一种CMP设备用便于维护的压力传感器的制作方法

文档序号:24687342发布日期:2021-04-13 22:58阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种CMP设备用便于维护的压力传感器,涉及压力传感器技术领域,包括器体和覆盖装置,所述器体的表面固定连接有显示屏,所述器体的表面固定连接有皮线,所述器体的表面设有覆盖装置,所述覆盖装置包括有两个方形板,两个方形板与器体固定连接,两个方形板之间固定连接有固定梢,所述固定梢的表面滑动连接有盖板,所述固定梢的表面套有第一弹簧,所述第一弹簧的一端与方形板固定连接,所述第一弹簧的另一端与盖板固定连接。本实用新型,解决了现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施,传感器上面的显示屏容易被落灰,而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况,不便于工作人员对数据的读取的问题。的读取的问题。的读取的问题。


技术研发人员:刘欢
受保护的技术使用者:天津昂嘉科技发展有限公司
技术研发日:2020.10.30
技术公布日:2021/4/13

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