一种用于半导体生产的特殊气体取样装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产技术领域，具体涉及一种用于半导体生产的特殊气体取样装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在半导体生产过程中，需要特殊气体辅助半导体的生产，同时部分特殊气体需要进行定时进行检测，一般通过取样装置进行取样，现有的取样装置在使用过程中，取样头的外侧缺少防护，存在容易因碰撞以及跌落等原因导致变形以及损坏的问题，为此我们提出一种用于半导体生产的特殊气体取样装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体生产的特殊气体取样装置，能够对取样装置主体的取样头进行保护，避免了因碰撞以及跌落等原因导致变形以及损坏的情况，同时能够在操作者使用本装置时提升手柄外侧的摩擦力，便于操作人员的使用。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体生产的特殊气体取样装置，包括取样装置主体，所述取样装置主体的外侧设置有活塞筒盖，所述取样装置主体的外侧连接有接头，所述取样装置主体的外侧连接有保护机构，所述取样装置主体的内部活动连接有延伸至外侧的手柄，所述手柄的外侧安装有防滑机构；
5.所述保护机构包括保护套，所述保护套的内部开设有保护槽，所述保护套的内部设置有连接弹簧，所述连接弹簧的另一端连接有活动块，所述活动块的另一侧固定有活动杆，所述活动杆的另一端固定有挤压垫，所述活动杆的外侧通过安装轴活动连接有滑轮，所述活动杆的外侧固定有滑块。
6.作为本实用新型进一步的方案：所述防滑机构包括第一防滑套，所述第一防滑套的外侧通过铰链活动连接有第二防滑套，所述第一防滑套的一端固定有连接垫，所述第一防滑套的外侧以及所述第二防滑套的外侧均设置有贯穿其另一侧的安装杆，所述安装杆的一端固定有金属板，所述第一防滑套的内部以及所述第二防滑套的内部均嵌入有磁铁垫。
7.作为本实用新型进一步的方案：所述手柄的内部开设有凹槽，且凹槽的尺寸与所述安装杆的尺寸适配。
8.作为本实用新型进一步的方案：所述挤压垫与所述活动杆之间焊接固定。
9.作为本实用新型进一步的方案：所述保护套的内部开设有滑槽，所述滑槽与所述滑块之间为滑动配合构件。
10.作为本实用新型进一步的方案：所述保护套的内部开设有容纳活动杆活动的通孔。
11.作为本实用新型进一步的方案：所述保护套的内部开设有连接槽，且连接槽的尺寸与挤压垫的尺寸适配。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.（1）本实用新型设置有保护机构，能够对取样装置主体的取样头进行保护，避免了因碰撞以及跌落等原因导致变形以及损坏的情况，且在需要使用本装置时，使用者只需拉动保护套的外侧即可完成拆卸，不会影响本装置的正常使用。
14.（2）本实用新型设置有防滑机构，能够在操作者使用本装置时提升手柄外侧的摩擦力，便于操作人员的使用。
附图说明
15.图1为本实用新型的取样装置主体外侧示意图；
16.图2为本实用新型的保护机构剖面图；
17.图3为本实用新型的保护机构a区域放大结构示意图；
18.图4为本实用新型的防滑机构结构示意图；
19.图中：1、取样装置主体；2、活塞筒盖；3、接头；4、保护机构；41、保护套；42、保护槽；43、连接弹簧；44、活动块；45、活动杆；46、挤压垫；47、滑轮；48、滑块；5、手柄；6、防滑机构；61、第一防滑套；62、第二防滑套；63、连接垫；64、金属板；65、安装杆；66、磁铁垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体生产的特殊气体取样装置，包括取样装置主体1，取样装置主体1的外侧设置有活塞筒盖2，取样装置主体1的外侧连接有接头3，取样装置主体1的外侧连接有保护机构4，取样装置主体1的内部活动连接有延伸至外侧的手柄5，手柄5的外侧安装有防滑机构6；
22.保护机构4包括保护套41，保护套41的内部开设有保护槽42，保护套41的内部设置有连接弹簧43，连接弹簧43的另一端连接有活动块44，活动块44的另一侧固定有活动杆45，活动杆45的另一端固定有挤压垫46，活动杆45的外侧通过安装轴活动连接有滑轮47，活动杆45的外侧固定有滑块48，使用者可直接将保护套41套在取样装置主体1外侧的取样头外侧，此时可通过保护套41内的连接弹簧43推动活动块44以及活动杆45移动，使挤压垫46贴合在取样装置主体1的取样头的外侧，且连接较为稳固，能够对取样装置主体1的取样头进行保护，避免了因碰撞以及跌落等原因导致变形以及损坏的情况，且在需要使用本装置时，使用者只需拉动保护套41的外侧即可完成拆卸，不会影响本装置的正常使用。
23.作为本实用新型的一种实施方式，防滑机构6包括第一防滑套61，第一防滑套61的外侧通过铰链活动连接有第二防滑套62，第一防滑套61的一端固定有连接垫63，第一防滑套61的外侧以及第二防滑套62的外侧均设置有贯穿其另一侧的安装杆65，安装杆65的一端固定有金属板64，第一防滑套61的内部以及第二防滑套62的内部均嵌入有磁铁垫66，使用者只需将第一防滑套61以及第二防滑套62套在手柄5的外侧，此时第二防滑套62的一端可卡入连接垫63的凹槽内，随后可将安装杆65从第一防滑套61以及第二防滑套62的外侧插
入，并将金属板64推入第一防滑套61以及第二防滑套62内预设的凹槽内，通过磁铁垫66的设置可确保金属板64的位置稳定，从而方便的完成第一防滑套61以及第二防滑套62的固定，能够在操作者使用本装置时提升手柄5外侧的摩擦力，便于操作人员的使用。
24.作为本实用新型的一种实施方式，手柄5的内部开设有凹槽，且凹槽的尺寸与安装杆65的尺寸适配。
25.作为本实用新型的一种实施方式，挤压垫46与活动杆45之间焊接固定。
26.作为本实用新型的一种实施方式，保护套41的内部开设有滑槽，滑槽与滑块48之间为滑动配合构件。
27.作为本实用新型的一种实施方式，保护套41的内部开设有容纳活动杆45活动的通孔。
28.作为本实用新型的一种实施方式，保护套41的内部开设有连接槽，且连接槽的尺寸与挤压垫46的尺寸适配。
29.本实用新型的工作原理：该装置在使用时，使用者可直接将保护套41套在取样装置主体1外侧的取样头外侧，此时可通过保护套41内的连接弹簧43推动活动块44以及活动杆45移动，使挤压垫46贴合在取样装置主体1的取样头的外侧，且连接较为稳固，能够对取样装置主体1的取样头进行保护，避免了因碰撞以及跌落等原因导致变形以及损坏的情况，且在需要使用本装置时，使用者只需拉动保护套41的外侧即可完成拆卸，不会影响本装置的正常使用；使用者只需将第一防滑套61以及第二防滑套62套在手柄5的外侧，此时第二防滑套62的一端可卡入连接垫63的凹槽内，随后可将安装杆65从第一防滑套61以及第二防滑套62的外侧插入，并将金属板64推入第一防滑套61以及第二防滑套62内预设的凹槽内，通过磁铁垫66的设置可确保金属板64的位置稳定，从而方便的完成第一防滑套61以及第二防滑套62的固定，能够在操作者使用本装置时提升手柄5外侧的摩擦力，便于操作人员的使用。
30.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
31.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。