一种检测硅烷气体的检测装置的制作方法

[0001]
本实用新型属于硅烷气体检测设备技术领域，具体涉及一种检测硅烷气体的检测装置。


背景技术：

[0002]
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，目前应用最多地是甲硅烷，一般把甲硅烷简称作硅烷，硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体，硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物，硅烷的高科技应用还在不断出现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础，硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称，硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，因此需要对其进行检测，现有硅烷气体的检测装置安全性低，检测数据单一，不能对检测后的硅烷气体进行彻底的水解反应，甚至直接排放至空气中，对环境造成巨大的破坏。


技术实现要素：

[0003]
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种检测硅烷气体的检测装置，具有使用简单方便，装置主体为整个检测装置提供密闭的检测环境，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，碱液箱和收集桶对硅烷气体进行双重水解反应，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害的特点。
[0004]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体，所述装置主体的下方安装有固定底座，所述装置主体的一侧安装有进气管，所述进气管的一侧安装有转换管，所述转换管的一侧安装有控制阀门，所述转换管的一侧安装有流量计，所述转换管的一侧安装有输气管，所述输气管的一侧安装有分流管，所述装置主体的内侧安装有固定槽，所述固定槽的上方安装有检测仪，所述检测仪的一侧安装有集气管，所述集气管的一侧安装有出气管，所述装置主体的内侧安装有风扇，所述装置主体的上方安装有碱液箱，所述碱液箱的上方安装有碱液箱上盖，所述装置主体的内侧安装有喷淋管，所述喷淋管的下方安装有喷淋头，所述出气管的一侧安装有收集桶,所述装置主体的一侧安装有控制开关。
[0005]
优选的，所述装置主体为长方形主体，安装于固定底座的上方位置，其组成的外壳均为防爆外壳；装置主体为整个检测装置提供密闭的检测环境，避免因硅烷气体与空气直接接触发生燃烧和爆炸，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性。
[0006]
优选的，所述流量计为气体质量流量计，安装于转换管中；流量计用于测量转换管里面硅烷气体的体积流量，进而可以通过控制阀门调整进入输气管的硅烷气体流量，从而保障检测结果的准确性，气体质量流量计不受温度与压力变动的影响，其显示读数直接指示气体的体积流量，在常压、高压或负压的条件下均可选用，适用的量程范围宽，抗介质腐蚀的能力强，计量精度高。
[0007]
优选的，所述分流管为圆柱形管道，共有三根，平行安装于输气管与检测仪的中间位置；分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性。
[0008]
优选的，所述检测仪共有三个，安装于固定槽的上方位置，且均与控制开关电性连接。
[0009]
优选的，所述固定槽为长方形槽体，安装于装置主体的底部上方位置，且其内侧有三个形状相同的内槽；固定槽用于对检测仪的固定和保护。
[0010]
优选的，所述出气管为圆柱形管道，一端与集气管固定连接，另一端伸入收集桶的内部；出气管用于将检测后的硅烷气体输送出检测装置，避免在检测装置内堆积而发生燃烧和爆炸，提高检测装置使用的安全性。
[0011]
优选的，所述风扇共有两个，安装于装置主体的后侧上方位置，且与控制开关电性连接；风扇不仅可以降低检测装置的内部温度，而且可以促进硅烷气体的流动，提高检测装置使用的安全性。
[0012]
优选的，所述碱液箱为长方形箱体，安装于装置主体的内侧、喷淋管的上方位置；碱液箱用来盛放低浓度的碱液，硅烷气体对碱十分敏感,溶液有微量的碱变可引起硅烷迅速水解,生成硅酸和h2，进而完成对硅烷气体的第一步水解，由于硅烷气体有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，因此不能直接排放到空气中，避免对环境的危害。
[0013]
优选的，所述收集桶位于出气管的下方位置，内有去离子水；收集桶通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。
[0014]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：装置主体为整个检测装置提供密闭的检测环境，避免因硅烷气体与空气直接接触发生燃烧和爆炸，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性，流量计用于测量转换管里面硅烷气体的体积流量，进而可以通过控制阀门调整进入输气管的硅烷气体流量，从而保障检测结果的准确性，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，出气管用于将检测后的硅烷气体输送出检测装置，避免在检测装置内堆积而发生燃烧和爆炸，提高检测装置使用的安全性，风扇不仅可以降低检测装置的内部温度，而且可以促进硅烷气体的流动，提高检测装置使用的安全性，碱液箱用来盛放低浓度的碱液，硅烷气体对碱十分敏感,溶液有微量的碱变可引起硅烷迅速水解,生成硅酸和h2，进而完成对硅烷气体的第一步水解，由于硅烷气体有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，因此不能直接排放到空气中，避免对环境的危害，收集桶通过去离子水与硅
烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。
[0015]
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
[0016]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
[0017]
图1为本实用新型的剖面结构示意图；
[0018]
图2为本实用新型的俯视剖面结构示意图；
[0019]
图中：1、装置主体；2、固定底座；3、进气管；4、转换管；5、控制阀门；6、流量计；7、输气管；8、分流管；9、检测仪；10、固定槽；11、集气管；12、出气管；13、风扇；14、碱液箱；15、碱液箱上盖；16、喷淋管；17、喷淋头；18、收集桶；19、控制开关 。
具体实施方式
[0020]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0021]
实施例1
[0022]
请参阅图1-图2，本实用新型提供以下技术方案：一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体1，所述装置主体1的下方安装有固定底座2，所述装置主体1的一侧安装有进气管3，所述进气管3的一侧安装有转换管4，所述转换管4的一侧安装有控制阀门5，所述转换管4的一侧安装有流量计6，所述转换管4的一侧安装有输气管7，所述输气管7的一侧安装有分流管8，所述装置主体1的内侧安装有固定槽10，所述固定槽10的上方安装有检测仪9，所述检测仪9的一侧安装有集气管11，所述集气管11的一侧安装有出气管12，所述装置主体1的内侧安装有风扇13，所述装置主体1的上方安装有碱液箱14，所述碱液箱14的上方安装有碱液箱上盖15，所述装置主体1的内侧安装有喷淋管16，所述喷淋管16的下方安装有喷淋头17，所述出气管12的一侧安装有收集桶18,所述装置主体1的一侧安装有控制开关19。
[0023]
具体的，所述装置主体1为长方形主体，安装于固定底座2的上方位置，其组成的外壳均为防爆外壳；装置主体1为整个检测装置提供密闭的检测环境，避免因硅烷气体与空气直接接触发生燃烧和爆炸，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性。
[0024]
具体的，所述流量计6为气体质量流量计，安装于转换管4中；流量计6用于测量转换管4里面硅烷气体的体积流量，进而可以通过控制阀门5调整进入输气管7的硅烷气体流量，从而保障检测结果的准确性，气体质量流量计不受温度与压力变动的影响，其显示读数直接指示气体的体积流量，在常压、高压或负压的条件下均可选用，适用的量程范围宽，抗介质腐蚀的能力强，计量精度高。
[0025]
具体的，所述分流管8为圆柱形管道，共有三根，平行安装于输气管7与检测仪9的中间位置；分流管8用于将输气管7内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪9进行检测，增加
检测数据的多样性和精准性。
[0026]
具体的，所述检测仪9共有三个，安装于固定槽10的上方位置，且均与控制开关19电性连接。
[0027]
具体的，所述固定槽10为长方形槽体，安装于装置主体1的底部上方位置，且其内侧有三个形状相同的内槽；固定槽10用于对检测仪9的固定和保护。
[0028]
具体的，所述出气管12为圆柱形管道，一端与集气管11固定连接，另一端伸入收集桶18的内部；出气管12用于将检测后的硅烷气体输送出检测装置，避免在检测装置内堆积而发生燃烧和爆炸，提高检测装置使用的安全性。
[0029]
具体的，所述风扇13共有两个，安装于装置主体1的后侧上方位置，且与控制开关19电性连接；风扇13不仅可以降低检测装置的内部温度，而且可以促进硅烷气体的流动，提高检测装置使用的安全性。
[0030]
具体的，所述碱液箱14为长方形箱体，安装于装置主体1的内侧、喷淋管16的上方位置；碱液箱14用来盛放低浓度的碱液，硅烷气体对碱十分敏感,溶液有微量的碱变可引起硅烷迅速水解,生成硅酸和h2，进而完成对硅烷气体的第一步水解，由于硅烷气体有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，因此不能直接排放到空气中，避免对环境的危害。
[0031]
具体的，所述收集桶18位于出气管12的下方位置，内有去离子水；收集桶18通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。
[0032]
本发明的工作原理及使用流程：使用时，先打开碱液箱上盖15，将低浓度的碱液加入碱液箱14内，然后将去离子水加入收集桶18内，并将收集桶18放置于出气管12的下方位置，然后开启控制阀门5，硅烷气体先通过进气管3进入转换管4内，然后流量计6会对其转换管4里面硅烷气体的进行体积流量，若体积流量过大或过小，可以通过控制阀门5调整进入输气管7的硅烷气体流量，然后开启控制开关19，风扇13开始降低检测装置的内部温度，促进硅烷气体的流动，分流管8用于将输气管7内的硅烷气体进行气体分流，避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，分流后的硅烷气体流进相应的检测仪9进行检测，出气管12用于将检测后的硅烷气体输送出检测装置，在此过程中，喷淋头17将从碱液箱14流入喷淋管16的低浓度碱液喷出，对硅烷气体进行第一步水解，然后检测后的硅烷气体经出气管12流入收集桶18内，收集桶18通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。
[0033]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型地优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。