技术总结
一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法，包括基底，基底模面上设有对氢气敏感的测氢薄膜电阻、对温度敏感的测温薄膜电阻以及加热薄膜电阻；测温薄膜电阻和加热薄膜电阻为具有同一圆心的圆环形结构，测温薄膜电阻上设有一个断开的第一缺口形成第一测温终端和第二测温终端，加热薄膜电阻上设有一个断开的第二缺口形成第一加热终端和第二加热终端，测氢薄膜电阻设置测温薄膜电阻和加热薄膜电阻当中测氢薄膜电阻为并线双螺旋结构。本发明的薄膜氢气传感器相对结构简单，且制作工艺简单，周期短，成本可控，稳定可靠性强，可满足在氢燃料电池汽车应用中的成本要求。电池汽车应用中的成本要求。电池汽车应用中的成本要求。
技术研发人员：汪献忠 李建国 张志辉 赫树开
受保护的技术使用者：河南省智仪系统工程有限公司
技术研发日：2020.12.24
技术公布日：2021/4/13