技术总结
一种微力测量装置、其制备方法及原位力学测试的方法，涉及细微尺度力学领域。该微力测量装置包括金属玻璃制成的固定基座和至少两根间隔布置的微悬臂探针，两根微悬臂探针的一端与固定基座连接，两根微悬臂探针的另一端端部之间的间距在100μm之内。本申请提供的微力测量装置、其制备方法及原位力学测试的方法利用金属玻璃制成的微力测量装置直接测量细微尺度试样位移值并通过弹簧系数转换成受力载荷值，不需要对位移进行电学或光学信号的转换，具有结构简单可靠、测试过程方便、测试成本低、测试量程大的优点，且测试结果受零漂和热漂等的影响小。漂等的影响小。漂等的影响小。
技术研发人员：刘泽 张凯翔 马明哲
受保护的技术使用者：武汉大学
技术研发日：2021.01.25
技术公布日：2021/6/7