技术特征：
1.一种直线度测量系统，其具备：检测单元，包括三个位移传感器；及校正基准器，具有校正基准面，在使所述校正基准面与所述三个位移传感器对置的情况下，所述三个位移传感器的被测定点在所述校正基准面的表面上沿第1方向排列配置，所述三个位移传感器测定所述校正基准面的高度方向上的位移，所述直线度测量系统还具有：倾斜机构，在使所述校正基准面与所述三个位移传感器对置的情况下，使所述校正基准面和所述检测单元中的一方相对于另一方倾斜而且相对于所述第1方向倾斜；及处理装置，在相对于所述检测单元的所述校正基准面的倾斜角互不相同的多个倾斜状态下，获取所述三个位移传感器的测定值，并根据所述倾斜角和所述三个位移传感器的各个倾斜角时的测定值来测量所述三个位移传感器的被测定点在所述第1方向上的相对位置关系与规定相对位置关系之间的偏移量。2.根据权利要求1所述的直线度测量系统，其中,所述三个位移传感器的被测定点的规定相对位置关系是指所述三个位移传感器的被测定点在所述第1方向上等间距排列的状态。3.根据权利要求1或2所述的直线度测量系统，其中,所述处理装置针对各个所述倾斜角求出两端的位移传感器的测定值的平均值与中间的位移传感器的测定值之差即零点偏差，并根据零点偏差的变化量与所述倾斜角的变化量之比来求出所述偏移量。4.根据权利要求1至3中任一项所述的直线度测量系统，其中,在使用所述检测单元并基于三点法来测量对象物的表面的直线度时，所述处理装置追加考虑所述偏移量来求出直线度。5.一种位移传感器校正方法，其中,使相对于检测单元的校正基准面的、相对于第1方向的倾斜角设为不同，并针对不同的倾斜角，使用所述检测单元执行测定所述校正基准面的高度方向上的位移量的步骤，其中，所述检测单元包括三个位移传感器，所述三个位移传感器测定在所述校正基准面的表面上沿所述第1方向排列配置的被测定点在高度方向上的位移，根据所述倾斜角和所述三个位移传感器的各个倾斜角时的测定值来求出所述三个位移传感器的被测定点在所述第1方向上的相对位置关系与规定相对位置关系之间的偏移量。6.根据权利要求5所述的位移传感器校正方法，其中，还根据所述偏移量来修正所述三个位移传感器中的至少一个位移传感器的位置或姿势，以使所述三个位移传感器的被测定点沿所述第1方向等间距排列。7.一种直线度测量方法，其中,使相对于检测单元的校正基准面的、相对于第1方向的倾斜角设为不同，并针对不同的倾斜角，使用所述检测单元执行测定所述校正基准面的高度方向上的位移量的步骤，其中，所述检测单元包括三个位移传感器，所述三个位移传感器测定在所述校正基准面的表面上沿第1方向排列配置的被测定点在高度方向上的位移，
根据所述倾斜角和所述三个位移传感器的各个所述倾斜角时的测定值来求出所述三个位移传感器的被测定点在所述第1方向上的相对位置关系与规定相对位置关系之间的偏移量，在使用所述检测单元并基于三点法来测量对象物的表面的直线度时，追加考虑所述偏移量来计算出曲率。
技术总结
本发明提供一种抑制直线度的测量精度下降的直线度测量系统。检测单元包括三个位移传感器。校正基准器具有校正基准面。使校正基准面与三个位移传感器对置的情况下，三个位移传感器的被测定点在校正基准面的表面上沿第1方向排列配置，三个位移传感器测定校正基准面的高度方向上的位移。使校正基准面与三个位移传感器对置的情况下，倾斜机构使校正基准面和检测单元中的一方相对于另一方倾斜而且相对于第1方向倾斜。处理装置在相对于检测单元的校正基准面的倾斜角互不相同的多个倾斜状态下获取三个位移传感器的测定值，根据倾斜角和各个倾斜角时的测定值来测量三个位移传感器的被测定点在第1方向上的相对位置关系与规定相对位置关系之间的偏移量。对位置关系之间的偏移量。对位置关系之间的偏移量。
技术研发人员：市原浩一 高娜
受保护的技术使用者：住友重机械工业株式会社
技术研发日：2021.02.04
技术公布日：2021/9/27