一种半导体观察显微镜机台的制作方法

1.本实用新型属于测量设备技术领域，具体涉及一种半导体观察显微镜机台。


背景技术：

2.目前，半导体产品，如显示器面板质量采用人工目视及人工移动面板的方式进行检测。但是产品测量的精度需求越来越高，而人工检查存在因疲劳误检的风险，人工移动显示器面板耗时耗力、效率低下且人工费用高。因此现在急需设计一种适用于检查显示器面板有无瑕疵及瑕疵大小的设备。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种半导体观察显微镜机台，解决目前人工检查存在的因疲劳误检、效率低下且人工费用高的问题。
4.本实用新型提供了如下的技术方案：
5.一种半导体观察显微镜机台，包括光学玻璃平台、x轴移动平台、x轴传动机构、y轴移动平台、y轴传动机构、显微镜和z轴传动机构；
6.所述y轴传动机构与y轴移动平台相连，且能够控制y轴移动平台在y轴方向运动；
7.所述x轴移动平台和x轴传动机构均安装于y轴移动平台上，所述x轴传动机构与x轴移动平台相连，且能够控制x轴移动平台在x轴方向运动；
8.所述光学玻璃平台设于x轴移动平台上；
9.所述显微镜安装于光学玻璃平台上方，所述z轴传动机构与显微镜相连，且能够控制显微镜在z轴方向运动。
10.进一步的，所述y轴传动组件包括y轴丝杆、套于y轴丝杆上的y轴无牙螺母以及与y轴丝杆一端相连的y轴手轮，所述y轴丝杆的两端安装有y轴支撑板。
11.进一步的，所述y轴传动组件还包括两条平行设置的y轴平台支撑轨，所述y轴平台支撑轨和y轴无牙螺母的顶部均与y轴移动平台固定连接。
12.进一步的，所述x轴传动组件包括x轴手轮、与x轴手轮相连的横杆、与横杆相垂直的竖杆、与竖杆相垂直的传动杆、与传动杆平行的x轴丝杆以及套于x轴丝杆上的x轴无牙螺母，所述横杆上设有第一斜齿轮，所述竖杆的底端设有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，顶端设有第三斜齿轮，所述传动杆的一端设有与第三斜齿轮相啮合的第四斜齿轮，另一端设有第一皮带轮，所述x轴丝杆的一端设有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮间连接有皮带。
13.进一步的，所述x轴丝杆的两端安装有x轴支撑板，所述第一皮带轮和第二皮带轮安装在其中一个x轴支撑板上。
14.进一步的，所述x轴传动组件还包括两条平行设置的x轴平台支撑轨，所述x轴平台支撑轨和x轴无牙螺母的顶部均与x轴移动平台固定连接。
15.进一步的，所述z轴传动组件包括z轴丝杆、与z轴丝杆一端相连的伺服电机以及套
于z轴丝杆上的z轴位移块，所述z轴位移块与显微镜相连。
16.进一步的，所述显微镜上设有上光源，所述显微镜的正下方设有下光源。
17.进一步的，所述显微镜为多倍率可变焦镜头显微镜。
18.进一步的，所述半导体观察显微镜机台还包括操作面板。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
20.本实用新型提供的半导体观察显微镜机台，光学玻璃平台设于x轴移动平台上，x轴传动机构能够控制x轴移动平台在x轴方向运动，x轴移动平台安装于y轴移动平台，y轴传动机构能够控制y轴移动平台在y轴方向运动，从而实现光学玻璃平台在x轴及y轴上的自由移动；显微镜安装于光学玻璃平台上方，与其相连的z轴传动机构能够控制显微镜在z轴方向运动，从而实现显微镜对光学玻璃平台上的显示器面板进行多方位、多角度的检测，避免人工检查存在的因疲劳误检的问题，且不需人工移动显示器面板，省时省力、效率高、成本低。
附图说明
21.图1是本实用新型的结构示意图；
22.图2是各传动机构的结构示意图；
23.图3是x轴传动机构的结构示意图；
24.图4是显微镜和z轴传动机构的结构示意图；
25.图中标记为：1、光学玻璃平台；2、x轴移动平台；3、y轴移动平台；4、显微镜；5、操作面板；6、x轴手轮；7、y轴手轮；8、伺服电机；9、z轴丝杆；10、z轴位移块；11、y轴丝杆；12、y轴无牙螺母；13、y轴平台支撑轨；14、x轴平台支撑轨；15、x轴丝杆；16、x轴无牙螺母；17、传动杆；18、上光源；19、下光源；20、y轴支撑板；21、x轴支撑板；22、横杆；23、第一斜齿轮；24、第二斜齿轮；25、竖杆；26、第三斜齿轮；27、第四斜齿轮；28、第二皮带轮；29、皮带；30、第一皮带轮。
具体实施方式
26.下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
27.需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.如图1和2所示，一种半导体观察显微镜机台，包括光学玻璃平台1、x轴移动平台2、x轴传动机构、y轴移动平台3、y轴传动机构、显微镜4和z轴传动机构；y轴传动机构与y轴移动平台3相连，且能够控制y轴移动平台3在y轴方向运动；x轴移动平台2和x轴传动机构均安装于y轴移动平台3上，x轴传动机构与x轴移动平台2相连，且能够控制x轴移动平台2在x轴方向运动；光学玻璃平台1设于x轴移动平台2上；显微镜4安装于光学玻璃平台1上方，z轴传动机构与显微镜4相连，且能够控制显微镜4在z轴方向运动。
29.如图2所示，y轴传动组件包括y轴丝杆11、套于y轴丝杆11上的y轴无牙螺母12以及
与y轴丝杆11一端相连的y轴手轮7，y轴丝杆11的两端安装有y轴支撑板20，用于支撑y轴丝杆11。y轴传动组件还包括两条平行设置的y轴平台支撑轨13，y轴平台支撑轨13和y轴无牙螺母12的顶部均与y轴移动平台3固定连接。
30.如图3所示，x轴传动组件包括x轴手轮6、与x轴手轮6相连的横杆22、与横杆22相垂直的竖杆25、与竖杆25相垂直的传动杆17、与传动杆17平行的x轴丝杆15以及套于x轴丝杆15上的x轴无牙螺母16，横杆22上设有第一斜齿轮23，竖杆25的底端设有与第一斜齿轮23相啮合的第二斜齿轮24，顶端设有第三斜齿轮26，传动杆17的一端设有与第三斜齿轮26相啮合的第四斜齿轮27，另一端设有第一皮带轮30，x轴丝杆15的一端设有第二皮带轮28，第一皮带轮30和第二皮带轮28间连接有皮带29。x轴丝杆15的两端安装有x轴支撑板21，第一皮带轮30和第二皮带轮28安装在其中一个x轴支撑板21上。该设计使x轴手轮6与y轴手轮7平行设置于半导体观察显微镜机台的同一个侧面，方便操作。
31.如图2所示，x轴传动组件还包括两条平行设置的x轴平台支撑轨14，x轴平台支撑轨14和x轴无牙螺母16的顶部均与x轴移动平台2固定连接。
32.如图2和4所示，z轴传动组件包括z轴丝杆9、与z轴丝杆9一端相连的伺服电机8以及套于z轴丝杆9上的z轴位移块10，z轴位移块10与显微镜4相连。
33.如图2和4所示，显微镜4上设有上光源18，显微镜4的正下方设有下光源19，便于显微镜检测。显微镜4为多倍率可变焦镜头显微镜。
34.如图1所示，本实施例提供的半导体观察显微镜机台还包括操作面板5，用于控制伺服电机8、z轴高速/低俗运动切换、上下光源亮度调节等。
35.本实用新型的工作原理为：
36.将待检测的显示器面板固定于光学玻璃平台1上；操作面板5控制伺服电机8工作，驱动z轴丝杆15转动，使z轴位移块10带动显微镜4上下运动，找到合适的观测高度；当需要对显示器面板进行x轴方向移动时，转动x轴手轮6，横杆22随之转动，借助相啮合的第一斜齿轮23和第二斜齿轮24使竖杆25转动，借助相啮合的第三斜齿轮26和第四斜齿轮27使传动杆17转动，通过皮带29连接的第一皮带轮30和第二皮带轮28使x轴丝杆15转动，进一步的，使x轴无牙螺母16带动x轴移动平台2在x轴方向上移动，从而实现光学玻璃平台1以及显示器面板的x轴移动；当需要对显示器面板进行y轴方向移动时，转动y轴手轮7，y轴丝杆11随之转动，使y轴无牙螺母12带动y轴移动平台3在y轴方向上移动，进一步的，x轴移动平台2、光学玻璃平台1以及显示器面板也进行y轴移动，从而实现显微镜对光学玻璃平台1上的显示器面板进行多方位、多角度的检测，避免人工检查存在的因疲劳误检的问题，且不需人工移动显示器面板，省时省力、效率高、成本低。
37.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。