝枪尖的端面圆心位置，并设定此时的位移为零；
2)电子枪灯丝工作时，测振探头x1、x2和x3测量电子枪灯丝枪尖沿三个方向的振动位移；
3)利用测振探头x1和x2的测量结果计算电子枪灯丝枪尖在水平面的实际位移；
4)利用测振探头x1、x2和x3的测量结果计算电子枪灯丝枪尖在竖直方向的实际位移。