1.一种大数值孔径激光镜头成像检验系统,包括待测激光镜头(1),其特征在于:还包括依次间隔设置的单模单色光源(2)、光纤准直镜(3)、标准物镜(4)、标准管镜(5)和面阵ccd元件(6),所述单模单色光源(2)和光纤准直镜(3)构成平行光系统,待测激光镜头(1)沿光轴滑动安装在光纤准直镜(3)和标准物镜(4)之间,用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑(7),且所述焦点光斑(7)的位置与标准物镜(4)的焦点重合,所述标准物镜(4)和标准管镜(5)组成共轭成像系统,用于将焦点光斑(7)放大成聚焦光束像(8)并投影到所述面阵ccd元件(6)上,所述面阵ccd元件(6)的位置与标准管镜(5)的焦点重合,所述共轭成像系统的放大倍率为10x-100x,待测激光镜头(1)的数值孔径na小于等于标准物镜(4)的数值孔径na。
2.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述光纤准直镜(3)与待测激光镜头(1)之间设置有光阑(9)。
3.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)、标准物镜(4)、标准管镜(5)配备有多种规格,能进行换装。
4.根据权利要求1—3中任一项所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)选用光纤芯径小于10um的单模光纤光源,其光束质量因子m2小于1.5。
5.根据权利要求4所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)的波长带宽小于10nm;波长为1064nm,或为多个波长的组合,能切换输出波长。
6.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述光纤准直镜(3)的有效焦距为200mm;标准物镜(4)的有效焦距为4mm,标准管镜(5)的有效焦距为200mm,组成放大倍率为50x的共轭成像系统;面阵ccd元件(6)的单元像素尺寸为2um,聚焦光束像(8)的几何尺寸为面阵ccd元件(6)的单元像素尺寸的50倍。
7.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述待测激光镜头(1)的数值孔径na为0.5,标准物镜(4)的数值孔径na为0.65。