一种检测设备及检测系统的制作方法

本实用新型涉及光学检测技术领域，具体涉及一种检测设备及检测系统。

背景技术：

随着半导体技术的发展，半导体光学检测技术运营而生，光学检测技术具有检测速度快、检测精度高且可实现非接触检测等优点。

光学检测设备包括检测腔室，该检测腔室设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，检测腔室内始终有气体流动，以保证检测腔室内的清洁度，避免污染物对光学元件造成污染，影响检测精度或损坏光学元件。

因此，在对待测对象进行检测的过程中，如何避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件，是本领域技术人员所亟需解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种检测设备及检测系统，能够避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种检测设备，其包括检测腔室、运动部和供气系统，所述检测腔室内设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，所述运动部内设置用于承载所述待测对象的承载装置；且所述检测腔室和所述运动部分别与所述供气系统通气连通。

检测腔室和运动部内均填充有气体，并且检测腔室内的气体和运动部内的气体分别是通过供气系统单独填充的，二者均独立供气并且二者之间并不存在相互通气的情况，保证各自内部空间的气体的清洁，避免发生由于运动部内承载装置在运动过程中所产生的污染物对光学元件造成污染的情况，保证检测精度并避免损坏光学元件。

可选地，所述检测腔室和所述运动部之间设有隔板，所述隔板设有检测窗口，所述光学元件能够通过所述检测窗口对放置于所述述承载装置的所述待测对象进行光学检测。

可选地，所述检测腔室包括第一腔室和第二腔室，所述光学元件包括设于所述第一腔室内的探测装置和镜头组件以及设于所述第二腔室内的光源装置。

可选地，所述第一腔室内设有光学元件腔室，所述镜头组件设于所述光学元件腔室内。

可选地，所述供气系统包括供气部，所述供气部用于为所述第一腔室和所述运动部提供气体，并分别与所述第一腔室和所述运动部通气连通。

可选地，所述供气系统还包括供气设备，所述供气设备与所述第二腔室通气连通，用于为所述第二腔室提供气体；或者，所述供气部与所述第二腔室连通，并用于为所述第二腔室提供气体。

可选地，还包括柜体，所述供气系统、所述检测腔室和所述运动部设于所述柜体内。

可选地，所述运动部侧壁具有出气口，所述出气口的位置低于或齐平于所述承载装置的承载面。

可选地，所述运动部还包括设于所述运动部侧壁的进样窗口，所述待测对象通过所述进样窗口进入所述运动部并置于所述承载装置上。

可选地，所述运动部还包括设于所述运动部侧壁的观测窗口，所述观测窗口设置与所述进样窗口相对的侧壁。

另外，本实用新型还提供了一种检测系统，其包括传递装置以及上所述的检测设备，所述传递装置能够将待测对象传递至所述检测设备的承载装置。

具有如上所述的检测设备的检测系统，其技术效果与上述检测设备的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。

附图说明

图1是本实用新型实施例所提供的检测设备的结构示意图；

图2是运动部和隔板的结构示意图；

图3是运动部的结构示意图；

图4是图3中a的放大图。

附图1-4中，附图标记说明如下：

1-检测腔室，11-第一腔室，12-第二腔室；

2-运动部，21-承载装置，22-吹扫装置，23-风板，24-吹风孔，25-进气口，26-出气口；

3-隔板，31-检测窗口；

4-供气部；

5-抽排部。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1-4，图1是本实用新型实施例所提供的检测设备的结构示意图；图2是运动部和隔板的结构示意图；图3是运动部的结构示意图；图4是图3中a的放大图。

本实用新型实施例提供了一种检测设备及检测系统，其中，该检测设备包括检测腔室1、运动部2和供气系统，其中，检测腔室1内设有用于对待测对象(如晶圆等)进行光学检测的光学元件，运动部2内设有用于承载待测对象的承载装置21，检测时，将待测对象放置于承载装置21上，由承载装置21带动待测对象进行机械运动，然后由光学元件对其进行检测。具体的，检测腔室1和运动部2分别与供气系统连通。

也就是说，检测腔室1和运动部2内均填充有气体，并且检测腔室1内的气体和运动部2内的气体分别是通过供气系统单独填充的，二者均独立供气并且二者之间并不存在相互通气的情况，保证各自内部空间的气体的清洁，避免发生由于运动部2内承载装置21在运动过程中所产生的污染物对光学元件造成污染的情况，保证检测精度并避免损坏光学元件。

在上述实施例中，如图2所示，检测腔室1和运动部2之间设有隔板3，该隔板3能够在二者之间形成阻隔，保证检测腔室1和运动部2都是独立的空间，同时，该隔板3设有连通于检测腔室1和运动部2之间的检测窗口31，光学元件能够通过检测窗口31对放置于运动平台的待测对象进行光学检测。该隔板3的设置能够减少检测腔室1和运动部2之间的连通面积，进一步保证运动部2内的污染物不会进入检测腔室1内或者检测腔室1内的污染物不会落在待测对象表面。

在上述实施例中，如图1所示，检测腔室1内设有第一腔室11和第二腔室12，光学元件包括探测装置、镜头组件和光源装置，其中探测装置和镜头组件设于第一腔室11内，光源装置设于第二腔室12内。

进一步的，第一腔室11内设有光学元件腔室，镜头组件设于该光学元件腔室内。也就是说，镜头组件通过检测腔室1、第一腔室11和光学元件腔室三层气体保护，进一步对其进行保护，避免其被污染，保证检测精度和使用寿命。

在上述实施例中，供气系统包括供气部4，供气部4用于为检测腔室1、第一腔室11和运动部2提供气体，并分别与检测腔室1、第一腔室11和运动部2通气连通。并且，该供气系统还包括供气设备，该供气设备与第二腔室12通气连通，用于为第二腔室12提供气体；或者还可以是供气部4与第二腔室12连通并为第二腔室12提供气体均可。

第二腔室12内放置有光源装置，其对气体清洁度要求较高，因此，可通过单独设置的供气设备对其进行供气，也可以通过上述供气部4对其进行供气，具体可通过提高供气部4所提供气体的清洁度或者在第二腔室12设置过滤装置以保证进入第二腔室12内的气体清洁度均可。

检测设备还包括抽排部5，其中，抽排部5用于排出检测腔室1、第一腔室11和运动部2的气体，并与检测腔室1、第一腔室11和运动部2通气连通。当然，本实施例中，供气部4也可以与第二腔室12连通并向第二腔室12内通入气体，抽排部5也可以与第二腔室12连通并将第二腔室12内的气体排出，或者可通过单独设置的抽气设备与第二腔室12连通，以排出第二腔室12内的气体均可。

进一步的，该检测设备还包括柜体，上述供气系统、检测腔室1、运动部2和抽排部5由上至下依次设于该柜体内，当然，本实施例中，对于各部件之间的设置位置并不做具体要求，如还可将检测腔室1设置在运动部2的上方，并将供气部4和抽排部5设置于侧边均可，而由上至下依次设置时能够减少各部件的占地空间，便于现场布置。

在上述实施例中，运动部2的侧壁具有出气口26，该出气口26的位置低于或者齐平承载装置21的承载面，通过以上设置，可以使得运动部2内产生的污染物从待测对象的下方抽排出运动部2，从而防止污染物落在待测对象表面对待测对象造成污染。

具体的，运动部2还包括进气口25，并且如图3所示，进气口25距离主腔室的距离小于出气口26距离主腔室的距离，出气口26配置为将运动部2内气体排出至检测设备外，使得进入运动部2内的气体能够在对待测对象清扫后由出气口26排出。本实施例中，对于进气口25和出气口26的具体位置不做限制，如可将进气口25设置在承载装置21的上方，并将出气口26位于承载装置21的下方，进入运动部2内的气体由位于承载装置21下方的出气口26排出，使得气体中混有的污染物不会在上部位置停留，从而避免该污染物对待测对象造成污染，同时还能够避免气体夹带污染物并向上扩散至检测腔室1内，进而能够对光学元件提供保护，避免污染物污染光学元件。

在上述实施例中，运动部2还包括设于运动部2侧壁的进样窗口，待测对象通过进样窗口进入运动部2并置于承载装置21上。运动部2还包括设于运动部2侧壁的观测窗口，观测窗口设置在于进样窗口相对的侧壁，通过观测窗口可以观测运动部2内承载装置21的状态，及时对承载装置21进行调整。

检测系统包括传递装置以及如上所述的检测设备，其中，传递装置能够将待测对象由上述进样窗口传递至检测设备的承载装置21。

在上述实施例中，运动部2内还设有至少一个吹扫装置22，用于向承载装置21所承载的待测对象提供吹扫气体，吹扫装置22能够对待测对象的表面及以上空间进行吹扫，保证待测对象表面的清洁度，避免污染物污染待测对象，从而保证由待测对象制备的芯片的产品质量。

如图4所示，吹扫装置22包括风板23，该风板23包括长条形吹风面，吹风孔24位于吹封面且沿吹封面延伸方向均布，具体的，可将风板23沿承载装置21的预设运动路径的侧边设置，且风板23沿吹风面延伸方向贯穿运动部2，使得由风板23的吹风孔24所吹出的吹扫气体能够覆盖承载装置21的运动范围，在本实施例中，多个吹风孔24的出气方向与承载装置21的承载面平行，吹扫装置22对承载装置21承载的待测对象进行吹扫。

进一步的，吹扫装置22的数量为多个，多个吹扫装置22分别设置在承载装置21的运动范围外；多个吹扫装置22包括两个镜像对称的第一吹扫装置22，这两个吹扫装置22均位于承载装置21的运动范围外，不会对承载装置21的运动造成干扰，并且两个吹扫装置22分别位于承载装置21两侧，且两个第一吹扫装置22的第一镜像对称面垂直于承载装置22的承载面，在本实施例中，两个第一吹扫装置22可以是平行设置(具体是指两个风板23平行设置)，如图3所述；或者两个第一吹扫装置22也可以是相交设置。

吹扫装置21的吹扫气体能够在运动部2和检测腔室1之间形成风帘，能够阻隔运动部2和检测腔室1内的气体的连通，从而阻挡由于承载装置21做机械运动时会产生碎屑等污染物进入检测腔室1内，防止运动部2内的污染物进入检测腔室1内对光学元件造成污染，从而能够避免损坏光学元件，并且保证通过该光学元件对待测对象进行光学检测的检测精度。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。