一种自动感应扫描电镜ebsd探头的制作方法

本实用新型应用于工业领域，具体为一种自动感应扫描电镜ebsd探头。

背景技术：

ebsd技术是材料科学表征的一个重要手段，受到越来越多显微工作者的重视，同时ebsd使用者的水平也在逐年提高。相比xrd来说，ebsd可以针对微观选取更加精确定位局部晶粒及晶界特性，样品形状及尺寸不受限制，可以做块状、丝状、截面等多种样品，仪器可以对大面积采集模式，也可以对整个样品进行分析，获取织构信息或相分布信息，通常情况下ebsd探头只能前进和后退，因此在使用的时候探头前进时容易与样品或者样品台相撞，这样会对设备造成损伤。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种自动感应扫描电镜ebsd探头，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动感应扫描电镜ebsd探头，包括：底座，所述底座的一端上设置有支架，ebsd探头座，位于所述底座的上方，并能够滑动地安装在支架上，所述ebsd探头座的末端设置有探头；样品台，设置在所述底座的另一端上，与所述探头相对应，且所述样品台设置有固定待测样品的夹持工具；光束发射器，设置在所述样品台的上方，所述光束发射器上安装有测距传感器，所述测距传感器用于测量所述探头和所述样品台之间的距离；电动机，安装在所述支架上，与所述ebsd探头座连接，以驱动所述ebsd探头座在所述支架上滑动；控制器，与所述测距传感器和所述电动机电连接，能够根据所述测距传感器的测量结果控制所述电动机的工作。

在上述技术方案中，优选地，所述ebsd探头座上设有螺纹，所述螺纹上螺接有螺套，所述螺套通过传动机构与所述电动机连接，所述电动机通过带动所述螺套转动以驱动所述ebsd探头座在所述支架上滑动。

优选地，所述传动机构为链条传动。

在上述技术方案中，优选地，所述ebsd探头座上设置有滑道，所述支架上设有滑块，所述滑块滑动安装在所述滑道上。

优选地，所述支架的数量为2个，且2个所述支架设于ebsd探头座的两侧，所述ebsd探头座的两侧均设有所述滑道，每一所述滑道内均滑动安装有所述滑块。

优选地，所述滑块的底部设有滑轮。

在上述任一技术方案中，优选地，所述螺套上设有齿轮，所述齿轮上啮合有主动齿轮，所述主动齿轮设置在电动机的传动轴上。

在上述任一技术方案中，优选地，所述测距传感器为红外线传感器、光栅传感器或激光测距传感器。

在上述任一技术方案中，优选地，所述电动机为伺服电机。

在上述任一技术方案中，优选地，所述ebsd探头座的四周设有保护壳。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过测距传感器能够对扫描电镜ebsd探头与样品台之间的距离进行监测，当扫描电镜ebsd探头超过固定的范围的时候能够控制扫描电镜ebsd探头停止向前或向后退，这样便能够在ebsd探头接触到样品台或者样品之前让ebsd探头停止运动，防止探头接触到样品导致探头损伤。

附图说明

图1为本实用新型提供的自动感应扫描电镜ebsd探头的结构示意图。

其中，图1中附图标记与名称之间的对应关系如下：

1光束发射器，2测距传感器，3样品台，4探头，5螺纹，6螺套，7齿轮，8支架，9滑块，10滑道，11ebsd探头座，12主动齿轮，13电动机，14控制器，15底座。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，本实用新型提供了一种自动感应扫描电镜ebsd探头，包括底座15，底座15的上方设有样品台3，样品台3的上方对应的位置设有光束发射器1，光束发射器1用于向样品发射光束，光束发射器1上安装有测距传感器2，底座15的上方设有支架8，支架8上设有滑块9，滑块9滑动连接在滑道10上，滑道10设置在ebsd探头座11上，ebsd探头座11上设有螺纹5，螺纹5上螺接有螺套6，螺套6上设有齿轮7，齿轮7上啮合有主动齿轮12，主动齿轮12设置在电动机13的传动轴上，测距传感器2电性连接控制器14，控制器14电性连接电动机13，ebsd探头座11的末端设有探头4，探头4用于接收样品折射的光。

根据本实用新型的实施例提供的自动感应扫描电镜ebsd探头，当设备运行的时候，将样品安装在样品台3上，光束发射器1对样品发射光束，而光束经过样品的晶体的时候，会发生偏转和折射，需要将探头4接近折射后的光束的位置才能进行检测，而测距传感器2距离样品位置较近，因此，在样品检测过程中，可通过测距传感器2对探头4与样品之间的距离进行检测，以判断探头4的位置。控制器14用于根据测距传感器2测量的距离控制电动机13的启停，前进或后退。比如当检测到探头4距离样品或样品台3较远时，控制器14控制电动机13继续工作，以使探头4能够继续向前，若检测到探头4与样品或样品台3之间的距离小于安全距离时，控制器14控制电动机13停止工作或反转，以使探头4能够停止或向后退，这样便能够在ebsd探头4接触到样品台3或者样品之前让ebsd探头停止运动，防止探头4接触到样品导致探头损伤。

具体而言，支架8的数量为2个，且2个支架8设于ebsd探头座11的两边，ebsd探头座11的两端均设有滑道10，滑道10上均滑动连接有滑块9，在ebsd探头座11两端均设有支架8，这样能够让设备运行的更加的平稳，提高设备的精度。

具体而言，滑块9的底部设有滑轮，在滑块9的下方设置滑轮能够让滑块9在滑道10上运行的更加流畅，提高运行的流畅性。

具体而言，测距传感器2能够根据需要设置为红外线传感器、光栅传感器或激光测距传感器。

具体而言，齿轮7和主动齿轮12的动能传递能够根据需要替换为链条传动。

具体而言，电动机13为伺服电机，能够提高设备运行的精确度，能够提高设备运行时的灵活度。

具体而言，ebsd探头座11的四周设有保护壳，防止周围的灰尘进入螺纹，减少设备的维护保养次数。

具体而言，样品台3上的夹持工具能够进行替换，提高设备的通用性，让设备可在不同的生产环境和不同的使用环境采用不同的零件。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。