1.一种测量设备,用于测量待测物上待测孔的深度,其特征在于,所述设备包括:
架体;
承载台,所述承载台滑动设置于所述架体,用于承载所述待测物;
位移调节机构,所述位移调节机构安装于所述架体;以及
测量组件,所述测量组件安装于所述位移调节机构,并在所述位移调节机构的带动下调整与所述待测物的相对位置,所述测量组件用于测量所述待测孔的深度。
2.根据权利要求1所述的测量设备,其特征在于,所述位移调节机构包括:
第一驱动机构,所述第一驱动机构设置于所述架体,用于驱动所述承载台沿第一方向移动;
第二驱动机构,所述第二驱动机构设置于所述架体;及
第三驱动机构,所述第三驱动机构设置于所述第二驱动机构,并在所述第二驱动机构的驱动下沿第二方向移动,所述第三驱动机构设置有所述测量组件,用于驱动所述测量组件沿第三方向移动。
3.根据权利要求2所述的测量设备,其特征在于,所述第一驱动机构包括:
第一导轨,所述第一导轨固定于所述架体;
第一滑动件,所述第一滑动件滑动连接于所述第一导轨,且固定于所述承载台;以及
第一驱动件,所述第一驱动件连接于所述第一滑动件,用于驱动所述第一滑动件带动所述承载台沿第一方向移动。
4.根据权利要求3所述的测量设备,其特征在于,所述第二驱动机构包括:
第二导轨,所述第二导轨固定于所述架体;
第二滑动件,所述第二滑动件滑动连接于所述第二导轨,且安装有所述第三驱动机构;以及
第二驱动件,所述第二驱动件连接于所述第二滑动件,用于驱动所述第二滑动件带动所述第三驱动机构,进而带动所述测量组件沿第二方向移动。
5.根据权利要求4所述的测量设备,其特征在于,所述第三驱动机构包括:
第三驱动件,所述第三驱动件安装于所述第二滑动件;以及
第三滑动件,所述第三滑动件滑动连接于所述第三驱动件,且固定有所述测量组件,所述第三滑动件在第三驱动件的驱动下,沿所述第三方向移动,进而带动所述测量组件沿所述第三方向移动。
6.根据权利要求5所述的测量设备,其特征在于,所述第三驱动机构还包括防震组件,所述防震组件分别连接于所述第二滑动件及所述第三驱动件。
7.根据权利要求1所述的测量设备,其特征在于,所述承载台设有真空吸附件,所述真空吸附件用于吸附所述承载台上的待测物。
8.根据权利要求5所述的测量设备,其特征在于,所述测量组件包括:
安装座,所述安装座固定于所述第三滑动件;
定位模块,所述定位模块用于获取所述待测物上每个所述待测孔的位置信息,以便所述位移调节机构根据每个所述待测孔的位置信息调节所述测量组件与所述待测孔的相对位置;以及
测量模块,所述测量模块用于测量待测孔的深度。
9.根据权利要求8所述的测量设备,其特征在于,所述测量模块包括:
光源,所述光源用于出射光线;
棱镜,所述棱镜用于将所述光源出射的光线分为第一束光和第二束光;所述第一束光照射到所述待测物上,并被所述待测物反射回所述棱镜;
反射镜,所述反射镜用于将第二束光反射回所述棱镜;以及
图像采集装置,所述图像采集装置用于采集所述第一束光和所述第二束光产生的干涉图像,并根据所述干涉图像获取所述待测孔的深度。
10.根据权利要求8所述的测量设备,其特征在于,所述测量模块包括控制器、探测器及测量尺,所述控制器分别与所述探测器及所述测量尺电连接,所述控制器用于控制流经所述探测器的电流量及开闭,所述测量尺用于测量所述探测器沿所述待测孔深度方向移动的距离,并反馈给所述控制器,以便所述控制器获取所述待测孔的深度。