一种大数值孔径激光镜头成像检验系统的制作方法

文档序号:23445296发布日期:2020-12-29 09:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大数值孔径激光镜头成像检验系统,包括待测激光镜头(1),其特征在于:还包括依次间隔设置的单模单色光源(2)、光纤准直镜(3)、标准物镜(4)、标准管镜(5)和面阵ccd元件(6),所述单模单色光源(2)和光纤准直镜(3)构成平行光系统,待测激光镜头(1)沿光轴滑动安装在光纤准直镜(3)和标准物镜(4)之间,用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑(7),且所述焦点光斑(7)的位置与标准物镜(4)的焦点重合,所述标准物镜(4)和标准管镜(5)组成共轭成像系统,用于将焦点光斑(7)放大成聚焦光束像(8)并投影到所述面阵ccd元件(6)上,所述面阵ccd元件(6)的位置与标准管镜(5)的焦点重合,所述共轭成像系统的放大倍率为10x-100x,待测激光镜头(1)的数值孔径na小于等于标准物镜(4)的数值孔径na。

2.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述光纤准直镜(3)与待测激光镜头(1)之间设置有光阑(9)。

3.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)、标准物镜(4)、标准管镜(5)配备有多种规格,能进行换装。

4.根据权利要求1—3中任一项所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)选用光纤芯径小于10um的单模光纤光源,其光束质量因子m2小于1.5。

5.根据权利要求4所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述单模单色光源(2)的波长带宽小于10nm;波长为1064nm,或为多个波长的组合,能切换输出波长。

6.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述光纤准直镜(3)的有效焦距为200mm;标准物镜(4)的有效焦距为4mm,标准管镜(5)的有效焦距为200mm,组成放大倍率为50x的共轭成像系统;面阵ccd元件(6)的单元像素尺寸为2um,聚焦光束像(8)的几何尺寸为面阵ccd元件(6)的单元像素尺寸的50倍。

7.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统,其特征在于:所述待测激光镜头(1)的数值孔径na为0.5,标准物镜(4)的数值孔径na为0.65。


技术总结
本实用新型公开了一种大数值孔径激光镜头成像检验系统,单模单色光源和光纤准直镜构成平行光系统,待测激光镜头沿光轴滑动安装在光纤准直镜和标准物镜之间,用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑,且焦点光斑的位置与标准物镜的焦点重合,标准物镜和标准管镜组成共轭成像系统,用于将焦点光斑放大成聚焦光束像并投影到所述面阵CCD元件上,面阵CCD元件的位置与标准管镜的焦点重合,共轭成像系统的放大倍率为10X‑100X,待测激光镜头的数值孔径NA小于等于标准物镜的数值孔径NA。具有操作灵活、可视性强、容易判定和标准化的特点,提升激光光学镜头设计及光学检验的质量和效率,使激光镜头的生产具有更高的生产效率和更规范的检验质量控制。

技术研发人员:周志凯;刘良清;徐海锋
受保护的技术使用者:卡门哈斯激光科技(苏州)有限公司
技术研发日:2020.08.17
技术公布日:2020.12.29
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