用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法与流程

用于晶圆测试的map图偏移检测方法
技术领域
1.本发明涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种用于晶圆测试的map图偏移检测方法。


背景技术：

2.目前，在对晶圆进行测试时，会为测试的晶圆建立map图，map图的各坐标点分别对应晶圆的各晶粒，map图的各坐标点根据测试结果会分别生成相应的bin项，对于一些测试失败的晶粒，在对应的坐标点则会生成失败bin项(failed bin项)。如果map图向某一个方向发生偏移，则在map图的设定坐标区域的对应位置会大量出现失败bin项。如图1所示，map图因为意外向下偏移了两个单位(由区域1和区域2偏移至了区域2和区域3)，导致对应进入系统中的资料与该产品原标准的衬底原始坐标相比较，发生了偏移，相应的，区域1中的坐标点的所有bin项均为设定的失败bin项。
3.因此，有必要提供一种能够用于晶圆测试的map图偏移检测方法，能够检测出map图出现的偏移情况。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种用于晶圆测试的map图偏移检测方法，能够检测出map图出现的偏移情况。
5.为实现上述目的，本发明提供了一种用于晶圆测试的map图偏移检测方法，其包括：
6.获取晶圆的map图；
7.从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项；
8.计算所有bin项中含有的失败bin项的比例；
9.判断所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定map图发生偏移。
10.可选地，所述预设基准值根据map图偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例建立。
11.可选地，所述预设基准值根据map图在各方向偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例中的最小值建立。
12.可选地，所述map图偏移检测方法还建立有map图偏移两个或以上单位时的预设比例值，所述预设比例值根据所述设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例建立。
13.可选地，在判断map图发生偏移之后，还包括发出提示信息。
14.为实现上述目的，本发明还提供了一种用于晶圆测试的map图偏移检测系统，包括：
15.第一获取模块，用于获取晶圆的map图；
16.第二获取模块，用于从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项；
17.计算模块，用于计算所有bin项中含有的失败bin项的比例；
18.判断模块，用于判断所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定map图发生偏移。
19.为实现上述目的，本发明还提供了一种用于晶圆测试的map图偏移检测装置，包括：
20.一个或多个处理器；
21.一个或多个存储器，用于存储一个或多个程序，当一个或多个所述程序被所述处理器执行，使得所述处理器实现如上所述的用于晶圆测试的map图偏移检测方法。
22.为实现上述目的，本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，所述程序被处理器执行时实现如上所述的用于晶圆测试的map图偏移检测方法。
23.与现有技术相比，本发明首先从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项，然后计算所有bin项中含有的失败bin项的比例，并根据所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值来判定map图是否发生偏移；从而使得本发明map图偏移检测方法能够及时发现map图出现偏移的情况。
附图说明
24.图1是map图出现偏移的示意图。
25.图2是本发明实施例用于晶圆测试的map图偏移检测方法的流程图。
26.图3是本发明实施例用于晶圆测试的map图偏移检测系统的示意框图。
27.图4是本发明实施例用于晶圆测试的map图偏移检测装置的示意框图。
具体实施方式
28.为了详细说明本发明的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
29.实施例一
30.请参阅图1，本发明公开了一种用于晶圆测试的map图偏移检测方法，该方法包括如下步骤：
31.101、获取晶圆的map图；
32.102、从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项；
33.103、计算所有bin项中含有的失败bin项的比例；
34.104、判断所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则进入步骤105；
35.105、判定map图发生偏移。
36.需要说明的是，本发明中“设定坐标区域”为map图没发生偏移的情况下所对应的坐标区域；换句话说，map图没有发生偏移的情况下，map图的所有坐标点构成设定坐标区域。
37.另外，本发明之所以以“最外围n圈”来作为比例计算的基础，是因为如果以设定坐标区域所有圈来进行计算的话，由于坐标点的基数太大，在正常map图没有偏移的情况下，存在的所有失败bin项的数量也有可能与由于map图偏移而带来的失败bin项的数量相当，甚至超过由于map图偏移而带来的失败bin项的数量。因此，本发明以“最外围n圈”为基础进行计算，“最外围n圈”的选择要满足map图在不同方向偏移一个单位时，因为偏移所造成的失败bin项的数量大于正常没有偏移的情况下失败bin项的数量的经验值上限(根据绝大部分情况下的经验；极少数失败bin项的数量明显偏高的情况除外)。
38.通过上述技术手段，使得本发明map图偏移检测方法能够及时发现map图出现偏移的情况。相应的，可以将当片产品状态变为hold状态，并提示产品工程师及时去检查。
39.下面结合图1对本发明进行进一步的说明：
40.在图1中，map图因为意外向下偏移了两个单位(由区域1和区域2偏移至了区域2和区域3)，导致对应进入系统中的资料与该产品原标准的衬底原始坐标相比较，发生了偏移，相应的，区域1中的坐标点的所有bin项均为设定的失败bin项。由于区域1中的坐标点的所有bin项均为失败bin项，这样就会导致设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中为失败bin项的比例高于正常情况，会超过设定的预设基准值，从而可以据此判断出map图发生偏移。
41.在具体的示例中，取map图的设定坐标区域最外围5圈的所有bin项来进行比例计算。当然，并不限于此，比如，根据不同的情况，也可以取设定坐标区域最外围2圈或3圈的所有bin项来进行比例计算，也不排除只取最外围的1圈的可能。
42.具体地，预设基准值根据map图偏移一个单位时，设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例建立。借由该技术手段，只要map图偏移一个单位，就可以及时发现。
43.进一步地，预设基准值根据map图在各方向偏移一个单位时，设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例中的最小值建立。在某些情况下，可能会出现map图往不同方向偏移一个单位时，设定坐标区域的与当前map图对应区域不重合的区域的坐标点的数量不同，而预设基准值基于设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的失败bin项的比例中的最小值建立，使得map图任何方向上的偏移都能被检测到。
44.在一些实施方式中，map图偏移检测方法还建立有map图偏移两个或以上单位时的预设比例值，预设比例值根据设定坐标区域最外围n圈内的坐标点的所有bin项中含有的因偏移而产生的失败bin项的比例建立。通过该技术手段，可以对map图偏移的程度进行基本的判断。
45.在一些实施方式中，在判断map图发生偏移之后，还包括发出提示信息，以提示产品工程师及时去检查。
46.实施例二
47.本发明公开了一种用于晶圆测试的map图偏移检测系统，包括：
48.第一获取模块201，用于获取晶圆的map图；
49.第二获取模块202，用于从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项；
50.计算模块203，用于计算所有bin项中含有的失败bin项的比例；
51.判断模块204，用于判断所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定map图发生偏移。
52.通过上述技术手段，使得本发明map图偏移检测系统能够及时发现map图出现偏移的情况。相应的，可以将当片产品状态变为hold状态，并提示产品工程师及时去检查。
53.实施例三
54.本发明公开了一种用于晶圆测试的map图偏移检测装置，包括：
55.一个或多个处理器30；
56.一个或多个存储器40，用于存储一个或多个程序，当一个或多个程序被处理器30执行，使得处理器30实现如上的用于晶圆测试的map图偏移检测方法。
57.实施例四
58.本发明公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，程序被处理器执行时实现如上的用于晶圆测试的map图偏移检测方法。
59.综上，本发明首先从map图的设定坐标区域获取其最外围n圈内的坐标点的所有bin项，然后计算所有bin项中含有的失败bin项的比例，并根据所有bin项中含有的失败bin项的比例是否达到或超过预设基准值来判定map图是否发生偏移；从而使得本发明map图偏移检测方法能够及时发现map图出现偏移的情况。
60.以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，均属于本发明所涵盖的范围。