一种半导体芯片微调测试装置的制作方法

文档序号:25197213发布日期:2021-05-28 10:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:包含底板(1)、侧板(2)、控制箱(3)及检测组件(5),所述底板(1)的一侧固定安装有侧板(2),且底板(1)远离侧板(2)的一侧设有检测组件(5),所述底板(1)的上表面上固定安装有控制箱(3),所述底板(1)与侧板(2)间设有具有双向微调结构的调节组件(4);

所述调节组件(4)包括竖直微调组件(41)、水平微调组件(42)、第一球头(43)、连接杆(44)、第二球头(45)、第三球头(46)、限位板(47)及平衡组件(48),所述底板(1)与侧板(2)间分别设有竖直微调组件(41)和水平微调组件(42),所述连接杆(44)穿插在竖直微调组件(41)及水平微调组件(42)中,且连接杆(44)靠近竖直微调组件(41)及水平微调组件(42)的输入端一侧固定安装有第一球头(43),所述连接杆(44)的中心处固定安装有第二球头(45),所述底板(1)上表面中心处固定安装有限位板(47),且第二球头(45)转动连接在限位板(47)的中心处,所述连接杆(44)远离第一球头(43)的一端固定安装有第三球头(46),所述底板(1)上表面靠近第三球头(46)一侧固定安装有平衡组件(48)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述竖直微调组件(41)包括第一电动推杆(411)、第一夹头(412)、第一滑轨(413)、第一滑块(414)及第一通槽(415),所述侧板(2)的内侧转动连接有第一电动推杆(411),且第一电动推杆(411)的输出端上固定安装有第一夹头(412),所述第一电动推杆(411)与控制箱(3)电性连接,所述底板(1)靠近限位板(47)的一侧固定安装有第一滑轨(413),且第一滑轨(413)中滑动连接有第一滑块(414),所述第一滑轨(413)远离第一滑块(414)的一侧开设有第一通槽(415),且连接杆(44)穿插经过第一通槽(415)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述水平微调组件(42)包括第二电动推杆(421)、第二夹头(422)、第二滑轨(423)、第二滑块(424)、第二通槽(425)及连接柱(426),所述侧板(2)的内侧转动连接有第二电动推杆(421),且第二电动推杆(421)的输出端上固定安装有第二夹头(422),所述第二电动推杆(421)与控制箱(3)电性连接,所述第二夹头(422)通过第一球头(43)与第一夹头(412)转动连接,所述第一滑块(414)远离第一滑轨(413)的一侧固定连接有第二滑轨(423),且第二滑轨(423)中滑动连接有第二滑块(424),所述第二滑轨(423)远离第二滑块(424)的一侧开设有第二通槽(425),且连接杆(44)穿插经过第二通槽(425),所述第二滑块(424)远离第二滑轨(423)一侧的四角处均固定安装有连接柱(426),且连接柱(426)远离第二滑块(424)的一端与检测组件(5)的安装部位固定连接,所述第二滑块(424)中心处与第三球头(46)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述平衡组件(48)包括第三滑轨(481)、第三滑块(482)、底座(483)、连接板(484)、滑柱(485)及弹簧(486),所述底板(1)上表面远离侧板(2)的一侧固定安装有第三滑轨(481),且第三滑轨(481)中滑动连接有第三滑块(482),所述第三滑块(482)上表面对称地固定安装有底座(483),所述底座(483)的上表面上固定安装有滑柱(485),所述检测组件(5)的安装部位远离连接柱(426)的一侧固定安装有连接板(484),所述滑柱(485)与连接板(484)滑动穿插,所述连接板(484)的下表面与底座(483)间固定安装有弹簧(486)。

5.根据权利要求3所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述第一夹头(412)与第二夹头(422)间对称地配合有紧固螺栓。

6.根据权利要求3所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述检测组件(5)包括安装架(51)、pcb测试板(52)、电压接头(53)、插座(54)、针脚(55)及垫头(56),所述连接柱(426)远离第二滑块(424)的一端固定安装有安装架(51),所述安装架(51)的上表面固定安装有pcb测试板(52),且pcb测试板(52)上表面的两侧对称地固定安装有插座(54),所述插座(54)内固定安装有针脚(55),所述pcb测试板(52)上插座(54)间等距固定安装有垫头(56),且pcb测试板(52)一侧对称地固定安装有电压接头(53),所述电压接头(53)与针脚(55)相连通。

7.根据权利要求6所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述pcb测试板(52)上表面垫头(56)的两侧均开设有圆角矩形状的结构槽。

8.根据权利要求7所述的一种半导体芯片微调测试装置,其特征在于:所述电压接头(53)的内壁中固定安装有十字紧固条。


技术总结
本实用新型公开了一种半导体芯片微调测试装置,包含底板、侧板、控制箱及检测组件,底板的一侧固定安装有侧板,且底板远离侧板的一侧设有检测组件,底板的上表面上固定安装有控制箱,底板与侧板间设有具有双向微调结构的调节组件,本实用新型在确保测试支架仍可以实现上下和左右调节的功能前提下,对其驱动方式和传动结构做出了改进,利用电气控制高精度的特点,在传动结构中结合转动与滑动结构,通过竖直微调组件控制检测组件的上下移动,通过水平微调组件控制检测组件的前后移动,两个方向的微调均可独立完成,用电动推杆代替人手驱动,大大提高了调节精度,满足微调控制在±1mm的调节范围。

技术研发人员:刘思瑜
受保护的技术使用者:深圳市海芯微迅半导体有限公司
技术研发日:2020.09.23
技术公布日:2021.05.28
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