附着物收集装置以及附着物分析系统的制作方法

1.本发明涉及附着物收集装置以及附着物分析系统的技术。


背景技术：

2.在工程领域、环境领域，需要对附着于检查对象物的附着物的物质进行分析。特别是在环境领域，为了掌握环境污染的状态，需求能够高灵敏度并且迅速且实时地测量附着物的分析装置。
3.另外，在工业领域，以生产工艺的管理、品质管理为目的，需求能够高灵敏度并且迅速或实时地测量附着于工业产品的附着物成分的分析装置。
4.例如，在专利文献1中公开了一种分析装置以及分析方法，该分析装置以及分析方法提供一种一边连续地回收并浓缩微粒一边实时地进行分析的方法。通过来自送气部5的气流将附着于认证对象2的检测对象物质的气体和/或微粒剥离，吸取剥离的试样，用微粒捕集部10进行浓缩并捕集，用离子源部21生成试样的离子，用质量分析部23进行质量分析。根据得到的质谱来判定有无缘于检测对象物质的质谱，将其结果显示在显示部27，由此连续、实时、迅速且低误报地检测附着于认证对象2的检测对象物质。
5.在专利文献2中公开了一种分析装置，该分析装置具备：认证部，其对对象进行认证；送气部，其从至少2个不同的方向对所述对象产生喷射气流；回收口，其回收从所述对象剥离的气体和/或微粒；吸气部，其吸取从所述对象剥离的气体和/或微粒；流量控制部，其控制所述送气部的喷射气流和所述吸气部的吸取；微粒捕集部，其对吸取的所述气体和/或微粒中包含的检测对象物质进行浓缩并捕集；分析部，其分析从所述微粒捕集部导入的所述检测对象物质；以及分析判定控制部，其根据由所述分析部分析出的结果来判定有无所述检测对象物质。
6.另外，在专利文献3中公开了一种附着物收集装置以及检查系统，其特征在于，具备：为了从检查对象物稳定地剥离物质，喷出气体的喷出口(n)；具有喷出口(n)的壳体(b)；以及设置在壳体(b)的具备喷出口(n)的面上且具有预定高度的支承部(h)。另外，支承部(h)是形成在壳体(b)的凸形状部。并且，支承部(h)具有长方体形状，并且设置为朝着回收口的方向，相互的距离变短，上述回收口用于回收通过气体而从检查对象物(c)剥离的物质。
7.现有技术文献
8.专利文献
9.专利文献1：国际公开第2012/063796号
10.专利文献2：国际公开第2016/027320号
11.专利文献3：国际公开第2017/209065号


技术实现要素：

12.发明要解决的课题
13.在这些附着物分析系统中，有时检查对象物会堵塞喷射气体的喷嘴。特别是在检查对象物为手的情况下，与id卡等不同形状不规则，并且有重量，因此容易堵塞喷嘴。喷嘴的前端一般是尖的，因此优选手指不与喷嘴前端接触。另外，若喷嘴的喷射口被手指堵塞，则气体对附着物的剥离、回收效率恶化。
14.鉴于这样的背景作出了本发明，本发明的课题在于稳定地回收附着于检查对象物的附着物。
15.用于解决课题的手段
16.为了解决上述课题，本发明的一个方式的特征在于，具备：喷嘴，其向上喷射气体；具备开口部的面，该开口部使从所述喷嘴喷射的所述气体通过；回收口，其回收向对象物喷出的所述气体；以及接触检测部，其检测所述对象物是否接触了所述面，通过所述气体收集附着于所述对象物的附着物。
17.并且，本发明的另一方式的特征在于，具备：喷嘴，其向上喷射气体；具有开口部的面，该开口部使从所述喷嘴喷射的所述气体通过；以及回收口，其回收向对象物喷出的所述气体，通过所述气体收集附着于所述对象物的附着物，所述喷嘴的前端的高度与所述面的高度大致相同或者为所述面的高度以下，在所述面设置有为凹部或孔部的气流调整部，所述气流调整部相对于所述喷嘴的喷射口设置在所述回收口侧，并且所述气流调整部与所述喷嘴的喷射口相接或者包含所述喷嘴的喷射口。
18.在实施方式中适当记载了其他解决手段。
19.发明效果
20.根据本发明，能够稳定地回收附着于检查对象物的附着物。
附图说明
21.图1a是表示第1实施方式的附着物收集装置的结构的图(其一)。
22.图1b是表示第1实施方式的附着物收集装置的结构的图(其二)。
23.图1c是表示第1实施方式的附着物收集装置的结构的图(其三)。
24.图2a表示不具备凹部时的气体的流动。
25.图2b表示具备凹部时的气体的流动。
26.图3表示第1实施方式的附着物分析系统的结构。
27.图4表示第1实施方式的数据处理装置的结构例。
28.图5是表示第1实施方式的气体喷射处理步骤的流程图。
29.图6是表示气体喷射的时序图的图(其一)。
30.图7是表示气体喷射的时序图的图(其二)。
31.图8是表示气体喷射的时序图的图(其三)。
32.图9表示将附着有塑料炸药的卡片用作检查对象物进行实验时得到的信号。
33.图10是表示第1实施方式的附着物分析系统的处理步骤的流程图。
34.图11表示第2实施方式的附着物收集装置的结构。
35.图12表示第2实施方式的数据处理装置的结构。
36.图13是表示第2实施方式的附着物分析系统的处理步骤的流程图。
37.图14a是表示第3实施方式的附着物收集装置的结构的图(其一)。
38.图14b是表示第3实施方式的附着物收集装置的结构的图(其二)。
39.图14c是表示第3实施方式的附着物收集装置的结构的图(其三)。
40.图15表示第4实施方式的附着物收集装置的结构。
41.图16a是表示第5实施方式的附着物收集装置的结构的图(其一)。
42.图16b是表示第5实施方式的附着物收集装置的结构的图(其二)。
43.图17表示第6实施方式的附着物收集装置的结构。
44.图18a是表示第7实施方式的附着物收集装置的结构的图(其一)。
45.图18b是表示第7实施方式的附着物收集装置的结构的图(其二)。
46.图19表示第8实施方式的附着物收集装置的结构。
47.图20表示第9实施方式的附着物收集装置的结构。
48.图21表示第10实施方式的附着物收集装置的结构。
具体实施方式
49.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。附图示出了遵循本发明原理的具体实施方式，但这些实施方式是用于理解本发明，决不是为了限定性地解释本发明。通过以下实施方式与已知技术的组合或置换而得到的变形例也包含在本发明的范围内。另外，能够将某实施方式的一部分结构置换为其他实施方式的结构，也能够对某实施方式的结构追加其他实施方式的结构。在用于说明实施方式的全部附图中，对具有同一功能的部分标注相同的符号，并省略其重复的说明。
50.[第1实施方式]
[0051]
首先，参照图1a～图1c和图3说明本实施方式中的附着物分析系统200的概要。
[0052]
本实施方式的附着物分析系统200为了回收附着于检查对象物c的附着物，在将检查对象物c插入到附着物收集装置1时，从喷嘴111的喷射口112喷射气体来剥离并回收检查对象物c的附着物。附着物分析系统200作为重要设施等的出入口处的安全门系统，调查检查对象者有无持有危险物品或痕迹，因此能够起到迅速且实时地分析附着于检查对象物c的附着物是否是爆炸物等危险物品这样的作用。以下的实施方式也能够应用于在重要设施等的出入口等设置的安全门、机场或船等的搭乘门、自动检票机、行李检查处、寄存行李检查处的门233、娱乐设施等的进出检票口等。
[0053]
(附着物收集装置1的结构)
[0054]
图1a～图1c表示第1实施方式的附着物收集装置1的结构。图1a是从插入口e1方向观察附着物收集装置1的图。另外，图1b是图1a的a1-a1剖视图。并且，图1c是图1a和图1b的b1-b1剖视图。
[0055]
附着物收集装置1具备下部基板101、上部基板102(参照图1b)、上部罩103、喷嘴111、凹部121、接触检测传感器130、插入检测传感器140、0次过滤器151。由下部基板101中的与上部基板102对应的部分以及上部基板102形成壳体。
[0056]
在附着物收集装置1中，对于插入到附着物收集装置1的检查对象物c(在图1中假定为手c1)吹送从喷嘴111喷射的气体(图1b的虚线箭头)。附着于检查对象物c的附着物从被吹送气体的检查对象物c剥离。剥离的附着物朝向回收口e2。
[0057]
如图1a～图1c所示，附着物收集装置1具有位于所插入的检查对象物c下方的下部
基板101。如图1b以及图1c所示，在下部基板101具备喷射气体的喷嘴111。
[0058]
在第1实施方式中，如图1c所示，作为喷嘴111，采用了喷射口(前端)112为线状(带状)的狭缝喷嘴。通过设为这样的狭缝喷嘴，能够对检查对象物c的下表面大面积地吹送气体。结果，能够提高附着物的剥离效果。
[0059]
如图1b以及图1c所示，在此具备2个喷嘴111，但也可以是1个，也可以是3个以上。在本实施方式中，如图1c所示，将2个喷嘴111中的设置在插入口e1侧的喷嘴111适当地称为第1喷嘴111a。同样地，将设置在回收口e2侧的喷嘴111适当地称为第2喷嘴111b。
[0060]
(喷嘴111的前端位置)
[0061]
以喷嘴111的前端成为不从下部基板101的上表面(面)105突出的位置的方式，将喷嘴111埋设在下部基板101。即，将喷嘴111设置成喷嘴111的前端位置与下部基板101的上表面105大体一致。只要喷嘴111的前端位置没有从下部基板101的上表面105大幅突出，则喷嘴111的前端位置也可以比下部基板101的上表面稍高。另外，喷嘴111的前端位置也可以位于下部基板101的上表面的下方。喷嘴111的喷射口112被设置于在下部基板101的上表面105设置的开口部106。即，从喷嘴111喷射的气体经过开口部106(图2b)喷射到检查对象物c。
[0062]
越远离喷嘴111，从喷嘴111喷射的气体的速度越降低。即，若增大喷嘴111的喷射口112与检查对象物c的距离，则附着物的剥离效率降低。因此，不希望过度增大喷嘴111与检查对象物c的距离。为了兼顾剥离效率，优选喷嘴111的喷射口112与下部基板101的位置一致。
[0063]
若喷嘴111的前端从底面大幅突出，则在将检查对象物c插入到附着物收集装置1时，喷嘴111的前端可能会大幅地接触到检查对象物c，因此不理想。特别是在检查对象物c为手c1时不理想。
[0064]
(喷嘴111的角度)
[0065]
如图1c所示，相对于下部基板101的长轴方向，以喷射口112在横穿方向上延伸的方式具备喷嘴111。而且，如图1b所示，喷嘴111相对于垂直方向倾斜，使得喷射的气体朝向回收口e2。喷嘴111相对于铅垂方向的倾斜角度通常为15～90
°
左右，优选为30～45
°
。
[0066]
(凹部121)
[0067]
另外，如图1b以及图1c所示，在下部基板101设置有凹部121来作为气流调整部。相对于各个喷嘴111的喷射口112，凹部121被设置在回收口e2侧。另外，将凹部121设置为包含喷射口112。关于设置凹部121的理由在后面进行叙述。
[0068]
(接触检测传感器130)
[0069]
并且，在下部基板101设置有作为接触检测部的接触检测传感器130。如图1c所示，在下部基板101的两端配备该接触检测传感器130。如图1b以及图1c所示，接触检测传感器130是沿着下部基板101的长轴方向配备的线状的传感器，但不限于此。接触检测传感器130的检测高度只要是能够检测检查对象物c是否接触了下部基板101的高度即可。如图1c所示，将接触检测传感器130的检测范围设为插入口e1侧的喷嘴111(第1喷嘴111a)的前端(前端附近)与0次过滤器151之间。由此，能够防止检查对象物c的接触会妨碍气体流动的范围内的检查对象物c的接触。
[0070]
接触检测传感器130例如是具备光照射部131以及光接收部132的光电传感器。即，
光接收部132通过检测从光照射部131照射的红外线等光的遮光，来检测检查对象物c是否接触了下部基板101。如上所述，若喷射口112被检查对象物c堵塞，则气体的喷射被遮挡。因此，附着物的剥离效率和回收效率降低。因此，优选在检查对象物c不与下部基板101接触的状态下喷射气体。通过具备接触检测传感器130，检测检查对象物c与下部基板101接触的情况。由此，如后所述，能够在检查对象物c接触了下部基板101的期间不进行气体喷射，能够提高剥离效率和回收效率。将在后面叙述由接触检测传感器130检测到的检查对象物c与下部基板101的接触和气体喷射之间的关系。
[0071]
接触检测传感器130检测检查对象物c是否堵塞了喷嘴111的喷射口(前端)112。并且，接触检测传感器130还检测是否存在于遮挡被剥离的附着物向0次过滤器151导入的位置。因此，接触检测传感器130的检测区域优选从第1喷嘴111a的喷射口112到0次过滤器151之间的区域。相反，相对于第1喷嘴111a的喷射口112处于插入口e1侧的检查对象物c与下部基板101的接触不会成为大问题。因此，从第1喷嘴111a的喷射口112到插入口e1的区域可以不设为接触检测传感器130的检测区域。
[0072]
(0次过滤器151)
[0073]
在最接近回收口e2的喷嘴111(111b)的前端与回收口e2之间设置有0次过滤器151。
[0074]
从喷嘴111喷射的气体在与检查对象物c的下表面碰撞后，通过图3所示的浓缩装置220的吸引力而朝向回收口e2流动。通过0次过滤器151，大到一定程序以上的附着物不会导入到0次过滤器151之后。对于0次过滤器151，能够使用不锈钢金属网(开孔0.5mm、开孔率50％)等。另外，0次过滤器151是可更换的，在0次过滤器151上堵塞了尘埃时，用户能够取下0次过滤器151进行清扫来再利用，或者更换为新品。
[0075]
(上部罩103)
[0076]
如图1b所示，将上部基板102设置为与下部基板101中的、0次过滤器151与回收口e2之间的面对置。另外，对于上部基板102在插入口e1侧设置有透明的上部罩103。上部罩103经由侧壁104与上部基板102连接。顺便说一下，在图1b和图1c中省略了侧壁104的图示。
[0077]
由于存在这样的上部罩103，能够限制检查对象物c与喷嘴111之间的上下方向的距离。即，能够防止检查对象物c存在于从喷嘴111喷射的气体无法到达的位置。另外，通过使上部罩103为透明，检验者能够目视所插入的检查对象物c的位置，可用性提高。特别是在检查对象物c是手c1等人体一部分的情况下，在上部罩103不透明从而检验者看不到身体一部分时对检查带来压迫感的可能性高。因此，出于降低对检查的压迫感的目的，上部罩103为透明是有好处的。
[0078]
并且，如图1b所示，将上部罩103设置成越接近插入口e1，与下部基板101的距离越大。由此，作为检查对象物c的手c1等容易插入。其中，上部罩103与下部基板101的距离可以是固定的。
[0079]
(插入检测传感器140)
[0080]
在下部基板101以及上部罩103具备作为插入检测部的插入检测传感器140。插入检测传感器140例如是具有光照射部141和光接收部142的光电传感器。例如，在上部罩103设置有光照射部141，在下部基板101以与光照射部141对置的方式设置有光接收部142。而且，光接收部142通过检测从光照射部141照射的红外线等光的遮光，来检测是否插入了检
查对象物c。
[0081]
在本实施方式中，通过在附着物收集装置1的下部基板101与上部罩103之间插入检查对象物c来开始进行检查。通过插入检测传感器140检测检查对象物c的插入，并且通过接触检测传感器130检测检查对象物c未与下部基板101接触的情况。当检测出检查对象物c被插入到附着物收集装置1且未与下部基板101接触时，如上所述，从喷嘴111喷射气体(图1b的虚线箭头)。由此，从检查对象物c的下表面剥离并回收附着物。
[0082]
从喷嘴111喷射的气体在喷射后扩展得大于喷嘴111的宽度。因此，为了提高剥离的附着物的回收率，要求0次过滤器151的宽度比喷嘴111的宽度宽。另外，回收口e2的宽度比喷嘴111的宽度以及0次过滤器151的宽度窄。
[0083]
如图1b和图1c所示，相对于0次过滤器151在插入口e1侧，且0次过滤器151的附近配备了插入检测传感器140。只要是在0次过滤器151与插入口e1之间，则插入检测传感器140可以设置在任意位置，如图1b及图1c所示，优选设置在0次过滤器151附近。并且，优选插入检测传感器140至少设置在图1c所示的喷嘴111a与0次过滤器151之间。通过在0次过滤器151的附近设置插入检测传感器140，在较深地插入了检查对象物c时，插入检测传感器140检测到插入。由此，在确认了检查对象物c确实存在于喷嘴111的正上方之后，进行气体喷射。由此，能够提高附着物的剥离、回收的精度。
[0084]
作为检查对象物c，在图1b和图1c中示出了手c1，但不限于此。作为检查对象物c，也可以使用ic(integrated circuit：集成电路)卡、移动电话、便携终端、票、护照等。在图1a～图1c的例子中，将深度50mm
×
宽度100mm左右的区域假定为接触检测传感器130的检测对象。另外，假定附着物收集装置1的宽度为120mm左右，喷嘴111的宽度为100mm左右。但是，不限于该尺寸。ic卡在由手c2保持的状态下插入到附着物回收装置中。
[0085]
(凹部121)
[0086]
接着，参照图2a和图2b对凹部121进行说明。图2a表示不具备凹部121时的气体流动，图2b表示具备凹部121时的气体流动。
[0087]
在本实施方式中，为了避免检查对象物c(手c1)大幅接触喷嘴111的前端，使喷嘴111前端的高度与下部基板101的上表面105的高度大致相同，或者为下部基板101的上表面105的高度以下。但是，若采用这样的结构，则产生以下那样的课题。
[0088]
图2a表示在喷嘴111前端的高度与下部基板101的上表面105的高度大致相同，或者为下部基板101的上表面105的高度以下的状态下没有设置凹部121的情况。
[0089]
即，如图2a所示，如果没有设置凹部121，则由于流体力学的附壁效应，从喷嘴111喷射的气体被吸附到下部基板101(图2a的虚线箭头)。此时，喷射气体不朝向检查对象物c流动，因此剥离效率降低。
[0090]
另一方面，如图2b所示，当相对于喷嘴111在气体的喷射方向上设置了凹部121时，抑制附壁效应的产生，气体朝向检查对象物c流动(图2b的虚线箭头)。由此，能够实现高效的剥离。
[0091]
另外，如图1b和图2b所示，凹部121呈现越向上方越扩展的形状(扩展部)。当从喷嘴111喷射了气体时，喷射气体的周围因气体的流速而压力降低。即，当从喷嘴111喷射了气体时，喷射气体的周边区域成为负压。于是，在凹部121堆积的尘埃等被气体吸引。由此，能够从凹部121去除尘埃等。此时，如图1b和图2b所示，凹部121具有越向上方越扩展的形状，
从而尘埃等容易从凹部121脱出。即，凹部121具有越向上方越扩展的形状，从而能够利用气体的喷射来去除在凹部121的内部堆积的尘埃等。结果，能够防止尘埃等在凹部121的内部体积。
[0092]
根据以上所述，为了降低检查对象物c被损伤的风险，并且得到高剥离效率，优选使喷嘴111的喷射口112的高度与下部基板101的上表面105的高度一致，并且在喷射口112的气体喷射方向上设置凹部121。还考虑在喷嘴111的后方也设置凹部121，但这接近喷嘴111从下部基板101突出的状况，喷嘴111的前端与检查对象物c大幅接触的可能性变高。另外，优选遍及整个喷射口112而存在凹部121，因此优选凹部121的宽度与喷嘴111的宽度相同或者为喷嘴111的宽度以上。
[0093]
如上所述，在图1a～图1c中设置有2个喷嘴111，但并不限于该数量。如果喷嘴111的数量变化，则凹部121的数量也随之变化。
[0094]
(附着物分析系统200)
[0095]
图3表示第1实施方式的附着物分析系统200的结构。
[0096]
对于图3所示的附着物分析系统200，假定能够对附着于检查对象物c表面的附着物进行分析的安全门。特别是图3所示的附着物分析系统200的目的在于检测爆炸物等危险物品。
[0097]
附着物分析系统200具有附着物收集装置1、脉冲阀211、空气罐212、压力控制器213、压缩机214、浓缩装置220。另外，附着物分析系统200具有分析装置231、数据处理装置300、显示装置232、门233、警报装置234。另外，浓缩装置220具有旋风捕集部221、加热器222、1次过滤器223、2次过滤器224、排气装置225。附着物分析系统200未必限于该结构，在图3中示出了代表性的一例。
[0098]
虽然在图3中未表现，但数据处理装置300分别与应控制的结构以及接收数据的结构连接。
[0099]
旋风捕集部221用于从气体中分离并浓缩附着物。在附着物收集装置1中，附着物与从喷嘴111以200l/min的程度喷射的气体一起被剥离。喷嘴111经由向喷嘴111供给气体的喷嘴用配管215与空气罐212连接。这样，在脉冲阀211与压缩机214之间设置有空气罐212。例如，在经过脉冲阀211的流量为60l/min的情况下，在0.1秒内从喷嘴111排出100ml的气体。在多次喷射气体的情况下，排出相应量的气体。因此，通过设置空气罐212，能够将所需量的压缩气体积存在空气罐212中。也可以不设置空气罐212。
[0100]
在压缩机214中将气压提高至0.7mpa左右。另外，向喷嘴111供给的气体压力由压力控制器213调节。
[0101]
脉冲阀211通常为关闭状态，通过图4所示的数据处理装置300中的气体喷射控制部311打开0.1秒左右，从而以脉冲的方式向喷嘴111供给压缩后的气体。在图3中，设为对2个脉冲阀211连接了1个压力控制器213和压缩机214。但是，并不限于此，也可以对各个脉冲阀211单独地连接压力控制器213和压缩机214。特别是通过对每个脉冲阀211配置压力控制器213，能够根据喷嘴111的位置来改变所供给的气体的压力。例如，能够使从喷嘴111a和喷嘴111b喷射的气体的流速、流量在喷嘴111a和喷嘴111b中不同。
[0102]
在此，利用压缩机214从喷嘴111喷射压缩气体，但也可以不利用压缩机214而利用鼓风机等喷射气体。
[0103]
作为代表性的分析装置231的质量分析装置、离子迁移率分析装置一般仅吸取1l/min以下的试样流量。若从喷嘴111喷射200l/min的气体，仅吸取其中的1l/min，则灵敏度成为1/200。
[0104]
因此，图3所示的附着物分析系统200通过在附着物收集装置1与分析装置231之间设置旋风捕集部221来对回收的附着物进行分离浓缩。旋风捕集部221的入口e3与附着物收集装置1的回收口e2连接。旋风捕集部221利用离心力，向旋风捕集部221的下部捕集某一定程度以上的粒径及密度的试样。例如，在某条件下，粒径1μm以上的附着物在旋风捕集部221内旋转运动，通过离心力分离到旋风捕集部221内的外周侧。另一方面，朝着旋风捕集部221的下方旋转半径减小。粒径小于1μm的附着物与气体一起通过排气装置225从中央的吸取配管排出(图3的空心箭头)。
[0105]
通过旋转运动而从气体分离的附着物的最小粒径(分离极限粒径)根据旋风捕集部221的结构和排气装置225的吸引流量而变化。在旋风捕集部221的下部捕集到的附着物直接向加热器222沉降。加热器222具备1次过滤器223。沉降下来的附着物被1次过滤器223捕集，并被加热器222加热。附着物在此气化，气化后的气体经过2次过滤器224被导入到分析装置231。
[0106]
例如，作为危险物品之一的炸药微粒的粒径通常为5～100μm左右，因此可以回收该粒径的微粒。不仅是炸药微粒，只要是附着于检查对象部的物质，也可以将化学制剂、有害物质、危险物质、可燃物质、生物制剂、病毒、菌、基因、环境物质等作为检测对象。浓缩装置220只要能够将剥离的附着物浓缩即可，并不限于旋风捕集部221。为了提高浓缩装置220的效果，优选浓缩装置220的吸引流量比从喷嘴111喷射的气体的流量大。例如，在由喷嘴111喷射的气体的流量为100l/min的情况下，优选旋风捕集部221的吸引流量为100l/min以上。另外，如果旋风捕集部221的吸引流量为150l/min，从旋风捕集部221向分析装置231的流量为0.5l/min，则由旋风捕集部221浓缩的微粒(附着物)被浓缩300倍。这样，通过使用浓缩装置220进行附着物的浓缩，能够提高分析装置231中的分析精度。
[0107]
旋风捕集部221的入口e3一般为长方形，高度比宽度长。在本实施方式中假定的旋风器尺寸中，旋风捕集部221的入口e3的宽度即使大也为数十毫米左右。因此，旋风捕集部221的入口e3的宽度比0次过滤器151的宽度小(省略图示)。为了将经过了0次过滤器151的附着物高效地导入到旋风捕集部221的入口e3，构成为旋风捕集部221的入口e3与0次过滤器151的回收口e2平滑地结合。
[0108]
加热器222例如在200℃下对附着物进行加热。加热器222的温度只要是能够使捕集到的附着物气化的温度即可，可以使加热器222的温度根据对象物成分而变化。用户能够取下1次过滤器223、2次过滤器224。然后，用户能够根据需要清扫1次过滤器223、2次过滤器224后再利用，或者更换为新品。1次过滤器223、2次过滤器224的更换可以手动进行，但也可以由预定的自动更换装置更换1次过滤器223和2次过滤器224。1次过滤器223和2次过滤器224只要是能够捕捉粒径1μm以上的微粒的过滤精度即可。
[0109]
例如，作为1次过滤器223和2次过滤器224，能够使用过滤精度1～50μm的不锈钢过滤器。将加热器222与分析装置231连接的配管226也被加热。这是为了防止通过加热器222气化的分子吸附在配管内壁。设置2次过滤器224的目的在于，防止未被1次过滤器223捕捉的附着物进入分析装置231。加热器222与分析装置231之间的配管226也不是必须的，加热
器222与分析装置231也可以直接连结。
[0110]
作为分析装置231，例如能够使用线形方式的线性离子阱质量分析仪等。作为质量分析方法，能够应用线性离子阱质量分析仪、四极离子阱质量分析仪、四极过滤器质量分析仪、三联四极质量分析仪、飞行时间质量分析仪、磁场质量分析仪等。或者，也可以利用离子迁移率分析装置等。此外，也能够利用将离子迁移率分析装置与质量分析装置连结起来的装置。另外，也可以采用利用了荧光、红外线、紫外线等各种光源的分析装置231。
[0111]
在将质量分析装置用作分析装置231时，数据处理装置300对测量出的质谱进行分析，根据该质谱来识别附着物成分以及确定其浓度。在数据处理装置300中事先做出了数据库，预先设定了用于判定所确定的附着物是否为危险物品的阈值。在检测出的成分的浓度超过了规定阈值时，数据处理装置300进行阳性判定。此时，数据处理装置300可以在显示装置232显示检测到的成分。也可以构成为不在显示装置232中显示结果，而将分析结果通知给远方的监视中心或监视人员。在本实施方式中，与该分析结果协作地进行门233的锁闭。除此之外，例如也可以通过监视相机进行记录，记录认证数据。不限于质量分析装置，在离子迁移率分析装置等其他分析装置231中也可通过与数据库进行对照来进行附着物的分析。关于警报装置234在后面进行叙述。
[0112]
通过将这样的分析装置231(经由浓缩装置220)与附着物收集装置1连接，能够对附着物收集装置1所回收的附着物进行分析。结果，能够对检查对象物c进行炸药等危险物品的检测。
[0113]
(数据处理装置300)
[0114]
图4表示第1实施方式的数据处理装置300的结构例。
[0115]
数据处理装置300具有存储器310、cpu(central processing unit：中央处理单元)321、硬盘(hard disk，hd)等存储装置322、键盘、鼠标等输入装置323、nic(network interface card网卡)等通信装置324。
[0116]
并且，将存储装置322中存储的程序加载到存储器310中，由cpu 321执行所加载的程序。由此，将气体喷射控制部311、分析判定部312、门控制部313、显示控制部314具体化。
[0117]
气体喷射控制部311通过控制脉冲阀211等，从附着物收集装置1的喷嘴111喷射气体。
[0118]
分析判定部312基于分析装置231的分析结果来判定是否检测到炸药。
[0119]
门控制部313根据分析判定部312的判定结果来控制门233的开闭。
[0120]
显示控制部314对显示装置232进行显示。
[0121]
(气体喷射处理)
[0122]
图5是表示第1实施方式的气体喷射处理的顺序的流程图。
[0123]
首先，被检者将检查对象物c插入到附着物收集装置1(s101)。
[0124]
于是，数据处理装置300的气体喷射控制部311判定插入检测传感器140(“垂直传感器”)的“开(on)”、“关(off)”(s102)。即，气体喷射控制部311判定检查对象物c是否插入到适当位置。
[0125]
在插入检测传感器140为“关”的情况下(s102
→
关)，气体喷射控制部311使处理返回到步骤s102。
[0126]
在插入检测传感器140为“开”的情况下(s102
→
开)，气体喷射控制部311判定接触
检测传感器130(“水平传感器”)的“开”、“关”(s103)。
[0127]
在接触检测传感器130为“开”的情况下(s103
→
开)，检查对象物c与下部基板101接触的可能性高，因此气体喷射控制部311从警报装置234发出警报(s111)。关于警报，发出“请抬起检查对象物”等声音。之后，气体喷射控制部311使处理返回到步骤s102。
[0128]
当接触检测传感器130在预定时间为“关”的情况下(s103
→
关)，气体喷射控制部311控制脉冲阀211来从喷嘴111喷射气体(s112)。在此，预定时间是图6～图8所示的喷射等待时间t。
[0129]
然后，气体喷射控制部311判定气体的喷射是否结束(s113)。
[0130]
在气体的喷射未结束的情况下(s113
→
否)，气体喷射控制部311使处理返回到步骤s102。
[0131]
在气体的喷射结束的情况下(s113
→
是)，气体喷射控制部311结束处理。
[0132]
在步骤s111之后，若检查对象按声音那样被抬起，则插入检测传感器140为“开”且接触检测传感器130为“关”的条件成立，因此气体喷射控制部311喷射气体。
[0133]
(气体喷射定时)
[0134]
图6～图8表示气体喷射的时序图。
[0135]
在图6～图8中，示出了接触检测传感器130(“水平传感器”)及插入检测传感器140(“垂直传感器”)的反应与控制气体喷射的脉冲阀211的“开”/“关”之间的关系。
[0136]
将检查对象物c插入到附着物收集装置1。与此相伴，如图6所示，当检查对象物c切断了插入检测传感器140的光照射部141照射的红外线等光时，插入检测传感器140成为“开”(时刻t1)。如图6所示，在接触检测传感器130未成为“开”的情况下，即检查对象物c未与下部基板101接触的情况下，从插入检测传感器140成为“开”开始经过喷射等待时间t之后，第1喷嘴用阀(“喷嘴1用阀”)及第2喷嘴用阀(“喷嘴2用阀”)分别依次开闭(时刻t2、t3)。第1喷嘴用阀是与图1c所示的第1喷嘴111a连接的脉冲阀211。同样地，第2喷嘴用阀是与图1c所示的第2喷嘴111b连接的脉冲阀211。
[0137]
通过进行图6那样的控制，按照第1喷嘴111a
→
第2喷嘴111b的顺序喷射气体。然后，当从附着物收集装置1拔出检查对象物c时，插入检测传感器140成为“关”(时刻t4)。
[0138]
在图7中图示了接触检测传感器130成为“开”的情况。即，是检查对象物c与下部基板101接触的情况。在插入检测传感器140成为“开”后(时刻t11)，接触检测传感器130成为“开”(时刻t12)。此时，在插入检测传感器140成为“开”后，即使经过了喷射等待时间t，脉冲阀211也不开闭。然后，当检查对象物c从下部基板101离开，接触检测传感器130成为“关”时(时刻t13)，在经过喷射等待时间t之后，按照第1喷嘴用阀、第2喷嘴用阀的顺序进行阀的开闭(时刻t14、t15)。
[0139]
在图6所示的情况和图7的情况下，喷射等待时间t不需要相同，但都优选0～100ms左右。但是，并非必须在该范围内。
[0140]
图8表示在第1喷嘴用阀打开的期间接触检测传感器130成为“开”的情况。图8中的时刻t1、t2与图6相同。即，在图8中，示出了在第1喷嘴111a正在喷射气体时检查对象物c与下部基板101接触的情况。这样，在接触检测传感器130成为“开”的定时(时刻t21)在第1喷嘴用阀的开闭完成之前发生时，在接触检测传感器130成为“关”的时刻(t22)后经过了喷射等待时间t之后，按照第1喷嘴用阀、第2喷嘴用阀的顺序进行阀的开闭(时刻t23、t24)。即，
在第1喷嘴111a正在喷射气体的期间接触检测传感器130成为“开”的情况下，气体喷射被重置。
[0141]
但是，有时也会根据在图8中的最初的气体喷射(符号301)阶段剥离的附着物来检测出炸药等，因此在符号401的定时的气体喷射中也执行分析判定。
[0142]
在第2喷嘴用阀打开的期间接触检测传感器130成为“开”的情况下也同样如此。即，当在第2喷嘴用阀打开的期间接触检测传感器130成为“开”时，在接触检测传感器130成为“关”后，按照第1喷嘴用阀
→
第2喷嘴用阀的顺序进行阀的开闭。
[0143]
在图6～图8中，第1喷嘴用阀与第2喷嘴用阀的开闭在时间上相接，但也可以在各脉冲阀211的开闭之间存在时间。
[0144]
另外，在图6～图8中，按照图1所示的第1喷嘴111a
→
第2喷嘴111b的顺序喷射气体。但是，不限于此，也可以按照第2喷嘴111b
→
第1喷嘴111a的顺序进行喷射。或者，也可以是第1喷嘴111a及第2喷嘴111b同时进行喷射。
[0145]
(实际的信号例)
[0146]
图9表示通过图1和图3所示的结构将附着有塑料炸药的卡片用作检查对象物c进行实验时得到的信号。卡片在由手c2手持的状态下插入到附着物回收装置1。
[0147]
在时刻t30的定时检测到插入试样，在时刻t31喷射气体。通过气体而剥离的炸药被回收并加热气化，可通过附图标记411确认由质量分析装置(分析装置231)检测出的信号。如图9所示，从喷射(时刻t31)开始大约2秒左右，信号迎来峰值。另外，如图9所示，设定了检测阈值412。在图9的例子中，由于信号超过了检测阈值412，因此判定为阳性。从检测到插入检查对象物c的时刻t30开始将一定时间设为判定时间t1。数据处理装置300的分析判定部312基于在判定时间t1内检测到的信号进行附着物是何物的判定。
[0148]
(附着分析系统的处理)
[0149]
图10是表示第1实施方式的附着物分析系统200的处理步骤的流程图。
[0150]
在图10中，附着物分析系统200假定为门型，根据炸药的检测状态来判定通行的许可/不许可。
[0151]
首先，被检者接近附着物分析系统200，将检查对象物c插入到附着物收集装置1(s201)。
[0152]
数据处理装置300的气体喷射控制部311在通过插入检测传感器140检测出插入了检查对象物c，并且通过接触检测传感器130检测到检查对象物c未接触下部基板101时，从喷嘴111喷射气体，将附着于检查对象物c的附着物剥离并回收(s211)。步骤s211的处理是图5所示的处理。
[0153]
回收的附着物被加热器222加热气化(s212)，分析装置231分析气化的气体(s213)。
[0154]
数据处理装置300的分析判定部312判定通过步骤s213的处理是否检测出炸药(s221)。如上所述，分析判定部312基于在数据处理装置300的存储装置322中存储的用于判定所确定的附着物是否是危险物品的阈值，进行步骤s221的判定。
[0155]
在未检测到炸药的情况下(s221
→
否)，数据处理装置300的门控制部313使门233为开状态(s222)，允许被检者的通行。
[0156]
在检测到炸药的情况下(s221
→
是)，数据处理装置300的显示控制部314在显示装
置232显示检测到炸药(s223)。接着，门控制部313使门233为关闭状态(s224)，不允许被检者的通行。
[0157]
根据第1实施方式，在下部基板101的上表面105设置有接触检测传感器130。由此，能够避免检查对象物c堵塞喷嘴111的前端，因此能够提高附着物回收的可靠性。
[0158]
另外，根据第1实施方式，含有喷嘴111的喷射口112，并且在喷嘴111的气体喷射方向上设置有凹部121。由此，如在图2b中说明的那样，能够将气体适当地吹送到检查对象物c。
[0159]
通过具有这些结构，能够稳定地回收附着于检查对象物c的附着物。
[0160]
另外，在第1实施方式所示的附着物收集装置1中，设置有插入检测传感器140。通过设置插入检测传感器140，能够在检查对象物c被可靠地插入到附着物收集装置1之后进行气体喷射。
[0161]
[第2实施方式]
[0162]
图11表示第2实施方式的附着物收集装置1a的结构。
[0163]
图11所示的附着物收集装置1a在下部基板101的下部具备认证装置161。例如，当检查对象物c为id卡c2时，认证装置161为id卡认证装置。当id卡c2被插入到附着物收集装置1时，在通过气体回收以及分析附着物的同时进行id卡c2的认证。
[0164]
认证装置161并不限于id卡认证装置，也可以是指纹认证装置、指静脉认证装置。特别是在检查对象物c是手c1或手指的情况下，作为认证装置161，优选设置指纹认证装置、指静脉认证装置。此时，当手c1插入到附着物收集装置1时，在通过喷射的气体进行手c1上的附着物的收集和分析的同时，进行指纹或指静脉的认证。
[0165]
在图11所示的例子中，认证装置161设置在下部基板101的下部。但是，不限于此，也可以在上部罩103的上部具备认证装置161。但是，由于认证装置161具有可认证距离，因此检查对象物c要来到从认证装置161开始的可认证距离内。在被检者将检查对象物c插入到附着物收集装置1时，由于重力的影响使检查对象物c自然地接近附着物收集装置1的下部侧。因此，优选将认证装置161设置在下部基板101的下部。
[0166]
(数据处理装置300a)
[0167]
图12表示第2实施方式的数据处理装置300a的结构。
[0168]
在图12中，对与图4相同的结构标注相同的附图标记，并省略说明。
[0169]
图12所示的数据处理装置300a与图4所示的数据处理装置300的不同点在于，在存储器310中具备认证判定部315。
[0170]
认证判定部315判定从认证装置161取得的认证信息是否准确。
[0171]
(附着分析系统的处理)
[0172]
图13是表示第2实施方式的附着物分析系统200的处理步骤的流程图。
[0173]
在此，也进行图10所示的步骤s201～s213。
[0174]
然后，认证装置161与步骤s211～s213的处理并行地从检查对象物c取得认证信息(s301)。
[0175]
然后，数据处理装置300的认证判定部315判定在步骤s301中取得的认证信息是否是正确的认证信息(s311)。
[0176]
在不是正确的认证信息的情况下(s311
→
否)，数据处理装置300的显示控制部314
在显示装置232显示无法认证(s312)。接着，门控制部313使门233为关闭状态(s313)，不允许被检者的通行。
[0177]
在是正确的认证信息的情况下(s311
→
是)，数据处理装置300的分析判定部312判定是否通过步骤s222的处理检测到炸药(s221)。步骤s221～s224的处理与图10所示的处理相同，因此省略在此的说明。
[0178]
根据第2实施方式，通过同时实施炸药检查和认证，能够提高安全等级。
[0179]
[第3实施方式]
[0180]
图14a～图14c表示第3实施方式的附着物收集装置1b的结构。图14a是从插入口e1方向观察附着物收集装置1b的图。另外，图14b是图14a的a2-a2剖视图。并且，图14c是图14a和图14b的b2-b2剖视图。
[0181]
如图14a～图14c所示，在附着物收集装置1b中，在下部基板101的上部设置有凸构造，即肋部来作为间隔物171。通过这样的间隔物171，限制检查对象物c与喷嘴111的高度方向的距离的变动。另外，能够通过间隔物171防止检查对象物c与下部基板101的接触。
[0182]
顺便说，在图14b以及图14c中省略了侧壁104的图示。
[0183]
这样的间隔物171在检查对象物c不是像手c1等那样形状容易变形的物品，而是如图14a～图14c所示那样为id卡c2或护照等形状确定的物品时有用处。
[0184]
在图14a～图14c所示的例子中，间隔物171的截面形状具有四边形状，但也可以是圆弧形状等。即，关于间隔物171的截面形状，只要能够限制检查对象物c与下部基板101的接触则形状不限。
[0185]
在检查时检查对象物c接触间隔物171时，如上所述，喷嘴111的前端与检查对象物c的距离被间隔物171的高度限制。间隔物171越低，喷嘴111的前端与检查对象物c之间的高度方向的距离越小。越远离喷嘴111，从喷嘴111喷射的气体的流速越降低。由于气体而作用于附着物的动压与流速的平方成比例，因此流速越快，作用于附着物的动压越高。即，喷嘴111与附着物的距离越近动压越高。但是，若使间隔物171的高度过低，当检查对象物c存在凹凸时，该凹凸有可能与下部基板101接触。已知在从喷嘴111喷射的气体中存在势流核心区域这样的流速相对于喷嘴111的出口速度未降低的区域。为了使喷嘴111与检查对象物c之间以某种程度分离，并且高效地剥离附着物，可以将间隔物171的高度设计为使检查对象物c与喷嘴111之间的距离在势流核心区域内。结果，优选使间隔物171的高度为2～4mm之间。
[0186]
即使配置了图14a～图14c所示那样的间隔物171，也应该具有用于检测检查对象物c与下部基板101的接触的单元，接触检测传感器130是必须的。但是，在存在间隔物171时，间隔物171有可能妨碍接触检测传感器130的红外线。因此，采取使间隔物171为透明或者将间隔物171的下部挖空这样的措施，从而不妨碍接触检测传感器130的检测。
[0187]
若在喷嘴111与0次过滤器151之间存在间隔物171，则间隔物171有可能妨碍从喷嘴111喷射的气体的流动。因此，为了不妨碍气体的流动，优选使间隔物171在足够强度的范围内具有细的构造。在此，细的构造是指使朝向插入口e1、回收口e2的轴向为长边方向的构造。
[0188]
另一方面，相对于喷嘴111设置在插入口e1侧的间隔物171-1几乎不会对喷射气体造成影响。因此，间隔物171-1不必具有细的结构。例如，间隔物171-1可以是在从第1喷嘴
111a到插入口e1的整个区域中具有凸构造的结构。
[0189]
各个间隔物171的高度可以相同，也可以使至少1个间隔物171的高度不同。
[0190]
[第4实施方式]
[0191]
图15表示第4实施方式的附着物收集装置1c的结构。图15是相当于图14b的剖视图。
[0192]
图15所示的附着物收集装置1c是使图14所示的附着物收集装置1中的间隔物171的形状变化后的装置。即，在间隔物171c中，喷嘴111侧被倾斜地切割。另外，如图15所示，优选使间隔物171c的切割角度与凹部121的扩展部的角度一致。即，优选以沿着凹部121的扩展部的方式切割间隔物171。当间隔物171c具有图14所示的形状时，由于间隔物171的存在，喷射的气体有可能引起附壁效应。因此，有可能妨碍从喷嘴111的高效的气体喷射。通过具有图15所示的间隔物171c的形状，能够抑制附壁效应的产生。即，通过设为间隔物171c的形状，能够实现高效的气体喷射。
[0193]
[第5实施方式]
[0194]
图16a和图16b表示第5实施方式的附着物收集装置1d、1e的结构。图16a以及图16b是相当于图1c、图14c的剖视图。
[0195]
在图16a和图16b所示的附着物收集装置1d、1e中，喷嘴111的形状与此前的实施方式不同。即，在此前的实施方式中，作为喷嘴111，应用了大体横穿下部基板101的狭缝喷嘴，但在图16a所示的附着物收集装置1d中，将小的狭缝喷嘴111d以横穿下部基板101的方式排列成直线状。另外，在图16b所示的附着物收集装置1e中，将小的圆形喷嘴111e以横穿下部基板101的方式排列成直线状。
[0196]
喷嘴111并非只是图1c、图16a、图16b所示的形状，例如也可以通过大致横穿下部基板101的方式不连续地配置多个线状的狭缝喷嘴。
[0197]
本实施方式的特征在于，相对于喷射气体的喷嘴111的喷射口112，在回收口e2侧设置凹部121，使气体朝向检查对象物c高效地流动。因此，喷嘴111的形状并不限于此前的实施方式、图16a、图16b所示的形状。
[0198]
根据图16a、图16b所示的附着物收集装置1d、1e，能够使用比较容易获得的小的狭缝喷嘴111d、小的圆形喷嘴111e来构成附着物收集装置1d、1e。
[0199]
[第6实施方式]
[0200]
图17表示第6实施方式的附着物收集装置1f的结构。图17是与图1b、图14b相当的剖视图。
[0201]
图17所示的附着物收集装置1f相比于图1所示的附着物收集装置1，构成为上部罩103f的长度短。通过设为这样的结构，在附着物收集装置1f中，容易将检查对象物c(手c1)插入到附着物收集装置1f。由此，能够实现可用性的提高。另外，如此前的实施方式所示，在上部罩103长的结构时，检查对象物c被限定为能够插入到上部罩103与下部基板101之间的间隙的尺寸。但是，如图17所示，通过缩短上部罩103f的长度，不对检查对象物c的尺寸设置限制。
[0202]
[第7实施方式]
[0203]
图18a和图18b表示第7实施方式的附着物收集装置1g的结构。图18a是相当于图1a、图14a的图，图18b是相当于图1b、图14b的剖视图。即，图18b是图18a的a3-a3剖视图。
[0204]
在此前的实施方式中，上部基板102与下部基板101之间的空间与0次过滤器151的高度一致。另一方面，在图18所示的附着物收集装置1g中，0次过滤器151g的高度比上部罩103与上部基板102的连接部低。即，与此前的实施方式所示的0次过滤器151相比，图18a以及图18b所示的0次过滤器151g的高度低。从喷嘴111喷射的气体与检查对象物c的下表面碰撞，沿着检查对象物c的下表面朝向0次过滤器151流动。在此前的实施方式中，从喷嘴111出来的气体与检查对象物c的下表面碰撞，并经过0次过滤器151的下侧。因此，不需要此前实施方式那样的0次过滤器151的高度，只要是图18所示的0次过滤器151g程度的高度即可。另外，如果旋风捕集部221的吸引流量相同，则0次过滤器151g的面积越小，经过0次过滤器151g的气体流速越上升。与此相伴，能够提高附着物的回收率。
[0205]
如图18b所示，从上部基板102与上部罩103的连接部到0次过滤器151g设置有倾斜部181。即使在检查对象物c插入到附着物收集装置1g的内部上方时，与检查对象物c碰撞的气体也会沿着倾斜部181被引导到0次过滤器151g。因此，能够提高附着物的回收效率。
[0206]
[第8实施方式]
[0207]
图19表示第8实施方式的附着物收集装置1h的结构。图19是与图1b、图14b相当的剖视图。
[0208]
在图19所示的附着物收集装置1h中，与此前的实施方式不同，不设置接触检测传感器130，取而代之，在附着物收集装置1h的下侧设置距离传感器162。即，通过距离传感器162检测检查对象物c与下部基板101的接触。具体而言，距离传感器162测量与检查对象物c的距离，基于测量出的距离和预先已知的距离传感器162与下部基板101的上表面105(参照图1)之间的距离，计算检查对象物c与下部基板101的上表面105的距离。
[0209]
在采用这样结构的情况下，优选下部基板101由透明部件构成。如果将距离传感器162检测到检查对象物c与下部基板101接触视为此前实施方式中的接触检测传感器130的“开”，则能够认为是与此前实施方式同样的处理。为了检测接触，不一定使用距离传感器162。例如，也可以代替接触检测传感器130、距离传感器162而在下部基板101设置静电电容传感器，由此检测检查对象物c与下部基板101的接触。
[0210]
[第9实施方式]
[0211]
图20表示第9实施方式的附着物收集装置1i的结构。图20是与图1b、图14b相当的剖视图。
[0212]
在图20所示的附着物收集装置1i中，与此前实施方式不同，上部基板102i延伸至插入口e1。而且，喷嘴111不仅设置在下部基板101，还设置在上部基板102i。即，喷嘴111设置在下部基板101的上表面105及上部基板102i的下表面107。相对于上表面105及下表面107的所有喷嘴111，在回收口e2侧设置有凹部121。另外，接触检测传感器130也不仅设置在下部基板101，还设置在上部基板102i。与此前的实施方式同样地，在插入检测传感器140为“开”且所有的接触检测传感器130为“关”的状态下喷射气体。
[0213]
但是，可以改变应用，如果检查对象物c未与上部基板102i或下部基板101接触，则至少对检查对象物c的未接触的面喷射气体。因此，可以是以下的应用：如果上部基板102i以及下部基板101所具备的接触检测传感器130中的任一个为“关”则进行气体喷射。
[0214]
通过设为这样的结构，能够将检查对象物c的上表面及下表面双方的附着物剥离。
[0215]
[第10实施方式]
[0216]
图21表示第10实施方式的附着物收集装置1j的结构。图21是与图1b、图14b相当的剖视图。
[0217]
图21所示的附着物收集装置1j与此前实施方式不同，作为气流调整部，设置有贯通下部基板101的孔部121j来代替凹部121。即，孔部121j向大气开放。除此以外与第1实施方式相同。当从喷嘴111喷射气体时，喷射气体的周围因气体的流速而压力降低。结果，产生吸引喷射气体周围的气体的力。如果像第1实施方式那样限制了凹部121的空间体积，则由于喷射的气体的吸引力，凹部121内的空气被喷射的气体吸引。结果，凹部121的内部成为负压。于是，喷射的气体被凹部121的负压吸引，气体的行进路径向凹部121的方向稍微弯曲。
[0218]
与此相对，如图21所示，通过设为贯通下部基板101的孔部121j，例如，即使由于喷射的气体的吸引力使得孔部121j内的空气被喷射气体吸引，也能从附着物收集装置1j的外部供给空气。因此，孔部121j的内部不会成为负压，气体的行进路径不会弯曲。结果，能够使气体适当地与检查对象物c的下部碰撞。
[0219]
另外，上述各结构、功能、各部311、存储装置322等的一部分或全部例如可以通过使用集成电路进行设计等以硬件方式来实现。另外，如图4、图12所示，上述的各结构、功能等也可以通过由cpu321等处理器解释并执行用于实现各个功能的程序以软件方式来实现。实现各功能的程序、表、文件等信息除了保存在hd(hard disk：硬盘)中以外，还能够保存在存储器310、ssd(solid state drive：固态硬盘)等记录装置、或ic(integrated circuit：集成电路)卡、sd(secure digital：安全数字)卡、dvd(digital versatile disc：数字多功能光盘)等记录介质中。
[0220]
另外，在各实施方式中，控制线、信息线示出了认为说明上必要的部分，并不一定示出了产品上所有的控制线、信息线。实际上可以认为几乎所有的结构都相互连接。
[0221]
附图标记的说明
[0222]
1、1a～1j附着物收集装置(附着物收集部)
[0223]
101下部基板(壳体)
[0224]
102上部基板(壳体)
[0225]
103上部罩(罩)
[0226]
105上表面(面)
[0227]
106开口部
[0228]
107下表面
[0229]
111喷嘴
[0230]
111d 小的狭缝喷嘴
[0231]
111e 圆形喷嘴
[0232]
111a第1喷嘴
[0233]
111b第2喷嘴
[0234]
112喷射口
[0235]
121凹部(气流调整部)
[0236]
121j孔部(气流调整部)
[0237]
130接触检测传感器(接触检测部)
[0238]
140插入检测传感器(插入检测部)
[0239]
151 0次过滤器(过滤器)
[0240]
161认证装置
[0241]
171、171c、171-1间隔物
[0242]
181倾斜部
[0243]
200附着物分析系统
[0244]
220浓缩装置(浓缩部)
[0245]
231分析装置(分析部)
[0246]
300数据处理装置
[0247]
c检查对象物(对象物)。