技术特征：
1.一种操作反射模式傅立叶叠层成像显微镜(rfpm)以检测部件表面上的缺陷的方法，该方法包括：将所述部件装载到所述rfpm的保持夹具上；从被配置为将辐射引导到所述表面上的多组件光源产生至少一个照明图案，所述多组件光源具有多个单独的光源，所述多个单独的光源中的每一个被配置为单独地被激活，所述至少一个照明图案选自包括时间图案和空间图案的多个图案；在传感器元件中收集从所述表面重定向的辐射；通过微分相位对比(dpc)技术从由所述传感器元件收集的所述辐射中获得相位导数测量；确定从所述表面到所述传感器元件的成像轴之间的角度；以及至少确定所述表面上的一个或多个缺陷的高度特征。2.根据权利要求1所述的方法，其还包括在所述表面的区域上光栅扫描所生成的所述至少一个照明图案。3.根据权利要求1所述的方法，其还包括通过移动在所生成的所述至少一个照明图案下方的所述部件来在所述表面的区域上执行光栅扫描。4.根据权利要求1所述的方法，其还包括通过以下方式在所述表面的区域上执行光栅扫描：在所述表面的所述区域上扫描所生成的所述至少一个照明图案；以及移动所生成的所述至少一个照明图案下方的所述部件。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述表面的区域上的将要检查的区域被选择为是在所述表面上的至少约0.25平方米。6.根据权利要求1所述的方法，其还包括为所述多个单独的光源中的选定的光源确定至少一个波长。7.根据权利要求1所述的方法，其中，选择所述至少一个照明图案以便以多个入射角照射所述表面。8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述时间图案和所述空间图案是预先确定的。9.根据权利要求1所述的方法，其中选择所述时间图案包括：选择激活所述多个单独的光源中的哪些；以及确定所选择的所述多个单独的光源中的哪些相对于所选择的所述多个单独的光源中的其余光源被及时激活。10.根据权利要求1所述的方法，其中选择所述空间图案包括选择在基本一致的时间段期间激活所述多个单独的光源中的哪些。11.根据权利要求1所述的方法，其还包括确定所产生的所述至少一个照明图案的中点相对于所述表面的法线偏移预定度数的角度，所述预定度数是偏离相对于所述表面的垂直线而言的。12.根据权利要求1所述的方法，其还包括通过计算方式组合从所述表面重定向的所收集的辐射中的至少一种，以对于给定的数值孔径和所述多个单独的光源的光的波长，将检测到的所述缺陷的分辨率提高至超过瑞利分辨率极限。13.根据权利要求1所述的方法，其还包括选择收集光学器件以将所收集的所述辐射从
所述预定数值孔径聚焦到所述传感器元件上。14.根据权利要求1所述的方法，其中，所述多组件光源包括led阵列。15.根据权利要求14所述的方法，其中所述产生至少一个照明图案包括选择所述多个单独的光源中的单独的光源以包括来自所述led阵列的成组的led。16.根据权利要求1所述的方法，其中，所述多个单独的光源中的每一个包括led。17.一种操作反射模式傅立叶叠层成像显微镜(rfpm)的方法，所述方法包括：将要检查的非生物部件装载到夹具上；以及选择用于运行和控制rfpm的一个或多个方面的程序，所述方面能从包括多组件光源的空间图案、所述多组件光源的时间图案、待检测的缺陷尺寸的范围、待检测的所述部件的区域、一个或多个检测到的缺陷的至少一个高度特征、以及要记录的所述非生物部件的多个图像的方面中选择。18.根据权利要求17所述的方法，其还包括基于所记录的所述图像确定所述部件的所述区域中的至少一部分的粗糙度水平。19.根据权利要求17所述的方法，其还包括选择待检测的缺陷的尺寸范围。20.根据权利要求17所述的方法，其还包括选择所述多组件光源将辐射引导至所述部件所使用的角度的范围。21.根据权利要求17所述的方法，其中所述非生物部件包括至少一种材料，所述至少一种材料选自包括金属表面、陶瓷表面、陶瓷涂层表面、元素半导体衬底表面、化合物半导体衬底表面、玻璃表面、阳极氧化表面、塑料、以及氧化表面的材料。22.根据权利要求17所述的方法，其中所述待检测的缺陷的尺寸范围包括所检测的所述缺陷的特征尺寸的从约50nm到约50mm的范围。23.一种操作反射模式傅立叶叠层成像显微镜(rfpm)以检测部件表面上的缺陷的方法，该方法包括：从被配置为将辐射引导到所述表面上的多组件光源产生至少一个照明图案，所述多组件光源具有多个单独的光源，所述多个单独的光源中的每一个被配置为单独地被激活，所述至少一个照明图案选自时间图案和空间图案；使用明场成像和暗场成像两者对所述表面的图像的傅立叶空间进行采样；在传感器中收集从所述表面重定向的辐射；通过微分相位对比(dpc)技术从由所述传感器收集的所述重定向的辐射获得在所述缺陷附近的区域中的相位导数测量；确定从所述表面到所述传感器的成像轴之间的角度；以及至少确定所述表面上的一个或多个缺陷的高度特征。24.根据权利要求23所述的方法，其中，在高达数平方米的区域上，所检测到的所述缺陷的特征尺寸在尺度上为约5μm以及更大。25.根据权利要求23所述的方法，其中所述部件是非生物部件。26.根据权利要求25所述的方法，其中所述非生物部件包括至少一种材料，所述至少一种材料选自包括金属表面、陶瓷表面、陶瓷涂层表面、元素半导体衬底表面、化合物半导体衬底表面、玻璃表面、阳极氧化表面、塑料、以及氧化表面的材料。27.根据权利要求23所述的方法，其中，所述空间图案被选择为在所选择的空间图案的
时间段期间以多个入射角基本同时照射所述表面。28.根据权利要求23所述的方法，其中选择所述时间图案包括：选择激活所述多个单独的光源中的哪些；以及确定所选择的所述多个单独的光源中的哪些相对于所选择的所述多个单独的光源中的其余光源被及时激活。29.根据权利要求23所述的方法，其中选择所述空间图案包括选择在基本一致的时间段期间激活所述多个单独的光源中的哪些。
技术总结
多种实施方案包括用于使用RFPM的反射模式傅立叶叠层成像显微镜(RFPM)装置和方法。在一个示例中，RFPM包括被配置为将辐射引导到表面的多组件光源。多组件光源具有多个单独的光源，每个单独的光源被配置为单独激活。RFPM还包括用于接收从表面反射和散射或以其他方式重新定向的辐射的收集光学器件，以及用于将从收集光学器件接收的光能转换成电信号输出的传感器元件。公开了其他装置、设计和方法。设计和方法。设计和方法。
技术研发人员：科林
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2020.11.24
技术公布日：2022/9/13